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先進プラズマ活用1次元ナノカーボン材料の完全原子配列制御合成と革新的応用開拓

研究課題

研究課題/領域番号 19H00664
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 中区分14:プラズマ学およびその関連分野
研究機関東北大学

研究代表者

加藤 俊顕  東北大学, 工学研究科, 准教授 (20502082)

研究分担者 大塚 朋廣  東北大学, 電気通信研究所, 准教授 (50588019)
澁田 靖  東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (90401124)
研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
45,370千円 (直接経費: 34,900千円、間接経費: 10,470千円)
2022年度: 8,840千円 (直接経費: 6,800千円、間接経費: 2,040千円)
2021年度: 9,490千円 (直接経費: 7,300千円、間接経費: 2,190千円)
2020年度: 11,960千円 (直接経費: 9,200千円、間接経費: 2,760千円)
2019年度: 15,080千円 (直接経費: 11,600千円、間接経費: 3,480千円)
キーワードカーボンナノチューブ / グラフェンナノリボン / 遷移金属ダイカルコゲナイド / 原子構造制御合成 / プラズマCVD / 量子ドット / その場観測 / 高透明太陽電池
研究開始時の研究の概要

優れた物性が予測されている1次元ナノカーボン材料であるカーボンナノチューブとグラフェンナノリボンを研究対象とし、これらを実デバイスに応用する上で最大の課題とされている完全原子配列制御合成に挑戦する。さらに本手法で合成した高品質1次元ナノカーボン材料を活用した革新的エレクトロニクス応用を開拓する。具体的には、パラメータの多様性に特長のあるプラズマプロセスの潜在能力を最大限活用することで実現を目指す。

研究成果の概要

1次元ナノカーボン材料であるカーボンナノチューブ(CNT)とグラフェンナノリボン(GNR)に関して独自に開発したプラズマCVD法を活用することで、原子レベルでの精密な構造制御合成を行った結果、(6,5)CNTを世界最高純度である96%で直接合成することに成功した。さらにGNRをベースとした量子ドットの開発に成功し、それらを集積化合成可能であることを実証した。また、類似の原子層材料である遷移金属ダイカルコゲナイド(TMD)に関しても研究を展開し、その場観測CVD合成の開発、非古典的核生成機構の発見、および可視光平均透過率79%の極めて透明度の高い太陽電池の開発にそれぞれ成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

1次元ナノカーボン材料の原子構造を精密に制御して合成する技術を開発した本成果は、今後の基礎研究と応用開発の両側面に貢献が期待できる社会的意義の高い研究成果である。特にプラズマCVDにより(6,5)CNTの超高純度合成を実現した成果は、30年以上未解決のCNTカイラリティ制御につながるものであり学術的にも極めて価値のある成果である。また、2次元結晶に関して独自に開発したその場観測装置により成長機構を定量的に解明した成果は、2次元結晶成長の学理構築の観点で重要である。さらに窓ガラスと同程度の透過率を持つ高透明太陽電池を実現した成果は、グリーンイノベーションの観点で社会的にも重要な貢献が期待できる。

報告書

(4件)
  • 2022 研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実績報告書
  • 2019 審査結果の所見   実績報告書
  • 研究成果

    (43件)

すべて 2021 2020 2019

すべて 雑誌論文 (3件) (うち国際共著 1件、 査読あり 3件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (37件) (うち国際学会 16件、 招待講演 9件) 図書 (3件)

  • [雑誌論文] Improvement in growth yield of single-walled carbon nanotubes with narrow chirality distribution by pulse plasma CVD2019

    • 著者名/発表者名
      B. Xu, T. Kaneko, and T. Kato
    • 雑誌名

      Frontiers of Chemical Science and Engineering

      巻: 13 号: 3 ページ: 485-492

    • DOI

      10.1007/s11705-019-1831-2

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Enhanced Thermoelectric Performance of As-Grown Suspended Graphene Nanoribbons2019

    • 著者名/発表者名
      Q.-Y. Li, T. Feng, W. Okita, Y. Komori, H. Suzuki, T. Kato, T. Kaneko, T. Ikuta, X. Ruan, K. Takahashi
    • 雑誌名

      ACS Nano

      巻: 13 号: 8 ページ: 9182-9189

    • DOI

      10.1021/acsnano.9b03521

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Nucleation dynamics of single crystal WS2 from droplet precursors uncovered by in-situ monitoring2019

