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有機薄膜のミスト成膜法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 19656192
研究種目

萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 材料加工・処理
研究機関京都大学

研究代表者

藤田 静雄  京都大学, 工学研究科, 教授 (20135536)

研究期間 (年度) 2007 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
3,000千円 (直接経費: 3,000千円)
2008年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
2007年度: 1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
キーワード有機薄膜 / ミスト法 / 超音波霧化 / 成膜装置 / 超音波伝搬 / 有機デバイス
研究概要

本研究は、有機薄膜の成膜にミスト法を適用し、成膜の低コスト化を図ることで有機デバイスの広い応用を目指すものである。本年度に得られた成果を以下に示す。
1. 有機薄膜の例として導電性薄膜として知られているPEDOT-PSSをとりあげ、ミスト法による成膜を試みた。水を溶媒として用い、超音波の周波数を2.4MHzとすることで成膜が可能なことを実証した。成膜時間による膜厚の制御が可能で、およそ10nm/minでの成膜速度となった。PEDOT-PSSの導電率はスピンコートで得られたものとほぼ同等である。また成膜時にメタルマスクを用いて、リソグラフィーを用いることなくパターニングが可能なことを示した。これはデバイスプロセスの簡素化という点で重要な成果である。
2. PEDOT-PSSとZnMgOおよびInGaO薄膜の積層により良好なショットキ接触を得ることができた。これを用いる紫外検出器を作製して、10%程度の量子効率を持つ紫外検出器の作製に成功した。
3. ミスト法による水溶性有機蛍光物質の成膜を試み、発光を得ることができた。このことからも、ミスト法の有用性が確認できた。
4. アルコール等の有機溶媒を用いて高分子系有機薄膜の成膜を試みた。溶媒の種類や水との混合比により霧化に適切な条件があることがわかり、限定された条件でのみ霧化・成膜が可能であった。
以上、ミスト法によって有機薄膜の成膜が可能なことが明らかになり、成膜プロセスの低コスト化に寄与する成果が得られた。

報告書

(2件)
  • 2008 実績報告書
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて 2009 2008

すべて 学会発表 (4件)

  • [学会発表] ミストデポジション法による酸イヒ物薄膜・有機薄膜の成膜2009

    • 著者名/発表者名
      西中浩之
    • 学会等名
      日本材料学会半導体エレクトロニクス部門第21回研究会
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2009-03-17
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] PEDOT : PSSとミストCVD法で成膜したZnMgOによるショットキフォトディテクタの作製2009

    • 著者名/発表者名
      亀山直季
    • 学会等名
      日本材料学会半導体エレクトロニクス部門第21回研究会
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2009-03-17
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] ミストデポジション技術による深紫外線センサーの作製〜リソグラフィーレス有機ポリマーのパターニングとアモルファスIGO〜2008

    • 著者名/発表者名
      西中浩之
    • 学会等名
      薄膜材料デバイス研究会第5回研究集会
    • 発表場所
      奈良
    • 年月日
      2008-11-01
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] ミストCVD法による多元系酸化物薄膜の作製2008

    • 著者名/発表者名
      藤田静雄
    • 学会等名
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      船橋
    • 年月日
      2008-03-27
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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