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プラズマ溶液科学の創生

研究課題

研究課題/領域番号 19654087
研究種目

萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 プラズマ科学
研究機関埼玉大学

研究代表者

白井 肇  埼玉大学, 理工学研究科, 教授 (30206271)

研究分担者 山納 康  埼玉大学, 理工学研究科, 助教 (30323380)
研究期間 (年度) 2007 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
3,200千円 (直接経費: 3,200千円)
2008年度: 1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
2007年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
キーワードマイクロプラズマ / 溶液化学 / プラズマ-溶液界面反応 / 二電気重層 / 電気泳動 / 大気圧マイクロプラズマジェット / プラズマ電気化学 / その場観測
研究概要

本研究は、各種電解質溶液をカソードおよびアノード電極とした大気圧プラズマの生成を行い、発光分光法(OES)、溶液のpH(=-log[H+])および分光エリプソメトリー(SE)による実時問その場診断を通してプラズマ生成機構と溶液物理化学との関連を考察した。特に各種電解質溶液を対向電極とした空気およびArプラズマ生成に対して溶液構成元素の発光強度、電子密度、自己バイアス:vselfおよび溶液のpH変化に着目した。その結果電解質溶液を対向電極とした大気圧プラズマ生成では、従来の溶液スパッタリング、蒸発に加えて、溶液のプロトン濃度に依存した2次電子放出過程がプラズマ生成に関与していることを明らかにした。特に平成20年度は、主にプラズマ状態の等価回路による考察および溶液pHと伝導度がプラズマ生成に及ぼす効果について検討した。さらに溶液の抵抗率はプラズマ生成に及ぼす効果について各種溶液を用いて調べた。塩、強酸、弱酸としてそれぞれNaC1、塩酸、CH3COOHを選択し、溶液伝導度とプラズマ発光、電子密度の関連を考察した。その結果各種溶液に対して伝導率:0.5S/cm前後で発光強度が極小値を示し、その前後で増大する傾向を示した。この要因を塩、強酸、弱酸溶液内のイオンの水和状態および移動度の相違に基づいたモデルを提案した。さらにプラズマ照射により正イオンの照射により表面近傍にカソード電極層が形成されることで電気2重層が形成され、バルク溶液中の負イオンが電気泳動によりカソード表面に輸送され、放出される可能性を示した。実時間紫外およびポッケル素子を用いた表面電荷計測から大気圧プラズマ溶液界面に電気泳動による吸収層の存在を明らかにした。これらの要因には、プラズマ-溶液界面における電気二重層の形成、電気泳動等の効果が揚げられる。

報告書

(2件)
  • 2008 実績報告書
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2009 2008 2007 その他

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (2件) 図書 (2件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] White light emission from silicon oxycarbide films prepared by using atmospheric pressuer microplasma jet2009

    • 著者名/発表者名
      Yi Ding, Hajime Shirai
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 105(On line)

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] プラズマ-電解質溶液界面の物理化学2008

    • 著者名/発表者名
      白井肇
    • 雑誌名

      応用物理 77

      ページ: 397-401

    • NAID

      10021109038

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 大気圧マイクロ熱プラズマジェットによる非晶質Si薄膜の短時間結晶化2007

    • 著者名/発表者名
      白井 肇, 桜井 祐介, 呂 民雅, 小林 知洋
    • 雑誌名

      プラズマ応用科学 15

      ページ: 53-60

    • NAID

      40015683280

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Physicochemistry of the plasma-electrolyte solution interface2007

    • 著者名/発表者名
      Q. Cheng, K. Saito, and H. Shirai
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (On line)

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Microplasma discharge within ethanol solution: Characterization and its application to the synthesis of carbon microstructures

    • 著者名/発表者名
      Q. Cheng, K. Saito, T. Kitamura, and H. Shirai
    • 雑誌名

      Thin Solid Films (On line)

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] プラズマ-溶液界面の診断とその応用2008

    • 著者名/発表者名
      Q. Cheng, K. Saito, and H. Shirai
    • 学会等名
      IUMRS
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] プラズマ溶液界面反応の診断2007

    • 著者名/発表者名
      Q. cheng, K. Saito, and H, Shirai
    • 学会等名
      応用物理学会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [図書] マイクロプラズマ-基礎と応用-2009

    • 著者名/発表者名
      白井肇
    • 出版者
      オーム社
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [図書] マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用2007

    • 著者名/発表者名
      監修:橘 邦英, 寺潟 和夫 白井 肇(分担)
    • 総ページ数
      329
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [産業財産権] 特許2008

    • 発明者名
      白井 肇
    • 権利者名
      埼玉大学
    • 産業財産権番号
      2008-041445
    • 出願年月日
      2008-02-22
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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