• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

スクイーズド光発生用半導体レーザ励起窒化物半導体導波路型非線形光学デバイスの開発

研究課題

研究課題/領域番号 19H02631
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
審査区分 小区分30020:光工学および光量子科学関連
研究機関大阪大学

研究代表者

上向井 正裕  大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 (80362672)

研究分担者 片山 竜二  大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (40343115)
研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
17,030千円 (直接経費: 13,100千円、間接経費: 3,930千円)
2022年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2021年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
2020年度: 6,240千円 (直接経費: 4,800千円、間接経費: 1,440千円)
2019年度: 6,370千円 (直接経費: 4,900千円、間接経費: 1,470千円)
キーワード窒化物半導体 / 半導体レーザ / 非線形光学デバイス / 量子情報処理
研究開始時の研究の概要

近年発表されたスケーラブルでプログラマブルな光量子コンピュータはスクイーズド光源を必要とするが、これには大型で高価なチタンサファイアレーザやバルク強誘電体結晶を用いた不安定なボウタイ共振器型光パラメトリック発振器がいまだに使用されている。
本研究ではこれらをInGaN半導体レーザとGaNシングルパス導波路型光パラメトリック増幅器に置き換えることで、光量子コンピューティングに応用可能な小型・低消費電力で実用的なスクイーズド光源を実現することを目的する。

研究成果の概要

高分解能リソグラフィや結晶再成長を必要としない比較的簡便なプロセスで作製可能な高次結合深溝DBRグレーティング及び周期的スロット構造を用いた400 nm帯半導体レーザの作製・評価を行い、後者から単一モード発振と波長可変特性がこの波長帯で初めて得られた。
また窒化物半導体の極性を反転して積層した新規構造導波路型非線形光学デバイスの設計・作製を行い、229~438 nmの広範囲の波長帯で第二高調波発生を確認した。励起光をこの構造においてスクイーズド光発生に必要な高次モード導波光に結合するグレーティング入力結合器を開発した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

光集積デバイスの光源となりうるInGaN波長可変単一モードレーザの開発に成功したことから、波長変換デバイスや導波路型マッハツェンダー干渉計などと1チップに集積した小型で高機能なモノリシック光集積デバイスの実現に向け前進したといえる。
また窒化物半導体の極性を反転して積層した新規構造導波路型非線形光学デバイスの設計・作製手法を確立するとともに、超短パルスレーザ励起においてウォークオフを考慮した理論値が実験値と比較的一致するなど評価手法においても多くの知見を得た。

報告書

(5件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実績報告書
  • 2020 実績報告書
  • 2019 実績報告書
  • 研究成果

    (68件)

すべて 2023 2022 2021 2020 2019 その他

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (62件) (うち国際学会 15件、 招待講演 5件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Polarity Inversion of GaN via AlN Oxidation Interlayer Using Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy2023

    • 著者名/発表者名
      Murata Tomotaka、Ikeda Kazuhisa、Yamasaki Jun、Uemukai Masahiro、Tanikawa Tomoyuki、Katayama Ryuji
    • 雑誌名

      physica status solidi (b)

      巻: 260 号: 8 ページ: 2200583-2200583

    • DOI

      10.1002/pssb.202200583

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Fabrication and evaluation of rib-waveguide-type wavelength conversion devices using GaN-QPM crystals2022

    • 著者名/発表者名
      Ishihara Hiroki、Shimada Keiya、Umeda Soshi、Yokoyama Naoki、Honda Hiroto、Kurose Kazuhiro、Kawata Yoshimasa、Sugita Atsushi、Inoue Yoku、Uemukai Masahiro、Tanikawa Tomoyuki、Katayama Ryuji、Nakano Takayuki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SK ページ: SK1020-SK1020

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac727a

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Second harmonic generation in GaN transverse quasi-phase-matched waveguide pumped with femtosecond laser2022

