| 研究課題/領域番号 |
19740339
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 豊橋技術科学大学 (2008)
北海道大学 (2007) |
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研究代表者 |
須田 善行 豊橋技術科学大学, 工学部, 准教授 (70301942)
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| 連携研究者 |
菅原 広剛 北海道大学大学院, 情報科学研究科, 准教授
高山 純一 北海道大学大学院, 情報科学研究科, 修士課程
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
3,510千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 210千円)
2008年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2007年度: 2,600千円 (直接経費: 2,600千円)
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| キーワード | プラズマ応用 / 単層カーボンナノチューブ / カイラリティ / 化学気相堆積 / エッチング / 二酸化炭素 / 化学活性種 / ラマン分光 |
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| 研究概要 |
(1) カーボンナノチューブ(CNT)の原料ガスであるCH_4にCO_2ガスを添加したところ,多層CNTの層数・内径・外径が増加した。また,CO_2添加により単層CNTの直径分布を太い方へ変化できた。(2)CNT成長領域から60cm程度の距離にプラズマを発生させることで,Si基板上に堆積したAl_2O_3/Fe/Al_2O_3の3層構造触媒から欠陥のほとんどない高品質な単層CNTが合成できた。
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