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照射環境下における炭化ケイ素の非晶質化過程と化学的短範囲規則性

研究課題

研究課題/領域番号 19560664
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 金属物性
研究機関大阪大学

研究代表者

石丸 学  大阪大学, 産業科学研究所, 准教授 (00264086)

研究分担者 平田 秋彦  大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (90350488)
内藤 宗幸  大阪大学, 産業科学研究所, 助教 (10397721)
研究期間 (年度) 2007 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2008年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2007年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
キーワード解析・評価 / アモルファス / 透過電子顕微鏡 / 炭化ケイ素 / 非晶質 / 動径分布解析 / 構造緩和 / スエリング
研究概要

照射誘起非晶質炭化ケイ素(SiC)の構造および構造緩和過程を先端的電子顕微鏡技術により調べた。非晶質SiCは第1隣接においてSi-C異種原子対に加え、結晶には存在しないC-C、Si-Si同種原子対を有することが明らかとなった。熱処理に伴い異種原子対は増加するのに対し同種原子対は減少し、構造緩和により化学的短範囲規則性が変化することが確認された。Si-Si原子対はC-C原子対よりも構造緩和により早く消失し、この同種原子対間の消滅速度の違いにより非晶質SiCの体積は大きく変化することが示唆された

報告書

(3件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (30件)

すべて 2009 2008 2007

すべて 雑誌論文 (10件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (20件)

  • [雑誌論文] Direct observations of thermally induced structural changes in amorphous silicon carbide2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishimaru, A. Hirata, M. Naito, I.-T. Bae, Y. Zhang, and W. J. Weber
    • 雑誌名

      J.Appl. Phys 104

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Structural relaxation in amorphous SiC studied by in situ transmission electron microscopy2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishimaru, A. Hirata, M. Naito, I.-T. Bae, Y. Zhang, and W. J. Weber
    • 雑誌名

      Proc. 9^<th> Asia-Pacific Microscopy Conf

      ページ: 708-709

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Electron irradiation-induced phase transformation in α-FeSi2008

    • 著者名/発表者名
      M. Naito, M. Ishimaru, J. A. Valdez, and K. E. Sickafus
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys 104

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Ionization-induced effects in amorphous apatite at elevated temperatures2008

    • 著者名/発表者名
      I.-T. Bae, Y. Zhang, W. J. Weber, M. Ishimaru, Y. Hirotsu, and M. Higuchi,
    • 雑誌名

      J. Mater. Res 23

      ページ: 962-967

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] emperature dependence of electron-beam induced effects in amorphous apatite2008

    • 著者名/発表者名
      I.-T. Bae, Y. Zhang, W. J. Weber, M. Ishimaru, Y. Hirotsu, and M. Higuchi,
    • 雑誌名

      Nucl. Instrum. Meth 266

      ページ: 3037-3042

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Direct observations of thermally induced structural changes in amorphous silicon carbide2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishimaru, et al.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 104

      ページ: 33503-33503

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structural relaxation in amorphous SiC studied by in situ transmission electron microscopy2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishimaru, et al.
    • 雑誌名

      Proceedings of 9th Asia-Pacific Microscopy Conference

      ページ: 708-709

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of ionization rates on dynamic recovery processes during electron-beam irradiation of 6H-SiC2007

    • 著者名/発表者名
      I.-T. Bae, W. J. Weber, M. Ishimaru, and Y. Hirotsu
    • 雑誌名

      Appl. Phys 90

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Post-annealing recrystallization and damage recovery process in Fe ion implanted Si2007

    • 著者名/発表者名
      M. Naito, A. Hirata, M. Ishimaru, and Y. Hirotsu
    • 雑誌名

      Nucl. Instrum. Meth B257

      ページ: 340-343

    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Effect of ionization rates on dynamic recovery processes during electron-beam irradiati on of 6H-SiC2007

    • 著者名/発表者名
      I. -T. Bae, W. J. Weber, M. Ishimaru, Y.Hirotsu
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 90

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Thermally induced structural changes of amorphous SiC2009

    • 著者名/発表者名
      M. Ishimaru
    • 学会等名
      16^<th> Int'l Conf. Microscopy of Semiconductig Materials
    • 発表場所
      Oxford, UK
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Structural relaxation in amorphous SiC studied by in situ transmission electron microscopy2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishimaru, A. Hirata, M. Naito, I.-T. Bae, Y. Zhang, W. J. Weber
    • 学会等名
      9^<th> Asia-Pacific Microscopy Conf
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Structural characterization of metastable iron silicides formed in the Fe ion implanted Si2008

    • 著者名/発表者名
      M. Naito and M. Ishimaru
    • 学会等名
      9^<th> Asia-Pacific Microscopy Conf
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Local structure analysis of metastable iron silicides formed in the Fe ion implanted Si2008

