| 研究課題/領域番号 |
19560282
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電力工学・電気機器工学
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
渡邊 正人 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 助教 (20251663)
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| 研究分担者 |
堀田 栄喜 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (70114890)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2008年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2007年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
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| キーワード | 放電プラズマ / EUV / 流体工学 / デブリ |
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| 研究概要 |
気体放電を用いたEUV光源の効果的なデブリシールド法として, 超音速ノズルおよびディフューザから構成される超音速ガス流方式を提案し, その有用性を実験的に検証することを目的として研究を実施した.真空環境下での安定した超音速流の発生法と, ディフューザによる効率的なガス回収法を検討するために, レーザ誘起蛍光法によりカーテン流の可視化計測を実施した.また, レーザトリガ型放電電極の基礎実験を実施した.
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