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超高融点ホウ化物複合材の高速化学気相成長による高耐酸化性コーティング層の創出

研究課題

研究課題/領域番号 19H02484
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分26050:材料加工および組織制御関連
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

且井 宏和  国立研究開発法人産業技術総合研究所, 材料・化学領域, 主任研究員 (70610202)

研究分担者 近藤 直樹  国立研究開発法人産業技術総合研究所, 材料・化学領域, 上級主任研究員 (50357050)
原田 勝可  名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 客員教授 (60552726)
研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
研究課題ステータス 完了 (2021年度)
配分額 *注記
16,900千円 (直接経費: 13,000千円、間接経費: 3,900千円)
2021年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2020年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2019年度: 8,970千円 (直接経費: 6,900千円、間接経費: 2,070千円)
キーワード化学気相析出 / 超高融点 / 非酸化物 / コーティング / レーザー / 耐酸化性 / 炭窒化タンタル / ホウ素 / 非酸化物セラミックス / ジルコニウム炭窒化物 / 炭窒化ホウ素 / 高速成膜 / 複合材 / 炭化ケイ素
研究開始時の研究の概要

本研究は、超高融点複合材の高速な化学気相成長技術を構築し、卓越した耐酸化性を有する超耐熱セラミックスコーティングを開発することを目的とする。初年度の2019年度は、高強度レーザーを援用した化学気相析出技術により遷移金属ホウ化物の高速コーティング技術を確立する。得られる高融点ホウ化物の単一相の気相成長技術に対し、炭化ケイ素との複合化を行い、均質で緻密な非酸化物系複合コーティング層の合成を目標とする。

研究成果の概要

本研究は、超高融点ホウ化物系複合材の高速化学気相析出により耐酸化性・超耐熱セラミックスコーティング層の開発を目的した。有機化合物原料を用い、高強度レーザーを援用した化学気相析出により、炭窒化ジルコニウム層、炭窒化ホウ素層、ホウ素含有炭窒化ジルコニウム層およびSiCとの複合層の高速成膜し、その微細構造や組成、化学結合状態を明らかにした。さらに、タンタル系の炭化物、ホウ素含有炭窒化物、SiCとの複合層の高速成膜にも成功した。これらタンタル系非酸化物層はジルコニウム系に比べて耐酸化性に優れ、また、ホウ素の添加やSiCとの複合化により高温酸化雰囲気での健全性の向上が示唆された。

研究成果の学術的意義や社会的意義

超高融点を持つ遷移金属系非酸化物セラミックス(Ultra-High-Temperature Ceramics: UHTC)は主に粉末冶金プロセスにより作製されたバルク材の研究開発が中心であったが、本研究では有機化合物を原料にした気相プロセスによりコーティング層の合成や複合化に成功し、従来のバルク材とは異なる構造や組成を明らかにした点は無機材料工学や薄膜工学の進展に貢献するものと考える。また、UHTCのコーティングは、構造部材として優位な炭素あ炭化ケイ素の繊維強化複合材へ適用可能であり、エンジンやリーディングエッジなど先進航空宇宙部材開発に資する技術になるものと期待できる。

報告書

(4件)
  • 2021 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実績報告書
  • 2019 実績報告書
  • 研究成果

    (15件)

すべて 2021 2020 2019

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (12件) (うち国際学会 4件、 招待講演 4件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Preparation of zirconium carbonitride by laser chemical vapor deposition using alkyl-amide precursor as a single source2020

    • 著者名/発表者名
      KATSUI Hirokazu、HARADA Katsuyoshi、KONDO Naoki、HOTTA Mikinori
    • 雑誌名

      Journal of the Ceramic Society of Japan

      巻: 128 号: 11 ページ: 855-862

    • DOI

      10.2109/jcersj2.20081

    • NAID

      130007934284

    • ISSN
      1348-6535, 1882-0743
    • 年月日
      2020-11-01
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Preparation of boron carbon oxynitride phosphor film via laser chemical vapor deposition and annealing2020

    • 著者名/発表者名
      Katsui Hirokazu、Harada Katsuyoshi、Kondo Naoki、Hotta Mikinori
    • 雑誌名

      Surface and Coatings Technology

      巻: 394 ページ: 125851-125851

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2020.125851

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 化学気相析出による耐環境性セラミックス複合層の作製2021

    • 著者名/発表者名
      且井 宏和
    • 学会等名
      耐熱複合材料・コーティングの高度化に関する研究会 第3回 ワークショップ: 先端セラミックスプロセス
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 有機原料を用いた化学気相析出による酸炭窒化ホウ素膜の微細構造と光学特性2021

    • 著者名/発表者名
      且井 宏和
    • 学会等名
      第34回秋季シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Coatings of zirconium-based non-oxides and composites by laser chemical vapor deposition2021

    • 著者名/発表者名
      H. Katsui, K. Harada, N. Kondo, M. Hotta
    • 学会等名
      45th International Conference and Expo on Advanced Ceramics and Composites (ICACC2021)
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Coatings of protective and functional ceramic layers by CVD techniques utilizing laser2021

    • 著者名/発表者名
      H. Katsui, M. Hotta
    • 学会等名
      2nd Global Forum on Smart Additive Manufacturing, Design & Evaluation (Smart MADE2021)
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 化学気相析出による耐熱性・機能性セラミックス層の作製と微細構造2021

    • 著者名/発表者名
      且井宏和
    • 学会等名
      第73回CVD研究会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 化学気相析出によるセラミックコーティングの微細構造と機能2021

    • 著者名/発表者名
      且井宏和、堀田幹則
    • 学会等名
      第3回表面改質技術研究委員会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 走査型レーザー照射下での化学気相析出による炭化ケイ素の微細描画2020

    • 著者名/発表者名
      且井宏和、堀田幹則
    • 学会等名
      日本セラミックス協会第33回秋季シンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 単一有機錯体原料を用いた炭化ジルコニウムの高速化学気相析出2020

    • 著者名/発表者名
      且井宏和、原田 勝可、堀田 幹則
    • 学会等名
      第58回セラミックス基礎科学討論会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 化学気相成長による炭窒化ホウ素膜の合成と蛍光特性2020

    • 著者名/発表者名
      且井宏和、原田 勝可、堀田 幹則
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 2020年年会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Ceramic coatings for high-temperature durable materials by chemical vapor deposition2019

    • 著者名/発表者名
      H. Katsui, N. Kondo, M. Hotta
    • 学会等名
      1st Global Forum on Smart Additive Manufacturing, Design & Evaluation (Smart MADE)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] エンジニアリングセラミックスの化学気相析出とコーティング形態制御2019

    • 著者名/発表者名
      且井宏和
    • 学会等名
      2019 年度 エンジニアリングセラミックス若手セミナー
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Coatings of zirconium carbide and its composites by laser chemical vapor deposition using metal organic precursors2019

    • 著者名/発表者名
      H. Katsui, K. Harada, M. Hotta
    • 学会等名
      PACRIM13
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [産業財産権] 無機被膜を有する被覆材及びその製造方法並びに製造装置2019

    • 発明者名
      且井宏和、原田勝可
    • 権利者名
      且井宏和、原田勝可
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2019-110850
    • 出願年月日
      2019
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書

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公開日: 2019-04-18   更新日: 2023-01-30  

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