| 研究概要 |
はじめに, センサの構成については, 硬軟2層の構造にすることにより, シミュレーションおよび実験を通じて角度変位を拡大可能なことを明らかにした. また, センサの高速化のため, 他デバイスの組み合わせとしてLED(Light Emission Diode),PD(Photo Diode)を用いたシステムを試作し, LEDを用いたときの光学的特性を実測に基づき解析した. 500 Hz 程度の振動の測定ができること, 測定対象の粗さと信号の分散と相関があることを明らかにした. そして, 微小変位の検出可能性を探るシミュレーションなどを通じて, 本センサと人間の皮膚の特性が類似していることを明らかにした.
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