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MBE-VLS法によるシリコン基板上GaAs系ナノワイヤ構造の作製と評価

研究課題

研究課題/領域番号 19651051
研究種目

挑戦的萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 ナノ材料・ナノバイオサイエンス
研究機関名古屋大学

研究代表者

山口 雅史  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (20273261)

研究期間 (年度) 2007 – 2009
研究課題ステータス 完了 (2009年度)
配分額 *注記
3,200千円 (直接経費: 3,200千円)
2009年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2008年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
2007年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
キーワードMBE / VLS / (111)Si / ウィスパリング・ギャラリー・モード / ナノワイヤ / AlGaAs / マイクロワイヤ / 無触媒 / GaAs / InAs / 架橋 / V / III比 / フラックス量 / 拡散長
研究概要

今年度は,MBE-VLS法をによるSi基板上へ無触媒によりGaAs系ナノワイヤの成長メカニズムを利用したGaAs/AlGaAsコアシェル構造を作製し,光デバイス応用のための光学的特性評価を行った。(111)Si基板上に580℃で10分間GaAsナノワイヤを成長した後,5分間の成長中断,そして600℃で180分間AlGaAsシェル構造の成長を行った。これにより,直径約1.8μm,長さ約5μmのマイクロワイヤを得ることが出来た。
このAlGaAsマイクロワイヤにおけるフォトルミネッセンス(PL)測定を行った結果,PLスペクトルにおいて3つの肩がある2つのピークが確認された。これらのピークはAlGaAs基礎吸収端のエネルギーよりも低く,AlGaAsピークの半値幅よりも狭いピークが得られていることから,干渉による発光であると考えられる。このことをより詳細に調べるために,PLの偏光特性を測定した。その結果,TM偏光された5つのピークが観測され,ウィスパリング・ギャラリー・モード(WGM)による干渉であることが分かった。そこで,WGMを考慮して各ピークの同定を行ったところ,六角形に共振する2つのWGMと,三角形に共振する3つの準WGM(q-WGM)であることがわかった。
また,別の同様の試料において励起強度に対するPL特性を調べたところ,励起強度が53.5kW/cm^2においてWGMによる発振と考えられる鋭い発光を示し,Q値が703と比較的高い値であることがわかった。このことから,ナノワイヤを用いた光デバイスへの応用が期待できる。

報告書

(3件)
  • 2009 実績報告書
  • 2008 実績報告書
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (22件)

すべて 2010 2009 2008 2007

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (16件)

  • [雑誌論文] MBE-VLS growth of a catalyst-free GaAs/AlGaAs core-multishell nanowire on(111)silicon substrate2010

    • 著者名/発表者名
      J.H.Paek, et al.
    • 雑誌名

      Physica E 42(印刷中)

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Catalyst Free MBE-VLS growth of GaAs nanowires on(111)Si substrate2009

    • 著者名/発表者名
      J.H.Paek, et al.
    • 雑誌名

      phys. stat. sol.(c) 6

      ページ: 1436-1440

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Si基板上化合物半導体ナノワイヤのMBE-VLS成長2009

    • 著者名/発表者名
      山口雅史, 他
    • 雑誌名

      信学技法 109

      ページ: 49-52

    • NAID

      110007230228

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [雑誌論文] Catalyst Free MBE-VLS growth of GaAs nanowires on (111)Si substrate2009

    • 著者名/発表者名
      J. H. Paek, et al.
    • 雑誌名

      phys. stat. sol. (c) 6(印刷中)

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] MBE-VLS growth of GaAs nanowires on (111) Si substrate2008

    • 著者名/発表者名
      J. H. Paek, et al.
    • 雑誌名

      phys. stat. sol. (c) 5

      ページ: 2740-2742

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] MBE-VLS法を用いた(111)Si基板上へのGaAsナノワイヤ成長2008

    • 著者名/発表者名
      山口雅史, 白知鉉, 西脇達也
    • 雑誌名

      信学技法 107

      ページ: 1-4

    • NAID

      110006613698

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] AlGaAsマイクロワイヤの中のウィスパリングギャラリーモード2010

    • 著者名/発表者名
      白知鉱, 山口雅史
    • 学会等名
      第57回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川県平塚市(東海大学湘南キャンパス)
    • 年月日
      2010-03-17
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] MBE-VLS growth of a catalyst-free GaAs/AlGaAs core-multishell nanowire on(111)silicon substrate2009

