| 研究課題/領域番号 |
19560419
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
計測工学
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| 研究機関 | 新潟大学 |
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研究代表者 |
佐々木 修己 新潟大学, 自然科学系, 教授 (90018911)
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| 研究分担者 |
鈴木 孝昌 新潟大学, 自然科学系, 教授 (40206496)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2008年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2007年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
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| キーワード | 光干渉 / 光波長走査 / 形状計測 / 信号推定 / 波長走査 / 光干渉計 / 信号推処 / 信号推処理 |
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| 研究概要 |
厚さ0.001mm程度の非常に薄い膜の3次元形状を測定することは、微細構造をもつ電子デバイスの製造において重要なことあるが、容易に測定する方法がなかった。そこで、本研究では、光の波長が時間的に正弦波状に変化するレーザ光源を構築し、この波長走査光源を用いた干渉計で得られる干渉信号をコンピュータ内に取り込み、複雑な反復的演算処理を行うことによって、0.000001mm(ナノメータ)の正確さで膜形状を3次元的に測定することができた。
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