| 研究課題/領域番号 |
19860006
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| 研究種目 |
若手研究(スタートアップ)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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| 研究機関 | 兵庫県立大学 (2008)
東北大学 (2007) |
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研究代表者 |
原田 哲男 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 助教 (30451636)
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| 研究期間 (年度) |
2007 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
3,013千円 (直接経費: 2,620千円、間接経費: 393千円)
2008年度: 1,703千円 (直接経費: 1,310千円、間接経費: 393千円)
2007年度: 1,310千円 (直接経費: 1,310千円)
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| キーワード | 応用光学 / 干渉計測 / 超薄膜 / X線 / 超精密計測 |
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| 研究概要 |
低コヒーレンスな軟X線光源に適用可能な新型コモンパス干渉計を提案した.大きな特徴は斜入射ビームスプリッターを縦配置し,等倍共心光学系と組み合わせているため干渉縞生成が非常に容易になることである.シミュレーションより0.1mmと大きな光源でも縞生成が可能で,実験室光源への適用を示した.光学素子の移動精度も10nm程度で縞生成可能である.また,可視光干渉計において干渉縞を生成し収差測定した.
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