| 研究課題/領域番号 |
19560677
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
無機材料・物性
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| 研究機関 | 徳島大学 |
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研究代表者 |
森賀 俊広 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 教授 (90239640)
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| 研究分担者 |
村井 啓一郎 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 講師 (60335784)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2008年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2007年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
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| キーワード | 透明導電膜 / アモルファス / ブルーシフト / ドーパント / DCマグネトロンスパッタ法 / 酸化亜鉛 / 酸化インジウム / ガス圧 / キャリア移動度 / ポストアニール / 対向ターゲット式dcスパッタ / 有機基板 |
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| 研究概要 |
種々の条件下でPC及びPET基板上にZnO-In_2O_3系アモルファス透明導電膜を作製した。GaやAl等のドーパントを用いることで、(1)ガラス基板上に作製したアモルファス薄膜に匹敵する低い抵抗率の膜を製膜すること、(2)基礎吸収端の位置を僅かではあるが短波長側にシフトさせ、光学窓をより大きくとることが可能となった。
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