スタンピング転写を用いた大面積・機能集積・フレキシブルMEMSデバイス

• 研究課題/領域番号: 19681014
• 研究種目: 若手研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: マイクロ・ナノデバイス
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 岩瀬 英治 東京大学, 大学院・情報理工学系研究科, 助教 (70436559)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• 研究課題ステータス: 完了 (2008年度)
• 配分額: 22,360千円 (直接経費: 17,200千円、間接経費: 5,160千円); 2008年度: 8,970千円 (直接経費: 6,900千円、間接経費: 2,070千円); 2007年度: 13,390千円 (直接経費: 10,300千円、間接経費: 3,090千円)
• キーワード: MEMS / スタンピング転写 / フレキシブルデバイス / マイクロマシン

研究概要

スタンピング転写を用いることにより、別々の基板上で製作したMEMS構造をフレキシブルシート上に集積した。これにより、今までフレキシブルシート上には製作が困難であった3次元構造や可動機構をもつMEMSデバイスが実現可能となる。本研究を実現する過程で、スタンピング転写の転写率・転写位置精度、平面ギャップの製作精度の評価を行った。また、実際に3次元構造および可動機構を有する応用的な光MEMSデバイスをPDMSシート上に作成できることを示した。

研究成果

• [学会発表] Temperature-Controlled Transfer and Self-Wiring for Multi-Color LED Display on a Flexible Substrate (2009)
  • 著者名/発表者名: Eiji Iwase, Hiroaki Onoe, Akihito Nakai, Kiyoshi Matsumoto, Isao Shimoyama
  • 学会等名: The 22nd IEEE International Conference on Microelectromechanical Systems (MEMS2009)
  • 発表場所: Sorrento, Italy
  • 年月日: 2009-01-28
• [学会発表] emperature-Controlled Transfer and Self-Wiring for Multi-Color LED Display on a Flexible Substrate (2009)
  • 著者名/発表者名: Eiji Iwase
  • 学会等名: The 22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS '09)
  • 発表場所: Sorrento, Italy
  • 年月日: 2009-01-28
• [学会発表] Hidden Vertical Comb-Drive Actuator on PDMS Fabricated by Parts-Transfer (2008)
  • 著者名/発表者名: Eiji Iwase, Hiroaki Once, Kiyoshi Matsumoto, Isao Shimoyama
  • 学会等名: The 21st IEEE International Conference on Microelectromechanical Systems (MEMS2008)
  • 発表場所: Tucson, Arizona, USA
  • 年月日: 2008-01-16
• [学会発表] Hidden Vertical Comb-Drive Actuator on PDMS Fabricated by Parts-Transfer (2008)
  • 著者名/発表者名: Eiji Iwase, Hiroaki Onoe, Kiyoshi Matsumoto, Isao Shimoyama
  • 学会等名: The 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 08)
  • 発表場所: Tucson, Arizona, USA
  • 年月日: 2008-01-16
• [備考]
  • URL: http://www.leooardiu-tokvo.ac.iD/research/iwase/iwase5.html