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測定応力による電子デバイス接合界面強度の定量評価

研究課題

研究課題/領域番号 19760488
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 構造・機能材料
研究機関横浜国立大学

研究代表者

長谷川 誠  横浜国立大学, 大学院工学研究院, 特別研究教員 (50376513)

研究期間 (年度) 2007 – 2008
研究課題ステータス 完了 (2008年度)
配分額 *注記
3,480千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 180千円)
2008年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2007年度: 2,700千円 (直接経費: 2,700千円)
キーワード強度 / 靭性 / 界面 / 応力成分 / 結晶方位 / 蛍光分光法 / 接合体 / 界面強度 / 応力測定
研究概要

電子デバイスなどでは、内部および外部からの力学的負荷による界面の剥離が問題となっている。本研究では、電子デバイスを模擬した材料としてCuと単結晶Al2O3あるいは多結晶Al2O3 の接合体を作製し、力学的負荷を接合体に加えた時に剥離に影響を与える界面に平行および垂直な方向の応力成分を求めた。応力成分はEBSD法を用いて得られるAl2O3の結晶方位の情報とレーザーを用いた蛍光分光法により得られるピークの位置情報より算出することができた。また、界面が剥離している状態においても応力成分を求めることができた。

報告書

(3件)
  • 2008 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2007 実績報告書

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2016-04-21  

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