• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

時空間制御型ミクロ液相を用いたプラズマ材料プロセスの創成

研究課題

研究課題/領域番号 19H01885
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分14030:プラズマ応用科学関連
研究機関東京大学

研究代表者

伊藤 剛仁  東京大学, 大学院新領域創成科学研究科, 准教授 (70452472)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
17,680千円 (直接経費: 13,600千円、間接経費: 4,080千円)
2022年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2021年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2020年度: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2019年度: 9,230千円 (直接経費: 7,100千円、間接経費: 2,130千円)
キーワード大気圧非平衡プラズマ / インクジェット / 単分散粒子 / 描画 / 電界計測 / プラズマ誘起ミクロ液相反応 / プリンティング / プラズマプロセス / ミクロ液相 / フレキシブルデバイス / 粒子合成
研究開始時の研究の概要

近年、プラズマ生成活性種が引き起こす液相内反応である“プラズマ誘起液相反応”は、バイオ応用、材料合成応用、環境応用などでの新展開をもたらし、プラズマ応用における世界的な潮流の一つとなっている。研究代表者は、液相をミクロ化する“プラズマ誘起ミクロ液相反応”の研究を推進し、世界に先駆け“プラズマ援用インクジェットプリンティング”を実現してきた。本研究では、高度に時空間制御されたミクロ液相とプラズマとの相互作用に関する研究を行い、最終的には、プラズマ援用インクジェットプリンティングによる革新的フレキシブルデバイスの実現を導くとともに、プラズマと液相との相互作用の理解を深める。

研究成果の概要

大気圧非平衡プラズマと時空間制御をされた液滴を用いた基礎および応用研究に取り組んだ。反応場診断においては、液滴の蒸発過程において、プラズマ生成粒子の寄与が存在することを明らかにした。新たな電界計測手法にも取り組み、大気圧雰囲気における最高感度のレーザー電界計測を実現した。
インクジェットプリンティングに大気圧非平衡プラズマを重畳させることで、従来の熱処理と組み合わせたものと比較し、低温化、高速化、高解像度化、プラズマ生成反応活性種のその場利用といった特徴が加えられることを実証した。更に、液相を疑似的に閉じた反応場とすることにより、極めて優れた単分散性を伴う粒子合成を実現した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究では、プラズマ援用インクジェットプリンティングの深化をもたらすのみならず、サイズの揃った粒子合成手法の創出をもたらす等、プラズマ誘起液相反応の材料合成における可能性の一端を示すことができた。
また、バイオ応用、農業応用、環境応用など、多彩な広がりを見せているプラズマ誘起液相反応の理解においても、液滴の蒸発現象を通じ、深める事できた。更に、プラズマ反応場を理解するうえで重要なパラメータである電界の高感度非接触計測をもたらした点も、今後の関連分野の発展に貢献し得る成果である。

報告書

(5件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実績報告書
  • 2020 実績報告書
  • 2019 実績報告書
  • 研究成果

    (48件)

すべて 2023 2022 2021 2020 2019 その他

すべて 雑誌論文 (13件) (うち査読あり 12件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (34件) (うち国際学会 18件、 招待講演 9件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Carbon Layer Formation on Hexagonal Boron Nitride by Plasma Processing in Hydroquinone Aqueous Solution2022

    • 著者名/発表者名
      K. Inoue, N. Sakakibara, T. Goto, T. Ito, Y. Shimizu, Y. Hakuta, K. Ishikawa, M. Hori and K. Terashima
    • 雑誌名

      ACS Applied Materials & Interfaces

      巻: 44 号: 47 ページ: 53413-53420

    • DOI

      10.1021/acsami.2c15951

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Generation of electric-field-induced anti-Stokes Raman scattering in the visible region (E-CARSv) from nitrogen in air2022

    • 著者名/発表者名
      Koike Takeru、Muneoka Hitoshi、Terashima Kazuo、Ito Tsuyohito
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: SA ページ: SA1015-SA1015

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac91db

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electric-Field-Induced Coherent Anti-Stokes Raman Scattering of Hydrogen Molecules in Visible Region for Sensitive Field Measurement2022

    • 著者名/発表者名
      Koike Takeru、Muneoka Hitoshi、Terashima Kazuo、Ito Tsuyohito
    • 雑誌名

      Physical Review Letters

      巻: 129 号: 3

    • DOI

      10.1103/physrevlett.129.033202

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 電界誘起コヒーレントアンチストークスラマン散乱-高密度雰囲気における高感度電界計測-2022

