ドライマシニングを実現するセラミックス硬質薄膜の創製および微細構造解析

• 研究課題/領域番号: 19760509
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 材料加工・処理
• 研究機関: 岡山大学
• 研究代表者: 長谷川 裕之 岡山大学, 大学院・自然科学研究科, 助教 (60403482)
• 研究期間 (年度): 2007 – 2008
• 研究課題ステータス: 完了 (2008年度)
• 配分額: 3,480千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 180千円); 2008年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円); 2007年度: 2,700千円 (直接経費: 2,700千円)
• キーワード: コーティング / 非平衡プロセス / X線回折法 / 原子間力顕微鏡 / 微細構造 / 耐酸化性 / 電子顕微鏡 / 硬質薄膜 / 耐熱性

研究概要

アルミニウム含有量の増加に伴い,(Cr,Al)Nは立方晶から六方晶へ変態し,その近傍において,膜の最大硬度が得られる.本研究では,相変態近傍の組成を有する(Cr,Al)Nに希土類元素および珪素を添加した硬質膜をカソディックアークイオンプレーティング法および高周波マグネトロンスパッタリング法により作製し,耐熱性,耐酸化性,微細構造を中心とした評価を実施した.

研究成果

• [雑誌論文] Micro-hardness (2008)
  • 著者名/発表者名: Hiroyuki Ezura, Koji Ichijo, Hiroyuki Hasegawa, Kenji Yamamoto, Atsushi Hotta, Tetsuya Suzuki
  • 雑誌名: microstructures and thermal stability of (Ti,Cr,Al,Si) N films deposited by cathodic arc method Vacuum Vol.82 ページ: 476-481
  • 査読あり
• [雑誌論文] Micro-hardness, microstructures and thermal stability of (Ti, Cr, Al, Si) N films deposited by cathodic arc method (2008)
  • 著者名/発表者名: R. Ezura, et.al.
  • 雑誌名: Vacuum 82 ページ: 476-481
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characterization of quaternary (Cr,Al) N based films synthesized by cathodic arc method (2007)
  • 著者名/発表者名: Hiroyuki Hasegawa, Kazuhito Ohashi, Shinya Tsukamoto, Takashi Sato, Tetsuya Suzuki
  • 雑誌名: Surface & Coatings Technology Vol.202 ページ: 786-789
  • 査読あり
• [雑誌論文] "Microstructures of(Ti,Cr,Al,Si) N films synthesized by cathodic arc method" (2007)
  • 著者名/発表者名: Koji Ichijo, Hiroyuki Hasegawa, Tetsuya Suzuki
  • 雑誌名: Surface & Coatings Technology Vol.201 ページ: 5477-5480
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characterization of quaternary (Cr, AI)N based films synthesized by cathodicarc method (2007)
  • 著者名/発表者名: Hiroyuki Hasegawa
  • 雑誌名: Surface & Coatings Technology 202 ページ: 786-789
  • 査読あり
• [雑誌論文] Microstructures of (Ti, Cr, Al, Si)N films synthesized by cathodic arc method (2007)
  • 著者名/発表者名: Koji Ichijo
  • 雑誌名: Surface & Coatings Technology 201 ページ: 5477-5480
  • 査読あり
• [雑誌論文] セラミック硬質薄膜の微小硬度および微細構造変化 (2007)
  • 著者名/発表者名: 長谷川裕行
  • 雑誌名: 高温学会誌 33 ページ: 78-83
  • 査読あり
• [学会発表] Thermal Stability and Oxidation Resistance of(Cr,Al) N Based Coatings Deposited by Cathodic Arc Method (2008)
  • 著者名/発表者名: Hiroyuki Hasegawa
  • 学会等名: International Conference on Metallurgical Coating and Thin Films
  • 発表場所: 米国
  • 年月日: 2008-05-01
• [学会発表] Thermal Stability and Oxidation Resistance of (Cr, Al) N Based Coatings Deposi (2008)
  • 著者名/発表者名: H. Hasegawa, et.al.
  • 学会等名: International Conference on Metallurgical Coating and Thin Films
  • 発表場所: サンディエゴ, 米国
  • 年月日: 2008-05-01
• [学会発表] Characterization of quaternary quatenary Cr based nitride films synthesized by cathodic arc method (2007)
  • 著者名/発表者名: Hiroyuki Hasegawa
  • 学会等名: International Conference on Metallurgical Coating and Thin Films
  • 発表場所: 米国
  • 年月日: 2007-04-23
• [学会発表] Characterization of quaternary quatenary Cr based nitride films synthesized by cathodic arc method (2007)
  • 著者名/発表者名: Hiroyuki Hasegawa
  • 学会等名: International Conference on Metallurgical Coating and Thin Films
  • 発表場所: USA
  • 年月日: 2007-04-23
• [産業財産権] Ti, Cr, Alを基底とする硬質窒化物膜及びその製造方法 (2009)
  • 発明者名: 長谷川裕之,塚本真也,大橋一仁
  • 権利者名: 長谷川裕之,塚本真也,大橋一仁
  • 産業財産権番号: 2009-048170
  • 出願年月日: 2009-03-02
• [産業財産権] Ti, Cr, Alを基底とする硬質窒化物膜及びその製造方法 (2009)
  • 発明者名: 長谷川裕之
  • 権利者名: 長谷川裕之
  • 産業財産権番号: 2009-048170
  • 出願年月日: 2009-03-02