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表面張力を利用した真空内非接触流体軸受の開発

研究課題

研究課題/領域番号 19656044
研究種目

萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 設計工学・機械機能要素・トライボロジー
研究機関名古屋大学

研究代表者

社本 英二  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 教授 (20216146)

研究分担者 樋野 励  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 講師 (80273762)
鈴木 教和  名古屋大学, 大学院・工学研究科, 助教 (00359754)
研究期間 (年度) 2007
研究課題ステータス 完了 (2007年度)
配分額 *注記
3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
2007年度: 3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
キーワード流体軸受 / 表面張力 / 軸受剛性 / 耐荷重 / 解析モデル / 対向型軸受 / スライダー
研究概要

(1)新原理に基づく流体軸受面の設計と解析
提案する新原理に基づいて、流体軸受面の設計・解析を行った。具体的には、流体の種類(表面張力)、軸受隙間、軸受面形状と寸法等を変数として、剛性と耐荷重の値を推測する式を導出した。
(2)静止時の基本特性の評価
まず、予備実験用にすでに開発した3点支持軸受面を利用して基本特性を測定する装置開発を行った。軸受面に垂直な方向に荷重を加える電磁アクチュエータ、その荷重を測定する力センサ、およびその微小変位を測定するセンサを組み合わせ、静的な特性である軸受剛性と耐荷重を評価する装置を開発し、実際の測定を行った。その結果および上記の解析結果より、本原理による軸受は極めて高い剛性を有すること、耐荷重は比較的低いこと等が明らかになった。
(3)運動時の基本特性の評価
予備実験用にすでに開発した1軸スライダーを利用し、運動時の抵抗特性と精度を評価する装置を開発し、実際の測定を行った。その結果、運動の再現性が良いこと、流体のせん断力に比べて大きな運動抵抗を持つこと等の運動特性が明らかになった。
(4)対向型軸受の試作開発
実用的には、片方向のみに高い耐荷重を持つ重力バランス型ではなく、いずれの方向にも高い耐荷重を持つ対向型の軸受が望まれる。そこで、水平、垂直方向ともに対向型の軸受面を持つプロトタイプの試作を行った。
(5)本軸受機構の総合的評価上記の各種評価結果を踏まえ、本軸受機構の総合的評価・検討を行った。

報告書

(1件)
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて 2008 2007

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (2件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] A New Method to Control Work-in-Process Inventory for High Manufacturing Productivity2008

    • 著者名/発表者名
      Rei Hino, Norikazu Suzuki and Eiji Shamoto
    • 雑誌名

      Proc. of the 41st CIRP International Conference on Manufacturing Systems (掲載決定)

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 超精密・マイクロ機械加工技術とその展開2007

    • 著者名/発表者名
      社本英二
    • 学会等名
      日本機械学会ワークショップW01「機械工学におけるマイクロ・ナノ工学」
    • 発表場所
      関西大学千里山キャンパス第2学舎3号館
    • 年月日
      2007-09-10
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] これからのものづくりを支える超精密技術2007

    • 著者名/発表者名
      社本英二
    • 学会等名
      テクノフェア名大2007 ミニ講演会
    • 発表場所
      名古屋大学IB電子情報館
    • 年月日
      2007-09-07
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [図書] Smart Devices and Machines for Advanced Manufacturing 分担執筆, 第10章, Walking Drive Enabled Ultra-Precision Positioners2008

    • 著者名/発表者名
      Eiji Shamoto, Rei Hino
    • 出版者
      Sprinter-Verlag London
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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