フッ化物を用いた深紫外高感度光伝導素子の開発

• 研究課題/領域番号: 19760033
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 応用光学・量子光工学
• 研究機関: 名古屋工業大学
• 研究代表者: 小野 晋吾 名古屋工業大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (40370126)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2009
• 研究課題ステータス: 完了 (2009年度)
• 配分額: 3,770千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 570千円); 2009年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円); 2008年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円); 2007年度: 1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
• キーワード: 紫外線検出器 / フッ化物 / ソーラーブラインド / 光伝導

研究概要

フッ化物材料に紫外光を照射することにより電流が流れやすくなる特性があることを発見し、この特性を利用した紫外線検出器を開発した。その際、小型デバイス化に必要なフッ化物材料を薄い膜にするする技術を開発した。また、フッ化物材料の種類を選択することにより、フィルターなどの機構を付加することなく、検出器の応答領域の制御を可能にした。

研究成果

• [雑誌論文] Vacuum ultraviolet luminescence from a micro-pulling-down method grown Nd3+:(La0. 9, Ba0. 1)F2. 9 (2009)
  • 著者名/発表者名: M. Cadatal, Y. Furukawa, S. Ono, M. Pham, E. Estacio, T. Nakazato, T. Shimizu, N. Sarukura, K. Fukuda, T. Suyama, A. Yoshikawa, F. Saito
  • 雑誌名: J. Lumin 129 ページ: 1629-1631
  • 査読あり
• [雑誌論文] Vacuum ultraviolet luminescence from a micro-pulling-down method grown Nd^<3+>:(La_<0.9>,Ba^<0.1>)F_<2.9> (2009)
  • 著者名/発表者名: M.Cadatal, Y.Furukawa, S.Ono, M.Pham, E.Estacio, T.Nakazato, T.Shimizu, N.Sarukura, K.Fukuda, T.Suyama, A.Yoshikawa, F.Saito
  • 雑誌名: Journal of Luminescence 129 ページ: 1629-1631
  • 査読あり
• [雑誌論文] Vacuum ultraviolet optical properties of a micro-pulling-down-method grown Nd3+:(La0. 9, Ba0. 1)F2. 9 (2008)
  • 著者名/発表者名: M. Cadatal, Y. Furukawa, Y. Seo, S. Ono, E. Estacio, H. Murakami, Y. Fujimoto, N. Sarukura, M. Nakatsuka, K. Fukuda, R. Simura, T. Suyama, A. Yoshikawa, F. Saito
  • 雑誌名: J. Opt. Soc. Am. B 25
  • 査読あり
• [雑誌論文] Nd3+:(La1-xBax)F3-x Grown by Micro-Pulling Down Method as Vacuum Ultraviolet Scintillator and Potential Laser Material (2007)
  • 著者名/発表者名: M. Cadatal, Y. Seo, S. Ono, Y. Furukawa, E. Estacio, H. Murakami, Y. Fujimoto, N. Sarukura, M. Nakatsuka, T. Suyama, K. Fukuda, R. Simura, A. Yoshikawa
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys 46
  • NAID: 40015671037
  • 査読あり
• [雑誌論文] Proposed design principle of fluoride-based materials for deep ultraviolet light emitting devices (2007)
  • 著者名/発表者名: N. Sarukura, H. Murakami, E. Estacio, S. Ono, R. El Ouenzerfi, M. Cadatal, T. Nishimatsu, N. Terakubo, H. Mizuseki, Y. Kawazoe, A. Yoshikawa, T. Fukuda
  • 雑誌名: Opt. Mater 30 ページ: 15-17
  • 査読あり
• [学会発表] Ultraviolet Photoconductive detector using CeF3 Thin Film Grown by Pulsed Laser Deposition (2009)
  • 著者名/発表者名: 小野晋吾
  • 学会等名: 27th SPP Physics Congress
  • 発表場所: Tagaytay, Philippines
  • 年月日: 2009-10-29
• [学会発表] Ultraviolet Photoconductive detector using CeF3 Thin Film Grown by Pulsed Laser Deposition (2009)
  • 著者名/発表者名: 小野晋吾
  • 学会等名: 27^<st> SPP Physics Congress
  • 発表場所: タガイタイ(フィリピン)
  • 年月日: 2009-10-29
• [学会発表] パルスレーザー堆積法によるCaF2薄膜の作製と発光特性評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 上坂浩司
  • 学会等名: 2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 富山大学
  • 年月日: 2009-09-09
• [学会発表] パルスレーザー堆積法によるCaF2薄膜の作製と発光特性評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 上坂浩司
  • 学会等名: 2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 富山
  • 年月日: 2009-09-09
• [学会発表] Ultraviolet Photoconductive detector using CeF3 Thin Film Grown by Pulsed Laser Deposition (2009)
  • 著者名/発表者名: 小野晋吾