    • 著者名/発表者名
      M. Naito and M. Ishimaru
    • 学会等名
      7th Polish-Japan Joint Seminar on Micro and Nano Analysis
    • 発表場所
      Warsaw, Poland
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Formation of metastable iron silicides in the Fe implanted Si2008

    • 著者名/発表者名
      M. Naito and M. Ishimaru
    • 学会等名
      16^<th> Int'l Conf. Ion Beam Modification of Materials
    • 発表場所
      Dresden, Germany
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Structural changes of amorphous SiC during post-implantation thermal annealing (invited)2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishimaru, A. Hirata, M. Naito, I.-T. Bae, Y. Zhang, and W. J. Weber
    • 学会等名
      16^<th> Int'l Conf. Ion Beam Modification of Materials
    • 発表場所
      Dresden, Germany
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 「透過電子顕微鏡「その場」観察による非晶質SiCにおける構造緩和過程の解析」2008

    • 著者名/発表者名
      石丸学、平田秋彦、内藤宗幸、弘津禎彦
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第64回学術講演会
    • 発表場所
      京都
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 照射誘起構造変化の透過電子顕微鏡法による解析(受賞講演)」2008

    • 著者名/発表者名
      石丸学
    • 学会等名
      日本金属学会平成20年度春期大会
    • 発表場所
      世田谷
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] 非晶質SiCにおける構造緩和過程の透過電子顕微鏡「その場」観察2008

    • 著者名/発表者名
      石丸学、平田秋彦、弘津禎彦
    • 学会等名
      日本金属学会平成20年度春期大会
    • 発表場所
      世田谷
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Structural changes of amorphous SiC during post-implantation thermal annealing (invited)2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishimaru, et al.
    • 学会等名
      16th Int'l Conf. on Ion Beam Modification of Materials
    • 発表場所
      Dresden, Germany
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Structural relaxation in amorphous SiC studied by in situ transmission electron microscopy2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishimaru, et al.
    • 学会等名
      9th Asia-Pacific Microscopy Conference
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 透過電子顕微鏡 「その場」 観察による非晶質SiCにおける構造緩和過程の解析2008

    • 著者名/発表者名
      石丸 学, 平田秋彦, 内藤宗幸, 弘津禎彦
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第64回学術講演会
    • 発表場所
      京都
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] 照射誘起構造変化の透過電子顕微鏡法による解析(受賞講演)2008

    • 著者名/発表者名
      石丸 学
    • 学会等名
      日本金属学会平成20年度春期大会
    • 発表場所
      世田谷、東京
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 非晶質SiCにおける構造緩和過程の透過電子顕微鏡「その場」観察2008

    • 著者名/発表者名
      石丸 学、平田秋彦、弘津禎彦
    • 学会等名
      日本金属学会平成20年度春期大会
    • 発表場所
      世田谷、東京
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Si 単結晶基板上への鉄シリサイド形成過程の透過電子顕微鏡観察(招待)2007

    • 著者名/発表者名
      石丸学、元鍾漢, 内藤宗幸, 弘津禎彦
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第51回シンポジウムー顕微鏡学の今とこれから~ー
    • 発表場所
      徳島
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Structural characterization of ion-beam-induced amorphous silicon carbide by advanced electron microscopy (invited)2007

    • 著者名/発表者名
      M. Ishimaru
    • 学会等名
      15th Int'l Conf. Surface Modification of Materials by Ion Beams
    • 発表場所
      Mumbai, India
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Fe イオン注Si に形成されたFe-Si 準安定相の局所構造解析2007

    • 著者名/発表者名
      内藤宗幸、石丸学、弘津禎彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      札幌
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Temperature dependence of electron-beam-induced effects in amorphous apatite2007

    • 著者名/発表者名
      I.-T. Bae. Y. Zhang, W. J. Weber, M. Ishimaru, Y. Hirotsu, and M. Higuchi
    • 学会等名
      14th Int'l Conf. Radiation Effects in Insulators
    • 発表場所
      Caen, France
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Feイオン注入Siに形成された非晶質Fe-Siの再結晶化過程2007

    • 著者名/発表者名
      内藤宗幸、平田秋彦、石丸学、弘津禎彦
    • 学会等名
      日本電子顕微鏡学会第63回学術講演会
    • 発表場所
      新潟
    • 関連する報告書
      2008 研究成果報告書
  • [学会発表] Structural characterization of ion-beam-induced amorphous silicon carbide by advanced electron microscopy(invited)2007

    • 著者名/発表者名
      M. Ishimaru
    • 学会等名
      15th Int'l Conf. Surface Modification of Materials by Ion Beams
    • 発表場所
      Mumbai, India
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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