    • 著者名/発表者名
      伊藤剛仁, 小池健
    • 雑誌名

      静電気学会誌

      巻: 46 ページ: 188-193

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [雑誌論文] Plasma-assisted synthesis of size-controlled monodisperse submicron gold particles using inkjet droplets2021

    • 著者名/発表者名
      Nitta Kaishu、Shimizu Yoshiki、Terashima Kazuo、Ito Tsuyohito
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 54 号: 33 ページ: 33LT01-33LT01

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ac02f8

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Synthesis of a metal-organic framework by plasma in liquid to increase reduced metal ions and enhance water stability2021

    • 著者名/発表者名
      Kanno Moriyuki、Kitao Takashi、Ito Tsuyohito、Terashima Kazuo
    • 雑誌名

      RSC Advances

      巻: 11 号: 37 ページ: 22756-22760

    • DOI

      10.1039/d1ra00942g

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Soft X-ray emission spectroscopy for the electronic state of water molecules influenced by plasma-treated multi-walled carbon nanotubes2021

    • 著者名/発表者名
      Sakakibara Noritaka、Inoue Kenichi、Takahashi Shion、Goto Taku、Ito Tsuyohito、Akada Keishi、Miyawaki Jun、Hakuta Yukiya、Terashima Kazuo、Harada Yoshihisa
    • 雑誌名

      Physical Chemistry Chemical Physics

      巻: 23 号: 17 ページ: 10468-10474

    • DOI

      10.1039/d0cp05990k

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書 2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Cuboid Cu(HBTC)(H2O)3 synthesis via plasma pretreatment of trimesic acid solution2021

    • 著者名/発表者名
      Kanno Moriyuki、Ito Tsuyohito、Shimizu Yoshiki、Terashima Kazuo
    • 雑誌名

      Plasma Processes and Polymers

      巻: 18 号: 9 ページ: 2100047-2100047

    • DOI

      10.1002/ppap.202100047

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] One-step gold line fabrication from particle-free inorganic salt-based ink via atmospheric pressure nonequilibrium plasma-assisted inkjet printing2021

    • 著者名/発表者名
      K. Nitta, K. Ishizumi, Y. Shimizu, K. Terashima, T. Ito
    • 雑誌名

      Materials Chemistry and Physics

      巻: 258 ページ: 123836-123836

    • DOI

      10.1016/j.matchemphys.2020.123836

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Aqueous dispersion of hexagonal boron nitride via plasma processing in a hydroquinone solution2020

    • 著者名/発表者名
      K. Inoue, T. Goto, M. Iida, T. Ito, Y. Shimizu, Y. Hakuta, K. Terashima
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 53 号: 42 ページ: 42LT01-42LT01

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ab97dd

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] In-plane modification of hexagonal boron nitride particles via plasma in solution2020

    • 著者名/発表者名
      T. Ito, T. Goto, K. Inoue, K. Ishikawa, H. Kondo, M. Hori, Y. Shimizu, Y. Hakuta, K. Terashima
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 13 号: 6 ページ: 066001-066001

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ab916c

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書 2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Spatiotemporal optical emission spectroscopy to estimate electron density and temperature of plasmas in solution2020

    • 著者名/発表者名
      Kenichi Inoue, Shion Takahashi, Noritaka Sakakibara, Susumu Toko, Tsuyohito Ito, Kazuo Terashima
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 53 号: 23 ページ: 235202-235202

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ab78d5

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書 2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Printing PEDOT from EDOT via plasma-assisted inkjet printing2019

    • 著者名/発表者名
      Kaishu Nitta, Masanao Tsumaki, Tomoya Kawano, Kazuo Terashima, Tsuyohito Ito
    • 雑誌名

      J. Phys. D: Appl. Phys.

      巻: 52 号: 31 ページ: 315202-315202

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ab1ef2

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Droplet Evaporation Behavior in Atmospheric-Pressure Nonequilibrium Plasma2023

    • 著者名/発表者名
      K. Nitta, H. Muneoka, Y. Shimizu, H. Kobayashi, K. Terashima, and T. Ito
    • 学会等名
      ISPlasma2023 and IC-PLANTS2023
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Functionalization of Carbon Layer on Hexagonal Boron Nitride Formed by Plasma Processing in Solution2023