    • 著者名/発表者名
      J.H.Paek, et al.
    • 学会等名
      The 14th International Conference on Modulated Semiconductor structures
    • 発表場所
      兵庫県神戸市(神戸コンベンションセンター)
    • 年月日
      2009-07-20
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Catalyst free MBE-VLS growth of GaAs/AlGaAs core-shell nanowires on(111)Si substrate2009

    • 著者名/発表者名
      山口雅史, 他
    • 学会等名
      第28回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      滋賀県守山市(ラフォーレ琵琶湖)
    • 年月日
      2009-07-09
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Catalyst Free MBE-VLS growth of compound semiconductor nanowires on(111)Si substrate2009

    • 著者名/発表者名
      M.Yamaguchi
    • 学会等名
      International Mini-Workshop on Plasma and Nanotechnology
    • 発表場所
      Roskilde, Denmark
    • 年月日
      2009-06-12
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Catalyst Free MBE-VLS growth of GaAs/AlGaAs core-shell nanowires on(111)Si substrate2009

    • 著者名/発表者名
      M.Yamaguchi, et al.
    • 学会等名
      E-MRS 2009 Spring Meeting
    • 発表場所
      Strasbourg, France
    • 年月日
      2009-06-09
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Si基板上化合物半導体ナノワイヤのMBE-VLS成長2009

    • 著者名/発表者名
      山口雅史, 他
    • 学会等名
      信学会電子デバイス研究会
    • 発表場所
      愛知県豊橋市(豊橋技科大サテライトオフィス)
    • 年月日
      2009-05-15
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] 無触媒MBE-VLS法によるSi基板上へのGaAs/AlGaAsコア・シェルナノワイヤの作製2009

    • 著者名/発表者名
      白知鉉, 他
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      つくば市
    • 年月日
      2009-03-30
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] MBE-VLS growth mechanism of GaAs nanowire on (111)Si substrate2008

    • 著者名/発表者名
      M. Yamaguchi, et al.
    • 学会等名
      The 35th International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS 2008)
    • 発表場所
      Rust, Germany
    • 年月日
      2008-09-21
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] シリコントレンチ壁へのGaAsナノワイヤブリツジのVLS成長2008

    • 著者名/発表者名
      市橋弘英, 他
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      春日井市
    • 年月日
      2008-09-03
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Growth mechanism of GaAs nanowire on (111)Si substrate2008

    • 著者名/発表者名
      山口雅史, 他
    • 学会等名
      第27回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      伊豆市
    • 年月日
      2008-07-09
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] MBE-VLS法によるSi基板上のGaAsナノワイヤの作製-II:サイズ制御2008

    • 著者名/発表者名
      白 知鉉, 山口雅史, 澤木宣彦
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      千葉・船橋
    • 年月日
      2008-03-28
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] MBE-VLS法を用いた(111)Si基板上へのGaAsナノワイヤ成長2008

    • 著者名/発表者名
      山口雅史, 白 知鉉, 西脇達也
    • 学会等名
      電子情報通信学会電子デバイス(ED)研究会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2008-01-30
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] MBE法を用いたGaAsナノワイヤの成長と評価2007

    • 著者名/発表者名
      山口雅史, 白 知鉉, 西脇達也
    • 学会等名
      第11回名古屋大学VBLシンポジウム
    • 発表場所
      名古屋
    • 年月日
      2007-11-06
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] MBE Growth of GaAs Nanowires on a(111)Si Substrate2007

    • 著者名/発表者名
      J. H. Paek, M. Yamaguchi
    • 学会等名
      The 34th International Symposium on Compound Semiconductors(ISCS 2007)
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2007-10-16
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] MBE-VLS法によるSi基板上へのGaAsナノワイヤ成長形態2007

    • 著者名/発表者名
      山口雅史, 白 知鉉, 西脇達也
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      札幌
    • 年月日
      2007-09-07
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] MBE-VLS growth of GaAs nanowire on (111)Si substrate2007

    • 著者名/発表者名
      西脇達也, 山口雅史, 白 知鉉
    • 学会等名
      第26回電子材料シンポジウム
    • 発表場所
      滋賀
    • 年月日
      2007-07-06
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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