研究課題/領域番号 |
19760096
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研究種目 |
若手研究(B)
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配分区分 | 補助金 |
研究分野 |
生産工学・加工学
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研究機関 | 鹿児島大学 (2008-2009) 福岡県工業技術センター (2007) |
研究代表者 |
村上 洋 鹿児島大学, 大学院・理工学研究科(工学系), 助教 (00416512)
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研究期間 (年度) |
2007 – 2009
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研究課題ステータス |
完了 (2009年度)
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配分額 *注記 |
3,500千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 600千円)
2009年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2008年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2007年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
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キーワード | 微小径穴 / 深穴 / 測定 / 光ファイバプローブ / レーザ / 精度 / 繰り返し性 / 穴 / 光ファイバ / ファイバプローブ / フぁイバプローブ |
研究概要 |
微細径の光ファイバプローブを用いた低測定力で高精度な微小径穴形状精度測定システムの開発を目的とする.プローブが穴内壁に接触した際のプローブのたわみを光学的手法により検出する.本研究では,基礎実験を行い本装置の測定精度を検証し,また直径100μmの微小径穴を測定することで本装置の有用性を確認した.
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