    • 著者名/発表者名
      Yokoyama Naoki、Morioka Yoshiki、Murata Tomotaka、Honda Hiroto、Serita Kazunori、Murakami Hironaru、Tonouchi Masayoshi、Tokita Shigeki、Ichikawa Shuhei、Fujiwara Yasufumi、Hikosaka Toshiki、Uemukai Masahiro、Tanikawa Tomoyuki、Katayama Ryuji
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 15 号: 11 ページ: 112002-112002

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ac9511

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] GaN channel waveguide with vertically polarity inversion formed by surface activated bonding for wavelength conversion2022

    • 著者名/発表者名
      Yokoyama Naoki、Tanabe Ryo、Yasuda Yuma、Honda Hiroto、Ichikawa Shuhei、FUJIWARA Yasufumi、HIKOSAKA TOSHIKI、Uemukai Masahiro、TANIKAWA Tomoyuki、KATAYAMA Ryuji
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: 5 ページ: 050902-050902

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac57ab

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Monolithic microcavity second harmonic generation device using low birefringence paraelectric material without polarity-inverted structure2021

    • 著者名/発表者名
      Nambu Tomoaki、Nagata Takumi、Umeda Soshi、Shiomi Keishi、Fujiwara Yasufumi、Hikosaka Toshiki、Mannan Abdul、Bagsican Filchito Renee G.、Serita Kazunori、Kawayama Iwao、Tonouchi Masayoshi、Uemukai Masahiro、Tanikawa Tomoyuki、Katayama Ryuji
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 14 号: 6 ページ: 061004-061004

    • DOI

      10.35848/1882-0786/abff9e

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] 2層極性反転AlN横型擬似位相整合チャネル導波路による遠紫外第二高調波発生2023

    • 著者名/発表者名
      本田 啓人、正直 花奈子、上杉 謙次郎、三宅 秀人、市川 修平、舘林 潤、藤原 康文、芹田 和則、村上 博成、斗内 政吉、上向井 正裕、谷川 智之、片山 竜二
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第43回年次大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] GaN-QPM結晶を用いた波長変換デバイスの作製および諸特性評価2023

    • 著者名/発表者名
      嶋田 慶也、石原 弘基、梅田 颯志、横山 尚生、本田 啓人、井上 翼、上向井 正裕、谷川 智之、片山 竜二、中野 貴之
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第43回年次大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 高効率スクイーズド光発生に向けた MgO:CLN/GaN横型擬似位相整合導波路波長変換デバイスの作製2023

    • 著者名/発表者名
      野呂 諒介、上向井 正裕、谷川 智之、片山 竜二
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第43回年次大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] グレーティング結合器集積化GaN横型擬似位相整合光子対発生デバイスの設計と作製2023

    • 著者名/発表者名
      古川 裕也、池田 和久、本田 啓人、村田 知駿、上向井 正裕、谷川 智之、片山 竜二
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会第43回年次大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 多層極性反転 AlN 構造を用いた横型 QPM 導波路の設計2023

    • 著者名/発表者名
      本田 啓人、百崎 怜、玉野 智大、正直 花奈子、三宅 秀人、上向井 正裕、谷川 智之、片山 竜二
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] マルチ・スパッタアニール法による多層極性反転AlN構造の作製2023

    • 著者名/発表者名
      玉野 智大、正直 花奈子、本田 啓人、上杉 謙次郎、肖 世玉、上向井 正裕、谷川 智之、片山 竜二、三宅 秀人
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Design and Fabrication of Transverse Quasi-Phase-Matched HfO2/AlN Channel Waveguide for 230-nm Far-UV Second Harmonic Generation2022

    • 著者名/発表者名
      H. Honda, K. Shujiki, H. Miyake, S. Ichikawa, Y. Fuijiwara, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
    • 学会等名
      International Conference on Light-Emitting Devices and Their Industrial Applications 2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Design of Transverse Quasi-Phase-Matched Non-Polar/AlN Waveguides for 230-nm Far-UV Second Harmonic Generation2022