    • 著者名/発表者名
      C. Li, T. Kameyama, T. Takahashi, T. Kaneko, T. Kato
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 9 号: 1

    • DOI

      10.1038/s41598-019-49113-0

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Growth dynamics of 2D materials2021

    • 著者名/発表者名
      Toshiaki Kato
    • 学会等名
      The 7th International Workshop on 2D Materials
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Effects of nanobar structures on device performance of graphene nanoribbons grown by plasma CVD2020

    • 著者名/発表者名
      N. Sato, T. Kaneko, and T. Kato
    • 学会等名
      2020年度電気関係学会東北支部連合大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] (6,4)単層カーボンナノチューブのカイラリティ選択機構における気相中炭化水素前駆体の効果2020

    • 著者名/発表者名
      椎名 悟,金子 俊郎,加藤 俊顕
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Effects of channel length on performance of transparent solar cell with monolayer WS22020

    • 著者名/発表者名
      X. He, T. Kaneko, and T. Kato
    • 学会等名
      第59回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン 総合シンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] グラフェンナノリボンを用いたサイズ制御量子ドットの直接合成2020

    • 著者名/発表者名
      M. Seo, T. Kitada, T. Kaneko, T. Otsuka, and T. Kato
    • 学会等名
      第59回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン 総合シンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] ゆらぎ導入ナノバーからのグラフェンナノリボン制御合成2020

    • 著者名/発表者名
      N. Sato, T. Kaneko, and T. Kato
    • 学会等名
      第59回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン 総合シンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Transparent Schottky type solar cell based on uniform WS2 film2020

    • 著者名/発表者名
      X. He, T. Kaneko, and T. Kato
    • 学会等名
      2020 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 高集積グラフェンナノリボンの合成と成長ダイナミクス2020

    • 著者名/発表者名
      加藤 俊顕, 金子 俊郎
    • 学会等名
      日本物理学会2020年秋季大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Plasma Synthesis of Integrated Graphene Nanoribbons and its Optoelectrical Applications2020

    • 著者名/発表者名
      Toshiaki Kato, Toshiro Kaneko
    • 学会等名
      73rd Annual Gaseous Electronics Conference
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Integrated Synthesis of Millions of Suspended Graphene Nanoribbons and its Non-Volatile Memory Applications2020

    • 著者名/発表者名
      Toshiaki Kato, Toshiro Kaneko
    • 学会等名
      2020 Virtual MRS spring/fall meeting & exhibit
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 高純度(6,4)単層カーボンナノチューブ合成に向けた前駆体制御2020

    • 著者名/発表者名
      椎名 悟,金子 俊郎,加藤 俊顕
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 伝導ギャップ制御に向けたホモ接合グラフェンナノリボンの合成2020

    • 著者名/発表者名
      小倉 士忠,金子 俊郎,加藤 俊顕
    • 学会等名
      第58回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] その場観測により観測された単層WS2の高速成長2020

    • 著者名/発表者名
      亀山 智矢,金子 俊郎,加藤 俊顕
    • 学会等名
      第58回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of Transparent Solar Cell with Atomically Thin Layered Materials2019

    • 著者名/発表者名
      X. He , Y. Yamaguchi , T. Kaneko , and T. Kato
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Integrated synthesis of graphene nanoribbon-based field effect transistor with high on/off ratio2019

    • 著者名/発表者名
      N. Ogura , H. Suzuki , T. Kaneko , and T. Kato
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week 2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Structural controlled synthesis and solar cell application of TMDs2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kato and T. Kaneko
    • 学会等名
      3rd International Workshop on 2D Materials
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Performance improvement of graphene nanoribbon transistor with plasma CVD2019

    • 著者名/発表者名
      N. Ogura , H. Suzuki , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      The Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and the 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Plasma CVD synthesis of (6,4) single-walled carbon nanotubes and its growth mechanism2019

    • 著者名/発表者名
      S. Shiina , T. Shima , B. Xu , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      The Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and the 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] グラフェンナノリボンの大規模集積化合成と応用2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 学会等名
      グラフェンコンソーシアム第20回研究講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Flow rate effects on layer-number-controlled synthesis of integrated WS22019

