| 研究課題/領域番号 |
19560349
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 大阪府立大学 |
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研究代表者 |
川田 博昭 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (90186099)
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| 研究分担者 |
平井 義彦 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50285300)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2008年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2007年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
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| キーワード | 微細プロセス技術 / MEMS / 薄膜カンチレバー / 微小質量計測 / 移植法 / リソグラフィレス / 離型 |
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| 研究概要 |
0.1mm程度以下の微小機械であるマイクロマシンの応用が拡大しているが, その作製プロセスは複雑であるため, 現状では付加価値の高い製品に限られている. 本研究では基板に構成部品を貼り付けていく移植法をマイクロマシン作製に適したプロセスに進化させ, さらに, プロセスの簡便化も進めて, 低コストでできるマイクロマシン作製プロセスを開発した. これによりディスポーザブルなマイクロマシンを作るための基本プロセスを確立した.
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