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超臨界流体を用いた有機薄膜の新規な成膜法に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 19560320
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関工学院大学

研究代表者

坂本 哲夫  工学院大学, 工学部, 准教授 (20313067)

研究期間 (年度) 2007 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2008年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2007年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
キーワード電気 / 電子材料 / 結晶成長 / 電気・電子材料 / 超臨界流体 / 有機薄膜 / 発光素子 / 電子・電気材料
研究概要

有機薄膜を作製する新しい方法として、超臨界流体を用いた析出法と急減圧法を検討した。析出法では微結晶ならびに薄膜状の析出物が得られた。一方、急減圧法では微結晶しか得られなかったが、マスクを用いたパターニングが可能であることを示した。従来の方法と比べ、膜質は劣るものの、一貫したドライプロセスで有機薄膜が作製できる点が特徴である

報告書

(3件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (5件)

すべて 2008 その他

すべて 学会発表 (4件) 備考 (1件)

  • [学会発表] Fabrication of Organic Thin Films and Particles using Supercritical Fluids2008

    • 著者名/発表者名
      Tetsuo SAKAMAOTO, Itaru YAMAGUCHI and Kenji OISHI
    • 学会等名
      4th Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia
    • 発表場所
      松江市
    • 年月日
      2008-10-30
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Organic Thin-Film Fabrication by means of Electrospray Deposition2008

    • 著者名/発表者名
      Itaru YAMAGUCHI, Yuuki WATANABE and Tetsuo SAKAMOTO
    • 学会等名
      4th Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia
    • 発表場所
      松江市
    • 年月日
      2008-10-30
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication of Organic Thin Films and Particles using Supercritical Fluids2008

    • 著者名/発表者名
      Tetsuo Sakamoto
    • 学会等名
      4th Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia (VASSCAA-4)
    • 発表場所
      松江市
    • 年月日
      2008-10-29
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Organic Thin-Film Fabrication by means of Electrospray Deposition2008

    • 著者名/発表者名
      Itaru Yamaguchi
    • 学会等名
      4th Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia (VASSCAA-4)
    • 発表場所
      松江市
    • 年月日
      2008-10-29
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.ns.kogakuin.ac.jp/~wwc1045/

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

URL: 

公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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