    • 著者名/発表者名
      X. Qiang , T. Kameyama , C. Li , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      2019年度電気関係学会東北支部連合大会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Efficient fabrication of graphene nanoribbon quantum dot with advanced plasma CVD2019

    • 著者名/発表者名
      M. Seo , W. Okita , H. Suzuki , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      2019年度電気関係学会東北支部連合大会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Plasma CVD synthesis of high purity (6,4) single-walled carbon nanotubes2019

    • 著者名/発表者名
      S. Shiina , T. Shima , B. Xu , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      2019年度電気関係学会東北支部連合大会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] In-situ Monitoring of Monolayer WS2 Growth2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kameyama , C. Li , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      第57回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] The effect of gas phase species on chirality selectivity between (6,4) and (6,5) single-walled carbon nanotubes2019

    • 著者名/発表者名
      S. Shiina , T. Shima , B. Xu , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      第57回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Work function modulation of transparent electrode for fabrication of WS2-based highly transparent solar cell2019

    • 著者名/発表者名
      X. He , Y. Yamaguchi , T. Kaneko , and T. Kato
    • 学会等名
      第57回フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Graphene nanoribbon electronics fabricated with advanced plasma processing2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kato , H. Suzuki , and T. Kaneko
    • 学会等名
      The 12th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 二次元シートの集積化合成と層数制御2019

    • 著者名/発表者名
      強 効銘,亀山 智矢,李 超,金子 俊郎,加藤 俊顕
    • 学会等名
      第13回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] プラズマCVDによるグラフェンナノリボン量子ドットの形成2019

    • 著者名/発表者名
      瀬尾 瑞樹,大北 若奈,鈴木 弘朗,金子 俊郎,加藤 俊顕
    • 学会等名
      第13回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] (6,4)単層カーボンナノチューブのプラズマCVD合成における気相効果2019

    • 著者名/発表者名
      椎名 悟,志摩 拓哉,許 斌,金子 俊郎,加藤 俊顕
    • 学会等名
      第13回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] その場観測による単層WS2合成物理因子の直接計測2019

    • 著者名/発表者名
      亀山 智矢,李 超,金子 俊郎,加藤 俊顕
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Mechanism of persistent photo conductivity in functionalized graphene nanoribbons2019

    • 著者名/発表者名
      N. Ogura , H. Suzuki , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      RECENT PROGRESS IN GRAPHENE & 2D MATERIALS RESEARCH 2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Scalable fabrication of TMD-based highly-transparent solar cells2019

    • 著者名/発表者名
      X. He , Y. Yamaguchi , T. Kaneko , and T. Kato
    • 学会等名
      RECENT PROGRESS IN GRAPHENE & 2D MATERIALS RESEARCH 2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] CVD growth of 1 million graphene nanoribbons on the device2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kato and T. Kaneko
    • 学会等名
      The 4th Graphene Flagship EU-Japan Workshop on Graphene and related 2D materials
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Highly-transparent photovoltaic based on atomically thin 2D materials2019

    • 著者名/発表者名
      X. He , Y. Yamaguchi , T. Kaneko , and T. Kato
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Wafer scale fabrication and optoelectrical applications of suspended graphene nanoribbon arrays2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kato and T. Kaneko
    • 学会等名
      The 11th International Conference on Advanced Materials and Devices
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Fabrication of graphene nanoribbon-based quantum device with Plasma CVD2019

    • 著者名/発表者名
      M. Seo , W. Okita , H. Hiroo , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Chirality selective growth of (6,4) single-walled nanotubes by plasma CVD2019

    • 著者名/発表者名
      S. Shiina , T. Shima , B. Xu , T. Kaneko , T. Kato
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [図書] 月刊ファインケミカル(ナノグラフェンの合成と用途開発)2020

    • 著者名/発表者名
      加藤俊顕, 金子俊郎
    • 総ページ数
      77
    • 出版者
      株式会社シーエムシー出版
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [図書] 表面と真空2019

    • 著者名/発表者名
      加藤俊顕, 鈴木弘朗, 金子俊郎
    • 総ページ数
      68
    • 出版者
      日本表面真空学会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [図書] SciTech Europa Quarterly2019

    • 著者名/発表者名
      T. Kato
    • 総ページ数
      232
    • 出版者
      Pan European Networks Ltd
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書

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公開日: 2019-04-18   更新日: 2024-01-30  

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