| 研究課題/領域番号 |
19760172
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
知能機械学・機械システム
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| 研究機関 | 香川大学 (2008)
京都大学 (2007) |
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研究代表者 |
鈴木 孝明 香川大学, 工学部, 准教授 (10378797)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
3,750千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 450千円)
2008年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2007年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
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| キーワード | マイクロ流体システム / microTAS / フォトリソグラフィ / マイクロミキサ / マイクロ・ナノデバイス / マイクロマシン / 流体工学 |
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| 研究概要 |
本研究では、単一のマスクパターンからアライメントレスで複雑な3次元構造を作製するフォトリソグラフィ法を提案するとともに、提案するプロセスの具体的な応用例として3次元多層流を用いた高速マイクロミキサの試作・評価を行った。提案するフォトリソグラフィ技術は、遮光用のメタル層がパターニングされたガラス基板に紫外線硬化性樹脂を直接塗布し、裏面から紫外線を傾斜露光することによって、単一のマスクパターンから3次元的な構造を作製することができる。
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