    • 著者名/発表者名
      H. Honda, S. Umeda, K. Shojiki, H. Miyake, M. Kushimoto, Y. Fujiwara, M. Uemukai, T. Tanikawa and R. Katayama
    • 学会等名
      2022 Materials Research Society Spring Meeting
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] HfO2/AlN横型擬似位相整合チャネル導波路を用いた230 nm遠紫外第二高調波発生2022

    • 著者名/発表者名
      本田 啓人、正直 花奈子、上杉 謙次郎、三宅 秀人、芹田 和則、村上 博成、斗内 政吉、上向井 正裕、谷川 智之、片山 竜二
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 2層極性反転AlN横型擬似位相整合チャネル導波路を用いた230 nm遠紫外第二高調波発生2022

    • 著者名/発表者名
      本田 啓人、正直 花奈子、上杉 謙次郎、三宅 秀人、芹田 和則、村上 博成、斗内 政吉、上向井 正裕、谷川 智之、片山 竜二
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] MOVPEエピタキシャル極性反転技術を用いたGaN横型擬似位相整合光子対発生デバイスの作製2022

    • 著者名/発表者名
      池田 和久、村田 知駿、市川 修平、藤原 康文、上向井 正裕、谷川 智之、片山 竜二
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Second Harmonic Generation of 230 nm DUV Light from Transverse Quasi-Phase-Matched -c-AlN/+c-AlN Channel Waveguide2022

    • 著者名/発表者名
      H. Honda, S. Umeda, K. Shojiki, H. Miyake, S. Ichikawa, J. Tatebayashi, Y. Fujiwara, K. Serita, H. Murakami, M. Tonouchi, M. Uemukai, T. Tanikawa and R. Katayama
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Polarity Inversion of GaN via AlN Oxidation Interlayer using Metalorganic Vapor Phase Epitaxy2022

    • 著者名/発表者名
      T. Murata, K. Ikeda, J. Yamazaki, T. Tanikawa, M. Uemukai and R. Katayama
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of GaN Transverse Quasi Phase Matching Photon Pair Generation Device using MOVPE-Based Epitaxial Polarity Inversion Technology2022

    • 著者名/発表者名
      K. Ikeda, T. Murata, S. Ichikawa, Y. Fujiwara, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
    • 学会等名
      第41回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Demonstration of 230-nm Far-UV Second Harmonic Generation from HfO2/AlN Transverse Quasi-Phase Matched Channel Waveguide2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Furukawa, H. Honda, K. Shojiki, K. Uesugi, H. Miyake, K. Serita, H. Murakami, M. Tonouchi, M. Uemukai, T. Tanikawa and R. Katayama
    • 学会等名
      第41回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 高効率スクイーズド光発生に向けたLiNbO3/GaN横型擬似位相整合波長変換デバイスの設計2022

    • 著者名/発表者名
      野呂 諒介、上向井 正裕、谷川 智之、片山 竜二
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 230 nm遠紫外第二高調波発生に向けたHfO2/AlN横型擬似位相整合チャネル導波路の作製2022

    • 著者名/発表者名
      本田 啓人、俵 悠弥、藤原 康文、正直 花奈子、三宅 秀人、上向井 正裕、谷川 智之、片山 竜二
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Experimental Determination of Wavelength Conversion Efficiency in Transverse Quasi-Phase-Matched GaN SHG Waveguide Excited with Femtosecond Laser2021

    • 著者名/発表者名
      N. Yokoyama, Y. Morioka, T. Murata, H. Honda, F. R. G. Bagsican, K. Serita, H. Murakami, M. Tonouchi, S. Ichikawa, Y. Fujiwara, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
    • 学会等名
      2021 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 230 nm遠紫外第二高調波発生に向けた横型擬似位相整合HfO2/AlN導波路の設計2021

    • 著者名/発表者名
      本田啓人、梅田颯志、正直花奈子、三宅秀人、上向井正裕、谷川智之、片山竜二
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 230 nm遠紫外第二高調波発生に向けた横型擬似位相整合2層極性反転AlN導波路の作製2021

