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ナノセンサとマイクロシステムの融合による革新的スピン検出技術の創成

研究課題

研究課題/領域番号 19H02568
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分28050:ナノマイクロシステム関連
研究機関東北大学

研究代表者

戸田 雅也  東北大学, 工学研究科, 准教授 (40509890)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
研究課題ステータス 完了 (2021年度)
配分額 *注記
15,860千円 (直接経費: 12,200千円、間接経費: 3,660千円)
2021年度: 4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2020年度: 5,070千円 (直接経費: 3,900千円、間接経費: 1,170千円)
2019年度: 6,630千円 (直接経費: 5,100千円、間接経費: 1,530千円)
キーワード磁気共鳴 / 3次元イメージング / ラジカルセンシング / 3次元画像化 / スピン検出
研究開始時の研究の概要

磁気共鳴力顕微鏡(MRFM)のシステムの安定度やセンシングアライメントの困難さといった技術的課題に対して、システムのミニチュア化を実現することで、以下に示す計測性能の向上を実現する。
・ ラベルフリー計測技術、非侵襲3次元観察技術の確立
・ 単結晶ダイヤモンド高Q値センサといった高感度力センサによる高空間分解能の達成
大気圧液中試料と高感度センサのアライメントの課題をマイクロ流路の集積化により解決したり、試料を安定してセンサに近づけ、常温常圧で試料を傷つけず観察したりするための計測システムを築く。それにより、いままで観察することができなかった微細な生物学的現象(ラジカルの挙動)を捉えることが可能となる。

研究成果の概要

走査型磁気力顕微鏡(MRFM)は,非接触非破壊で試料内部のスピン密度の三次元分布を得ることができる。本研究では、従来にはなかった常温常圧での微小試料内部の磁気共鳴分布をイメージング可能なMRFMを開発した。磁性球体を先端に有する高感度なSiナノワイヤー型磁力センサと画像処理に必要な応答関数を正確に定義することで、観測データ数が少なくても広範囲の電子スピン密度分布を高精度に画像化することを可能にした。さらに、応答関数にノイズパラメータを使用した波数空間での畳み込みを使用するフーリエ変換を用いることによって、3D画像化処理にかかる時間の短縮に成功し、常温常圧下でも高精度に画像化が可能となった。

研究成果の学術的意義や社会的意義

MRFM計測システムの主要精密機械構成要素の大部分を独自開発し、それらを精度良く組み立て、観察技術を実用化レベルにすることに成功した。これまで、課題となっていた長い観測時間を解決するために、きわめて高感度なSiナノワイヤー型磁力センサを使用することと、画像処理に必要な応答関数を正確に定義することで、観測データ数が少なくても広範囲の電子スピン密度分布を高精度に画像化することを可能にした。応答関数にノイズパラメータを使用したフーリエ変換を用いることによって、3D画像化処理にかかる時間の短縮に成功した。サンプル内部を非破壊で解明する観察技術は、今後生命科学分野において応用が期待される技術である。

報告書

(4件)
  • 2021 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実績報告書
  • 2019 実績報告書
  • 研究成果

    (19件)

すべて 2022 2021 2020 2019

すべて 雑誌論文 (10件) (うち国際共著 5件、 査読あり 10件、 オープンアクセス 3件) 学会発表 (9件) (うち国際学会 2件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Assembled Comb-Drive XYZ-Microstage With Large Displacements and Low Crosstalk for Scanning Force Microscopy2022

    • 著者名/発表者名
      Xue Gaopeng、Toda Masaya、Li Xinghui、Wang Xiaohao、Ono Takahito
    • 雑誌名

      Journal of Microelectromechanical Systems

      巻: 31 号: 1 ページ: 54-62

    • DOI

      10.1109/jmems.2021.3123962

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Three-dimensional imaging of electron spin resonance-magnetic resonance force microscopy at room temperature2021

    • 著者名/発表者名
      Toda Masaya、Ono Takahito
    • 雑誌名

      Journal of Magnetic Resonance

      巻: 330 ページ: 107045-107045

    • DOI

      10.1016/j.jmr.2021.107045

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Magnetic Resonance Force Microscopy With Vacuum-Packaged Magnetic Cantilever Towards Free Radical Detection2021

    • 著者名/発表者名
      Xue Gaopeng、Toda Masaya、Li Xinghui、Wang Xiaohao、Ono Takahito
    • 雑誌名

      IEEE Sensors Journal

      巻: 21 号: 20 ページ: 22578-22586

    • DOI

      10.1109/jsen.2021.3106352

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Comprehensive study of magnetostriction-based MEMS magnetic sensor of a FeGa/PZT cantilever2021

