スパッタプロセスにおける多元素同時モニタリング技術

• 研究課題/領域番号: 19760508
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 和歌山大学
• 研究代表者: 太田 貴之 和歌山大学, システム工学部, 助教 (10379612)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• 研究課題ステータス: 完了 (2008年度)
• 配分額: 3,260千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 360千円); 2008年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2007年度: 1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
• キーワード: プラズマ診断 / スパッタリング / 吸収分光法 / プラズマ / 光源 / モニタリング

研究概要

スパッタプロセスは, 非常に幅広い薄膜プロセスに用いられている. 本研究では, 高機能薄膜を高品質に形成するために, スパッタプラズマ中の数種類の金属原子密度を同時にモニタリングする技術の開発を目的とした. 具体的には, 金属原子密度測定用の吸収分光用光源の開発し, 透明導電膜製膜スパッタプラズマ中のInとZn原子密度の同時モニタリングを行い, 金属原子の絶対密度計測に成功した.

研究成果

• [雑誌論文] Simultaneous monitoring of metallic atom densities in sputtering process using multi-micro hollow cathode lamp (2007)
  • 著者名/発表者名: Ohta, M. Ito, Y. Tachibana, S. Taneda, S. Takashima, M. Hori, H. Kano, S. Den
  • 雑誌名: Appl. Phys. Lett. 90
  • 査読あり
• [雑誌論文] Simultaneous monitoring of multi-metallic atom densities in plasma processes employing a multi-micro hollow cathode 1amp (2007)
  • 著者名/発表者名: Takayuki Ohta
  • 雑誌名: Applied Physiscs Letters 90 ページ: 251502-251502
  • 査読あり
• [学会発表] マルチマイクロホローカソード光源を用いた金属原子密度のモニタリング (2009)
  • 著者名/発表者名: 田子多直樹, 太田貴之, 伊藤昌文
  • 学会等名: わかやま情報サービス産業クラスター(Embedded Information Service-Cluster)産学連携和歌山大学大学院生研究成果発表会
  • 発表場所: 和歌山ルミエール華月殿
  • 年月日: 2009-01-29
• [学会発表] マイクロホローカソードプラズマを用いた複数金属同時測定用吸収分光光源の開発 (2009)
  • 著者名/発表者名: 太田貴之
  • 学会等名: 電気学会研究フォーラム先端プラズマ技術を利用したナノテクノロジーおよびバイオ分野への応用に関する研究, 第3回 : 大気圧および液体中におけるプラズマ生成と応用, 招待講演
  • 発表場所: 静岡大学
  • 年月日: 2009-01-14
• [学会発表] マイクロホローカソードプラズマを用いた複数金属同時測定用吸収分光光源の開発 (2009)
  • 著者名/発表者名: 太田貴之
  • 学会等名: 電気学会研究フォーラム先端プラズマ技術を利用したナノテクノロジーおよびバイオ分野への応用に関する研究,第3回 : 大気圧および液体中におけるプラズマ生成と応用
  • 発表場所: 静岡大学
  • 年月日: 2009-01-14
• [学会発表] Measurement of atoms in sputtering system employing micro-plasma (2009)
  • 著者名/発表者名: T. Ohta, N. Takota, M. Ito, Y. Higashijima, H. Kano, K. Yamakawa, S. Den, and M. Hori
  • 学会等名: The 8^<th> International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics Joint Workshop with Plasma Application Monodzukuri
  • 発表場所: Gifu, Japan
• [学会発表] Diagnostics of RF magnetron sputtering plasma for synthesizing Indium-Zinc-Oxide film (2009)
  • 著者名/発表者名: T. Ohta, N. Takota, M. Ito, Y. Higashijima, H. Kano, S. Den, and M. Hori
  • 学会等名: First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (ISPlasma2009)
  • 発表場所: Nagoya, Japan
• [学会発表] マルチマイクロホローカソード光源を用いた透明導電膜成膜スパッタプロセスにおける金属原子密度のモニタリング (2009)
  • 著者名/発表者名: 田子多直樹、家苗毅司、太田貴之、伊藤昌文、東島康裕、加納浩之、田昭治、堀勝
  • 学会等名: プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会
  • 発表場所: 名古屋大学
• [学会発表] インジウム酸化亜鉛膜形成のためのRFマグネトロンスパッタリングプラズマの診断 (2009)
  • 著者名/発表者名: 太田貴之, 田子多直樹, 伊藤昌文, 東島康裕, 加納浩之, 田昭治, 堀勝
  • 学会等名: 第56回応用物理学会関係連合講演会
  • 発表場所: 筑波大学
• [学会発表] Simultaneous monitoring of absolute densities of In and Zn atoms in indium zinc oxide sputtering process (2008)
  • 著者名/発表者名: T.Ohta, N. Takota, Y. Tachibana, M. Ito, Y. Higashijima, H. Kano, S. Den, M. Hori
  • 学会等名: The International Union of Materials Research Societies International Conference in Asia 2008(IUMRS-ICA2008), 招待講演
  • 発表場所: Nagoya, Japan
• [学会発表] Simultaneous monitoring of absolute densities of multi metallic atoms in magnetron sputtering employing micro hollow cathode lamp (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Ohta, Y. Tachibana, N. Takota, M. Ito, S. Takashima, Y. Higashijima, H. Kano, S. Den, M. Hori
  • 学会等名: 11th international conference on plasma surface engineering
  • 発表場所: Garmisch-Partenkirchen, Germany
