研究課題
若手研究(B)
研究代表者は,半導体ウエハの品質評価装置として,新しい微小複屈折測定法を考案し測定装置をほぼ完成させた.品質評価装置の導入は,生産に必要な絶対条件ではないため,品質評価によって得られる利益が十分に大きいか,装置費用を回収出来る見通しが立たねば導入されづらい.しかしCO_2削減のためには品質評価装置を導入し歩留まりを向上させることが必要である.これをふまえ,本研究では導入及び維持費用が高価格になりにくい装置を提案した.
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数理科学会論文集 第7巻
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40016662082
数理科学会論文集 Vol.10
東京電機大学総合研究所中間報告書2007 第2007巻
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材料試験技術 第52-4巻
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40015691462
東京電機大学総合研究所中間報告書2007 2007
材料試験技術 52-4
ページ: 208-212
http://www.53lab.m.dendai.ac.jp/