| 研究課題/領域番号 |
19H00738
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
進士 忠彦 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 教授 (60272720)
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| 研究分担者 |
中野 正基 長崎大学, 工学研究科, 教授 (20274623)
韓 冬 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 特任助教 (50825263)
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| 研究期間 (年度) |
2019-04-01 – 2024-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2023年度)
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| 配分額 *注記 |
45,110千円 (直接経費: 34,700千円、間接経費: 10,410千円)
2023年度: 6,630千円 (直接経費: 5,100千円、間接経費: 1,530千円)
2022年度: 6,630千円 (直接経費: 5,100千円、間接経費: 1,530千円)
2021年度: 8,450千円 (直接経費: 6,500千円、間接経費: 1,950千円)
2020年度: 8,840千円 (直接経費: 6,800千円、間接経費: 2,040千円)
2019年度: 14,560千円 (直接経費: 11,200千円、間接経費: 3,360千円)
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| キーワード | 磁気MEMS / 厚膜磁石 / 微細着磁 / ハルバッハ磁石 / マイクロコイル / マイクロアクチュエータ / マクロ振動発電機 / 永久磁石 / 着磁 / MEMS / アクチュエータ / エネルギハーベスタ / 絞り機構 / ネオジム磁石 / 鉄白金磁石 / レーザ局所加熱 / 磁石 / NdFeB / FePt / マイクロデバイス / 微細加工 / マイクロモータ / レーザ加熱 / マイクロポンプ / 磁気スタンプ |
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| 研究開始時の研究の概要 |
本研究では，スマートフォンカメラ用のレンズや絞り用アクチュエータ，IoTセンサ用エナジーハーベスター（マイクロ発電機）の実現に十分寄与できる，厚膜磁石を活用したMEMSデバイスの設計，磁石の成膜，微細加工，微細着磁，案内機構やマイクロコイルの製造技術を総合的に研究する．
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| 研究成果の概要 |
本研究では，スマートフォンカメラ用の手振れ補正用マイクロアクチュエータやレンズ絞り駆動用マイクロモータ，モバイルデバイス用マイクロ発電機の実現に寄与できる厚膜磁石を活用したMEMSデバイスの実現を目指し，以下の研究を実施した．１）パルスレーザ堆積法を用いた厚膜磁石の成膜条件の検討．特に，下地膜の基板密着性や磁気特性への影響に関して検討した．さらに，LIFT法による磁石転写法に関しても検討した．２）レーザ局所加熱法による微細多極着磁やハルバッハ着磁の検討，さらに，加熱中での磁気一括転写法の開発，３）磁気MEMS用案内機構や高密度・高アスペクトマイクロコイルなどの製作方法を検討した．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
スマートフォンカメラの手振れ補正機構や絞り機構，モバイルデバイスのエネルギー供給に利用可能なマイクロ振動発電機に適用可能な微小な永久磁石やコイルを用いるMEMSデバイスの基盤技術の研究を実施した．これにより，スマートフォンカメラの高性能化，小形化や，スマート社会を支える分散センサのエネルギー供給の解決策を提示することができた．
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