| 研究課題/領域番号 |
19560151
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 愛知工業大学 |
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研究代表者 |
高木 誠 愛知工業大学, 工学部, 教授 (40288428)
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| 研究分担者 |
松室 昭仁 愛知工業大学, 工学部, 教授 (80173889)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2008年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2007年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
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| キーワード | トライボロジー / マイクロ / ナノトライボロジー / 走査プローブ顕微鏡 / 透過型電子顕微鏡 / シリコン単結晶 / 水酸アパタイト / 超微細加工 / 転位 / その場観察 / SiC単結晶 / アモルファス化 |
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| 研究概要 |
将来様々な分野への応用が期待されるマイクロ/ナノシステムの実現に必要なSi単結晶の微細加工技術として、原子間力顕微鏡(AFM)を用いて微小荷重で引掻き摩擦による加工を試み、得られた加工形状や微構造変化を解明して、加工プロセスを推定した。
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