  • 学会等名: The Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO PR)
  • 発表場所: Shanghai, China
  • 年月日: 2009-09-02
• [学会発表] Ultraviolet Photoconductive detector using CeF3 Thin Film Grown by Pulsed Laser Deposition (2009)
  • 著者名/発表者名: 小野晋吾
  • 学会等名: The Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO PR)
  • 発表場所: 上海(中国)
  • 年月日: 2009-09-01
• [学会発表] パルスレーザー堆積法により作製したCeF3薄膜の光伝導特性評価と紫外線センサー応用 (2009)
  • 著者名/発表者名: 田端一善
  • 学会等名: 平成21年春季第56回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 2009-04-01
• [学会発表] パルスレーザー堆積法により作製したCeF_3薄膜の光伝導特性評価と紫外線センサー応用 (2009)
  • 著者名/発表者名: 田端一善
  • 学会等名: 平成21年春季第56回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: つくば
  • 年月日: 2009-04-01
• [学会発表] パルスレーザー堆積法による紫外発光材料Ce3+:LiCaAlF6の薄膜化と光学特性評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 桑名祐希
  • 学会等名: 平成21年電気学会全国大会
  • 発表場所: 北海道大学
  • 年月日: 2009-03-18
• [学会発表] PLD法により作製したCeF3薄膜の光伝導特性評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 益川陽平
  • 学会等名: 平成21年電気学会全国大会
  • 発表場所: 北海道大学
  • 年月日: 2009-03-18
• [学会発表] パルスレーザー堆積法による紫外発光材料Ce^<3+> : LiCaAIF_6の薄膜化と光学特性評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 桑名祐希
  • 学会等名: 平成21年電気学会全国大会
  • 発表場所: 札幌
  • 年月日: 2009-03-18
• [学会発表] PLD法により作製したCeF_3薄膜の光伝導特性評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 益川陽平
  • 学会等名: 平成21年電気学会全国大会
  • 発表場所: 札幌
  • 年月日: 2009-03-18
• [学会発表] Ultraviolet Photoconductive detector using Cerium Fluoride Thin Film Grown by Pulsed Laser Deposition (2008)
  • 著者名/発表者名: 小野晋吾
  • 学会等名: 2008 Materials Research Society (MRS) Fall Meeting
  • 発表場所: Boston
  • 年月日: 2008-12-03
• [学会発表] Ultraviolet Photoconductive detector using Cerium Fluoride Thin Film Grown by Pulsed Laser Deposition (2008)
  • 著者名/発表者名: 小野晋吾
  • 学会等名: 2008 MRS Fall Meeting
  • 発表場所: ボストン
  • 年月日: 2008-12-01
• [学会発表] パルスレーザー堆積法による紫外発光材料Ce3+:LiCaAlF6の薄膜化と光学特性評価 (2008)
  • 著者名/発表者名: 桑名祐希
  • 学会等名: 2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 中部大学
  • 年月日: 2008-09-03
• [学会発表] パルスレーザー堆積法によるNd3+:LaF3薄膜作製とその光学特性評価 (2008)
  • 著者名/発表者名: 益川陽平
  • 学会等名: 平成20年春季第55回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 日本大学
  • 年月日: 2008-03-30
• [学会発表] パルスレーザー堆積法によるNd^<3+>:LaF_3薄膜作製とその光学特性評価 (2008)
  • 著者名/発表者名: 益川 陽平
  • 学会等名: 応用物理学会
  • 発表場所: 日本大学
  • 年月日: 2008-03-30
• [備考]
  • URL: http://thinfilm.web.nitech.ac.jp/research/UV_detector.pdf
• [産業財産権] 真空紫外発光デバイス (2009)
  • 発明者名: 小野晋吾, 須山敏尚, 福田健太郎, 石津澄人, 河口範明, 長見知史, 吉川彰, 柳田健之, 横田有為
  • 権利者名: 松井信行, 中原茂明
  • 産業財産権番号: 2009-206052
  • 出願年月日: 2009-09-07
• [産業財産権] 殺菌用光源 (2009)
  • 発明者名: 小野晋吾, 須山敏尚, 福田健太郎, 石津澄人, 河口範明, 長見知史, 吉川彰, 柳田健之, 横田有為
  • 権利者名: 松井信行, 中原茂明
  • 産業財産権番号: 2009-206053
  • 出願年月日: 2009-09-07
• [産業財産権] 紫外受光素子及び紫外線量の測定法 (2009)
  • 発明者名: 小野晋吾, 河口範明, 福田健太郎, 須山敏尚
  • 権利者名: 松井信行, 中原茂明
  • 出願年月日: 2009-07-29
• [産業財産権] 紫外線受光素子および紫外線量の測定法 (2009)
  • 発明者名: 小野晋吾、河口範明、福田健太郎、須山敏尚
  • 権利者名: 松井信行、中原茂明
  • 出願年月日: 2009-07-29
  • 外国
• [産業財産権] 真空紫外発光デバイス (2009)
  • 発明者名: 小野晋吾、須山敏尚、福田健太郎、石津澄人、河口範明、長見知史、吉川彰、柳田健之、横田有為
  • 権利者名: 松井信行、中原茂明
  • 産業財産権番号: 2009-206052
  • 出願年月日: 2009-09-07
• [産業財産権] 殺菌用光源 (2009)
  • 発明者名: 小野晋吾、須山敏尚、福田健太郎、石津澄人、河口範明、長見知史、吉川彰、柳田健之、横田有為
  • 権利者名: 松井信行、中原茂明
  • 産業財産権番号: 2009-206053
  • 出願年月日: 2009-09-07
• [産業財産権] 紫外受光素子及び紫外線量の測定法 (2008)
  • 発明者名: 小野晋吾, 河口範明, 福田健太郎, 須山敏尚
  • 権利者名: 松井信行, 中原茂明
  • 産業財産権番号: 2008-195618
  • 出願年月日: 2008-07-30
• [産業財産権] 紫外線受光素子および紫外線量の測定法 (2008)
  • 発明者名: 小野晋吾、河口範明、福田健太郎、須山敏尚
  • 権利者名: 松井信行、中原茂明
  • 出願年月日: 2008-07-30