    • 著者名/発表者名
      K. Inoue, T. Ito, Y. Shimizu, K. Ito, and K. Terashima
    • 学会等名
      ISPlasma2023 and IC-PLANTS2023
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Synthesis of metal and metal oxide particles via atmospheric-pressure plasma processing with inkjet droplets2023

    • 著者名/発表者名
      K. Nitta, T. Hato, T. Sakai, H. Muneoka, Y. Shimizu, K. Terashima, T. Ito
    • 学会等名
      Advances in Functional Materials 2023
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electric field measurements in high-pressure hydrogen and nitrogen environments by detecting visible lights induced in coherent anti-Stokes Raman scattering scheme2022

    • 著者名/発表者名
      T. Koike, H. Muneoka, K. Terashima, T. Ito
    • 学会等名
      2022 MRS Fall Meeting and Exhibit
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of sensitive electric-field measurement method via electric- field-induced coherent anti-Stokes Raman scattering2022

    • 著者名/発表者名
      T. Koike, H. Muneoka, K. Terashima, T. Ito
    • 学会等名
      11th International Conference on Reactive Plasmas / 75th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Analysis of OH Emission Spectra Using Deep Learning2022

    • 著者名/発表者名
      S. Takamatsu, K. Inoue, H. Muneoka, T. Ito, K. Terashima
    • 学会等名
      11th International Conference on Reactive Plasmas / 75th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Plasma-assisted materials processing with inkjet droplets2022

    • 著者名/発表者名
      T. Ito
    • 学会等名
      11th International Workshop on Microplasmas
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Surface charges of hexagonal boron nitride with carbon layers formed by plasma in hydroquinone aqueous solution2022

    • 著者名/発表者名
      K. Inoue, T. Ito, Y. Shimizu, K. Terashima
    • 学会等名
      第32回MRS年次大会(国際シンポジウム)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Zirconia hollow particles synthesis via plasma-assisted inkjet processing2022

    • 著者名/発表者名
      T. Sakai, K. Nitta, H. Muneoka, Y. Shimizu, K. Terashima, T. Ito
    • 学会等名
      第32回MRS年次大会(国際シンポジウム)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] コヒーレント反ストークスラマン散乱を用いた高感度電界計測手法の開発2022

    • 著者名/発表者名
      小池 健、宗岡 均、寺嶋 和夫、伊藤 剛仁
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧非平衡プラズマ中のインクジェット液滴の蒸発挙動の観察2022

    • 著者名/発表者名
      新田 魁洲、宗岡 均、清水 禎樹、小林 宏充、寺嶋 和夫、伊藤 剛仁
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] プラズマ援用インクジェット:プラズマ・液体相互作用の材料分野への一応用2022

    • 著者名/発表者名
      伊藤 剛仁
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] プラズマ援用インクジェットプロセスによる酸化亜微粒子の合成2022

    • 著者名/発表者名
      羽藤 健、新田 魁洲、宗岡 均、清水 禎樹、寺嶋 和夫、伊藤 剛仁
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 軟X線発光分光測定を用いたプラズマ表面改質カーボンナノチューブが水分子の電子状態に与える影響の解明2022

    • 著者名/発表者名
      榊原 教貴、井上 健一、高橋 史音、後藤 拓、伊藤 剛仁、赤田 圭史、宮脇 淳、伯田 幸也、寺嶋 和夫、原田 慈久
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Highly Sensitive Electric Field Measurement via Electric-Field-Induced Coherent Anti-Stokes Raman Scattering in Visible Region2021

    • 著者名/発表者名
      Takeru Koike, Hitoshi Muneoka, Kazuo Terashima, and Tsuyohito Ito
    • 学会等名
      ISPlasma2022 and IC-PLANTS2022
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Plasma Materials Processing with Controlled Microdroplets: Printing and Particles Synthesis2021

    • 著者名/発表者名
      T. Ito, K. Nitta, Y. Shimizu, K. Terashima
    • 学会等名
      2021 MRS Fall Meeting and Exhibit
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Synthesis of Cuboid Cu(HBTC)(H2O)3 Using Plasma-in-Solution Treatment to Organic Ligands2021

    • 著者名/発表者名
      M. Kanno, T. Ito, Y. Shimizu, and K. Terashima
    • 学会等名
      2021 MRS Fall Meeting and Exhibit
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] In-situ observation of inkjet droplets in atmospheric-pressure radio frequency argon plasma and demonstration for synthesis of monodisperse submicron gold particles2021

