研究課題
若手研究(B)
本研究課題においては、集積回路製造において重要な電子線描画技術におけるコストを削減すべく、電子線描画時間を削減する集積回路設計自動化技術を確立した。単一カラムセル描画(SCC)装置装置、及び複数カラムセル(MCC)描画装置において、CPアパーチャ・マスク、及びキャラクタの大きさを最適にし、電子線描画時間を最小化する技術を確立した。また、SCC描画装置及びMCC描画装置に対する論理合成技術を確立し、集積回路の性能、及び製造コストの間のトレードオフを図ることを可能にした。
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すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 6件) 学会発表 (2件)
IEICE Transactions on Fundamentals of Electronics, Communications and Computer Sciences Vol. E91-A, No. 12
ページ: 3451-3460
10026853791
IEICE Transactions on Fundamentals of Electronics, Communications and Computer Sciences E91-A
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情報処理学会論文誌 第48巻5号
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IEICE Transactions on Electronics Vol. E90-C
情報処理学会論文誌 第48巻