    • 著者名/発表者名
      Indianto Mohammad Akita、Toda Masaya、Ono Takahito
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A: Physical

      巻: 331 ページ: 112985-112985

    • DOI

      10.1016/j.sna.2021.112985

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluation of Microfluidic Channels With Thin Si Windows and Trapping Structures2021

    • 著者名/発表者名
      Toda Masaya、Hayashi Hideki、Toan Nguyen van、Inomata Naoki、Ono Takahito
    • 雑誌名

      Journal of Microelectromechanical Systems

      巻: 30 号: 4 ページ: 560-568

    • DOI

      10.1109/jmems.2021.3076791

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Electroplated FePt Films for Micromechanical Magnetic Sensors2021

    • 著者名/発表者名
      Toda Masaya、Xu Hao、Ono Takahito
    • 雑誌名

      physica status solidi (a)

      巻: 218 号: 8 ページ: 2000547-2000547

    • DOI

      10.1002/pssa.202000547

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Vacancy Color Stress Sensing with Embedded Diamond Particles on Si Micro-cantilevers2020

    • 著者名/発表者名
      Toda Masaya、Shahrukh Akhtar M、Ono Takahito
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines

      巻: 140 号: 9 ページ: 222-227

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.140.222

    • NAID

      130007894669

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Bridged resonator based on assembled Si thin wire2020

    • 著者名/発表者名
      Toda Masaya、Nakamura Taichi、Inomata Naoki、Toan Nguyen Van、Ono Takahito
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      巻: 30 号: 10 ページ: 105015-105015

    • DOI

      10.1088/1361-6439/aba6cc

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Development of assembled microchannel resonator as an alternative fabrication method of a microchannel resonator for mass sensing in flowing liquid2020

    • 著者名/発表者名
      Indianto M. A.、Toda M.、Ono T.
    • 雑誌名

      Biomicrofluidics

      巻: 14 号: 6 ページ: 064111-064111

    • DOI

      10.1063/5.0032040

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Torsional resonator of Pd?Si?Cu metallic glass with a low rotational spring constant2020

    • 著者名/発表者名
      Toda Masaya、Li Chunyang、Van Toan Nguyen、Tsai Yao-Chuan、Lin Yu-Ching、Ono Takahito
    • 雑誌名

      Microsystem Technologies

      巻: 27 号: 3 ページ: 929-935

    • DOI

      10.1007/s00542-020-04996-2

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [学会発表] ラジカルセンシングのための封止型磁気センサ2021

    • 著者名/発表者名
      椎名司, 小野崇人, 戸田雅也
    • 学会等名
      マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 分子吸着検出のための金属多層膜応力センサ2021

    • 著者名/発表者名
      大久保潤, 戸田雅也, 小野崇人
    • 学会等名
      マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 電子スピンによる磁気共鳴力顕微鏡3次元画像の妥当性の検討2021

    • 著者名/発表者名
      戸田雅也
    • 学会等名
      マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Chip-level-microassembly Comb-drive XYZ-microstage with Large Displacements and Low Crosstalk2021

    • 著者名/発表者名
      Gaopeng Xue, Masaya Toda, Xinghui Li, Takahito Ono
    • 学会等名
      IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered & Molecular Systems (IEEE-NEMS)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 磁気共鳴を用いたラジカルセンシングのための磁気センサ2020

    • 著者名/発表者名
      椎名 司,戸田雅也,小野崇人
    • 学会等名
      電気学会研究会E部門総合研究会マイクロマシン・センサシステム研究会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 核スピン偏極度検出のための低弾性率共振子2019

    • 著者名/発表者名
      李春洋, 戸田雅也, Nguyen Van Toan, 林育菁, Tsai Yao-Chuan, 小野崇人
    • 学会等名
      電気学会センサ・ マイクロマシン部門主催第36回「 センサ・マイクロマシンと応用システム」 シンポジウム
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] NVC を有するナノダイヤモンドを用いた磁場イメージング2019

    • 著者名/発表者名
      戸田雅也, ホアヴァンチャウジョニー, 小野崇人
    • 学会等名
      電気学会合同研究会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] ナノダイヤモンドのイオン注入による蛍光強度評価2019

    • 著者名/発表者名
      巻島創, 戸田雅也, 小野崇人
    • 学会等名
      電気学会E部門総合研究会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Advanced Sensing with Assembled, Packaged and Embedded Technologies2019

    • 著者名/発表者名
      Masaya Toda
    • 学会等名
      Smart Systems Integration; 13th International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演

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公開日: 2019-04-18   更新日: 2023-01-30  

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