    • 著者名/発表者名
      K. Nitta, H. Muneoka, Y. Shimizu, K. Terashima, T. Ito
    • 学会等名
      74th Annual Gaseous Electronics Conference
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Particles synthesis via atmospheric-pressure plasma with solution microdroplets2021

    • 著者名/発表者名
      T. Ito, K. Nitta, M. Tsumaki, Y. Shimizu, K. Terashima
    • 学会等名
      5th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Plasma-assisted Deposition using Microdroplets2021

    • 著者名/発表者名
      T. Ito, K. Nitta, K. Terashima
    • 学会等名
      The International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films 2021 (ICMCTF-2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 液相を用いたプラズマ材料プロセシング2021

    • 著者名/発表者名
      伊藤 剛仁, 新田 魁洲, 妻木 正尚, 宗岡 均, 清水 禎樹, 寺嶋 和夫
    • 学会等名
      第38回 プラズマ・核融合学会 年会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] プラズマ援用インクジェットプロセスによる単分散粒子 の合成2021

    • 著者名/発表者名
      新田 魁洲, 宗岡 均, 清水 禎樹, 寺嶋 和 夫, 伊藤 剛仁
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 大気圧水素雰囲気におけるCARSを用いた高感度電界計測2021

    • 著者名/発表者名
      小池 健, 宗岡 均, 寺嶋 和夫, 伊藤 剛仁
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] インクジェット液滴を用いたプラズマ支援単分散粒子合成2021

    • 著者名/発表者名
      新田 魁洲, 清水 禎樹, 寺嶋 和夫, 伊藤 剛仁
    • 学会等名
      日本金属学会2021年春期(第168回)講演大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Spatiotemporal optical emission spectroscopy of plasma in solution2020

    • 著者名/発表者名
      K. Inoue, S. Takahashi, N. Sakakibara, S. Toko, T. Ito, K. Terashima
    • 学会等名
      ISplasma 2021 & IC-PLANTS2021
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Further development of plasma-assisted inkjet printing2020

    • 著者名/発表者名
      T. Ito
    • 学会等名
      73rd Annual Gaseous Electronics Virtual Conference
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 塩化金酸水溶液をインクとしたプラズマ援用インクジェットプロセスによる金細線の描画2020

    • 著者名/発表者名
      新田 魁洲, 石角 健, 清水 禎樹, 寺嶋 和夫, 伊藤 剛仁
    • 学会等名
      日本金属学会第167回講演大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] ミクロ液相を用いた大気圧プラズマ材料プロセシング2020

    • 著者名/発表者名
      伊藤剛仁
    • 学会等名
      第37回プラズマ・核融合学会年会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 塩化金酸溶液からの金のプラズマ援用インクジェットプリンティング2020

    • 著者名/発表者名
      新田 魁洲, 石角 健, 寺嶋 和夫, 伊藤 剛仁
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 時空間分解発光分光測定による液中プラズマの電子密度/電子温度推定2020

    • 著者名/発表者名
      井上 健一, 高橋 史音, 榊原 教貴, 都甲 将, 伊藤 剛仁, 寺嶋 和夫
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 液中プラズマ表面改質六方晶BN微粒子のESR測定2020

    • 著者名/発表者名
      伊藤 剛仁, 後藤 拓, 井上 健一, 石川 健治, 近藤 博基, 堀 勝, 清水 禎樹, 伯田 幸也, 寺嶋 和夫
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Plasma-assisted inkjet printing of poly(3,4-ethylenedioxythiophene) from 3,4-ethylenedioxythiophene stock solution2019

    • 著者名/発表者名
      K. Nitta, M. Tsumaki, T. Kawano, K. Terashima, T. Ito
    • 学会等名
      72nd Annual Gaseous Electronics Conference
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Plasma-assisted inkjet printing2019

    • 著者名/発表者名
      T. Ito, K. Nitta, M. Tsumaki, T. Kawano, K. Terashima
    • 学会等名
      XXXIV ICPIG & ICRP-10
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Plasma-assisted inkjet printing of molybdenum disulfide from ammonium tetrathiomolybdate aqueous solution2019

    • 著者名/発表者名
      K. Nitta, M. Tsumaki, K. Terashima T. Ito
    • 学会等名
      10th International Workshop on Microplasmas
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [備考] 所属研究室ホームページ

    • URL

      http://www.plasma.k.u-tokyo.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書

URL: 

公開日: 2019-04-18   更新日: 2024-01-30  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi