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微細加工と単分子膜制御による低電圧・高速駆動ナノゲート有機トランジスタ

研究課題

研究課題/領域番号 19710121
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 マイクロ・ナノデバイス
研究機関独立行政法人理化学研究所

研究代表者

宮寺 哲彦  理研, 研究員 (30443039)

研究期間 (年度) 2007 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
3,690千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 390千円)
2008年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2007年度: 2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
キーワード応用物理 / 有機半導体 / 有機トランジスタ
研究概要

有機薄膜トランジスタ(OTFT)の高速動作を実現させるためのデバイス物理の構築を目的とし、高速化のための素子設計指針、律則要因の解明に関する研究を行った。
端子部の寄生インピーダンスによって動作速度が律則されることを、これまでの研究から明らかにしている。端子部寄生インピーダンスを低減させるために、電極材料や電極作製方法を変えて寄生インピーダンスを解析した。インピーダンス解析の結果から、電極作製の際、電極-有機半導体界面に電気伝導を阻害するトラップ準位が形成され、このトラップ準位が寄生インピーダンスの要因となっていることが分かった。
OTFTは長時間動作させると電流を阻害するトラップが生成され、性能劣化が起こることが知られている。この性能劣化の要因を時間応答測定、パルス応答測定によって解析した。性能劣化は有機半導体層の作製条件を変えてもあまり変化せず、半導体を形成する基板の前処理に大きく依存することが明らかになった。この結果から、性能劣化の要因となるトラップ準位は、半導体層の構造的な欠陥部ではなく、基板-有機半導体界面に存在することを明らかにした。
ゲート絶縁層の微細化も素子の高性能化・高速化につながる。微細化を行うために自己組織化単分子膜(SAM)による絶縁層作製技術を提案している。種々のSAM分子を用いてその絶縁特性を測定している。この結果は有機半導体層に効率よくゲート電界を与えるための基礎データとなる。
以上の結果はOTFT高速化の律則要因を排除する指針を与えており、OTFTのデバイス物理構築の重要な一端を担う成果であると考えられる。

報告書

(1件)
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて 2008 2007

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (6件)

  • [雑誌論文] Frequency response analysis of pentacene thin-film transistors with low impedance contact by interface molecular doping2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuhiko Miyadera, et. al.
    • 雑誌名

      Applied physics letters 91

      ページ: 13512-13512

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] ペンタセン薄膜トランジスタのパルス応答とトラップの評価2008

    • 著者名/発表者名
      宮寺哲彦
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      日本大学
    • 年月日
      2008-03-29
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Frequency response analysis of pentacene thin film transistors and the effect of contact2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuhiko Miyadera, et. al.
    • 学会等名
      Materials Research Society fall meeting 2007
    • 発表場所
      Boston
    • 年月日
      2007-11-26
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Frequency Response and Transient Phenomena of Pentacene Thin Film Transistors2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuhiko Miyadera, et. al.
    • 学会等名
      Electronic Materials Conference 2007
    • 発表場所
      Indiana
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 複素インピーダンス解析によるペンタセンTFT電流注入機構の解明2007

    • 著者名/発表者名
      宮寺哲彦
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Charge injection analysis of top contact pentacene thin film transistors by means of frequency response measurement2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuhiko Miyadera, et. al.
    • 学会等名
      3rd Annual Organic Microelectronics Workshop
    • 発表場所
      Seattle
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Quantitative Analysis on Frequency Response of Pentacene Thin Film Transistors2007

    • 著者名/発表者名
      Tetsuhiko Miyadera, et. al.
    • 学会等名
      International Symposium on Compound Semiconductors
    • 発表場所
      京都大学
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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