| 研究課題/領域番号 |
19H02036
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 審査区分 |
小区分18020:加工学および生産工学関連
|
|---|
| 研究機関 | 東京大学 |
|---|
研究代表者 |
高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (30283724)
|
|---|
| 研究分担者 |
門屋 祥太郎 東京大学, 先端科学技術研究センター, 助教 (60880234)
道畑 正岐 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (70588855)
西川 正俊 法政大学, 生命科学部, 准教授 (30444516)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2019-04-01 – 2022-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2022年度)
|
| 配分額 *注記 |
17,550千円 (直接経費: 13,500千円、間接経費: 4,050千円)
2021年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2020年度: 6,500千円 (直接経費: 5,000千円、間接経費: 1,500千円)
2019年度: 8,970千円 (直接経費: 6,900千円、間接経費: 2,070千円)
|
|---|
| キーワード | 超解像 / ナノ計測 / 微細機能構造 / コヒーレント結像 |
|---|
| 研究開始時の研究の概要 |
本申請研究は，バイオ分野で発展著しい螢光超解像技術をベースにして，原理的に螢光修飾が不要で製造現場適用が可能な新しい光学的超解像計測評価技術の実現を目指す．具体的には，実用性の高い超解像法として確立されてきた構造照明螢光顕微法（SIM）に着目し，位相同期を行った参照光波と融合することで，コヒーレント結像下においても超解像観察機能を発現可能な次世代微細機能構造の超解像欠陥計測技術の開発を目指す．
|
| 研究成果の概要 |
従来，実用性の高い超解像法として開発されてきた構造照明螢光顕微法（SIM）に着目し，位相同期を行った参照光波と融合することで，コヒーレント結像下においても超解像観察機能を発現可能な次世代微細機能構造の超解像欠陥計測技術の確立を目指した．結果，振幅一定で位相のみが周期的に変動する次世代光学デバイスの微細欠陥検出が可能な手法を実現することができた．
|
| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
研究成果により，VRゴーグル内の光学系に代表される，微細位相変調を活用する次世代光学デバイスの直接検査・評価が可能になる．これにより，スマホに匹敵するとされる，新しい技術デバイスの社会実装に大きく貢献することが期待される．
|