• [学会発表] Effects of cathode dimension on plasma charactristics of multi-micro hollow cathode lamp (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Ohta, Y. Tachibana, N. Takota, M. Ito, S. Takashima, Y. Higashijima, H. Kano, S. Den, M. Hori
  • 学会等名: 19th European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases
  • 発表場所: Granada, Spain
• [学会発表] Effects of cathode dimension on plasma characteristics of multi-micro hollow cathode lamp (2008)
  • 著者名/発表者名: Hori T. Ohta, Y. Tachibana, N. Takota, M. Ito, S. Takashima, Y. Higashijima, H. Kano, S. Den, M.
  • 学会等名: 19th European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases
  • 発表場所: Granada, Spain
• [学会発表] Simultaneous monitoring of absolute densities of multi metallic atoms in magnetron sputtering employing micro hollow cathode lamp (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Ohta, Y. Tachibana, N. Takota, M. Ito, S. Takashima, Y. Higashijima, H. Kano, S. Den, M. Hori
  • 学会等名: 11^<th> international conference on plasma surface engineering
  • 発表場所: Garmisch-Partenkirchen, Germany
• [学会発表] Emission characteristics on light source array using micro hollow cathode plasma (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Ohta, Y. Tachibana, N. Takota, M. Ito, S. Takashima, Y. Higashijima, H. Kano, S. Den, M. Hori
  • 学会等名: 61th Gaseous Electronics Conference
  • 発表場所: Dallas, USA
• [学会発表] Simultaneous monitoring of absolute densities of In and Zn atoms in indium zinc oxide sputtering process (2008)
  • 著者名/発表者名: T. Ohta, N. Takota, Y. Tachibana, M. Ito, Y. Higashijima, H. Kano, S. Den, M. Hori
  • 学会等名: The International Union of Materials Research Societies International Conference in Asia 2008(IUMRS-ICA 2008)
  • 発表場所: Nagoya, Japan
• [学会発表] マイクロホローカソードプラズマを用いた金属原子密度測定のための吸収分光用光源の開発 (2008)
  • 著者名/発表者名: 太田貴之, 橘善洋, 田子多直樹, 伊藤昌文, 高島成剛, 東島康裕, 加納浩之, 田昭治, 堀勝
  • 学会等名: 電気学会プラズマ研究会
  • 発表場所: 名古屋工業大学
• [学会発表] マルチマイクロホローカソード光源を用いたIZO膜成膜スパッタプロセスにおける金属原子密度のモニタリング (2008)
  • 著者名/発表者名: 田子多直樹, 太田貴之, 伊藤昌文, 東島康裕, 加納浩之, 田昭治, 堀勝
  • 学会等名: 第69回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 中部大学
• [学会発表] 吸収分光法を用いた金属原子密度リアルタイムモニタリング用マルチマイクロホローカソード光源の発光特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 太田貴之
  • 学会等名: 第55回応用物理学会関係連合講演会
  • 発表場所: 日本大学
• [学会発表] マルチマイクロホローカソード光源の発光特性 (2008)
  • 著者名/発表者名: 太田貴之
  • 学会等名: 第25回プラズマプロセシング研究会
  • 発表場所: 山口県教育会館
• [学会発表] plasma diagnostics on multi-micro hollow light source (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Ohta, Y. Tachibana, M. Ito, S. Takashima, Y. Higashijima, H. Kano, S. Den, M. Hori
  • 学会等名: 18th international symposium on plasma chemistry
  • 発表場所: Kyoto, Japan
• [学会発表] Development of multi metallic emission array using micro hollow cathode plasma (2007)
  • 著者名/発表者名: T. Ohta, Y. Tachibana, M. Ito, S. Takashima, Y. Higashijima, H. Kano, S. Den, M. Hori
  • 学会等名: XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
  • 発表場所: Prague, Czech Republic
• [学会発表] Developmetn of light source using micro hollow cathode plasma for monitoring absolute densities of metal atoms in magnetron sputtering (2007)
  • 著者名/発表者名: Takayuki Ohta
  • 学会等名: 60th Gaseous Electronics Conference
  • 発表場所: Arlington, USA
• [学会発表] plasma diagnostics on multi-micro hollow light source (2007)
  • 著者名/発表者名: Takayuji Ohta
  • 学会等名: 18_th international symposium on plasma chemistry
  • 発表場所: Kyoto, Japan
• [学会発表] マルチマイクロホローカソード光源の開発(II) (2007)
  • 著者名/発表者名: 太田貴之
  • 学会等名: 第68回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 北海道工業大学
• [学会発表] Development of light source for simultaneous monitoring of multi elements using micro hollow cathode plasma (2007)
  • 著者名/発表者名: 橘 善洋
  • 学会等名: 第20回プラズマ材料科学シンポジウム
  • 発表場所: 名古屋大学
• [備考] ホームページ等
  • URL: http://www.sys.wakayama-u.ac.jp/om/photonics/