    • 著者名/発表者名
      梅田颯志、本田啓人、南部誠明、市川修平、藤原康文、正直花奈子、三宅秀人、上向井正裕、谷川智之、片山竜二
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 有機金属気相成長法を用いたGaNエピタキシャル極性反転技術の開発2021

    • 著者名/発表者名
      村田知駿、谷川智之、上向井正裕、片山竜二
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Efficiency Evaluation of GaN Transverse Quasi-Phase-Matched Wavelength Conversion Device under Femtosecond Laser Excitation2021

    • 著者名/発表者名
      N. Yokoyama, H. Honda, T. Murata, K. Serita, H. Murakami, M. Tonouchi*, S. Tokita, S. Ichikawa, Y. Fujiwara, M. Uemukai, T. Tanikawa and R. Katayama
    • 学会等名
      第40回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of GaN Polarity Inverted Structure via Ultrathin AlN Oxidation Interlayer using Metalorganic Vapor Phase Epitaxy2021

    • 著者名/発表者名
      T. Murata, T. Tanikawa, M. Uemukai and R. Katayama
    • 学会等名
      第40回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Design of Non-Polar/AlN Transverse Quasi-Phase Matched Channel Waveguides for 230-nm Far-UV Second Harmonic Generation2021

    • 著者名/発表者名
      H. Honda, K. Shojiki, H. Miyake, M. Uemukai, T. Tanikawa and R. Katayama
    • 学会等名
      第40回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Improved Fabrication of Transverse Quasi-Phase-Matched Double-Layer Polarity Inverted AlN Waveguide for 230-nm Second Harmonic Generation2021

    • 著者名/発表者名
      S. Umeda, H. Honda, T. Nambu, S. Ichikawa, Y. Fujiwara, K. Shojiki, H. Miyake, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
    • 学会等名
      第40回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Novel Method of Short-Wavelength Emission from Polarity-Inverted Nitride Semiconductor Waveguides2021

    • 著者名/発表者名
      R. Katayama, M. Uemukai, and T. Tanikawa
    • 学会等名
      The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Novel wavelength converters made of nitride semiconductors: transverse QPM waveguides and monolithic microcavities2021

    • 著者名/発表者名
      R. Katayama, M. Uemukai, and T. Tanikawa
    • 学会等名
      SPIE Photonics West 2021
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] GaN横型擬似位相整合第二高調波発生デバイスの効率評価2021

    • 著者名/発表者名
      横山尚生、村田知駿、本田啓人、市川修平、藤原康文、上向井正裕、谷川智之、片山竜二
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] AlN微小二重共振器型面発光DUV第二高調波発生デバイスの検討2021

    • 著者名/発表者名
      南部誠明、矢野岳人、永田拓実、田辺 凌、梅田颯志、市川修平、藤原康文、上向井正裕、谷川智之、片山竜二
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 230 nm深紫外光発生に向けた2層極性反転AlN導波路の設計と作製2021

    • 著者名/発表者名
      本田啓人、永田拓実、市川修平、藤原康文、正直花奈子、三宅秀人、上向井正裕、谷川智之、片山竜二
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 広帯域光子対発生に向けたGaN導波路型微小共振器デバイスの作製2021

    • 著者名/発表者名
      永田拓実、梅田颯志、隈部岳瑠、安藤悠人、出来真斗、本田善央、天野 浩、トーマスポージン、山田和輝、岩谷素顕、上向井正裕、谷川智之、片山竜二
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] InGaN高次結合ディープエッチDBRレーザ2021

    • 著者名/発表者名
      樋口晃大、松下就哉、上向井正裕、谷川智之、片山竜二
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication process of InGaN high-order deeply etched DBR laser2020

    • 著者名/発表者名
      A. Higuchi, D. Tazuke, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Light-Emitting Devices and Their Industrial Applications
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Design of AlN doubly-resonant waveguide microcavity SHG device2020

    • 著者名/発表者名
      S. Umeda, T. Nagata, M. Uemukai, T. Tanikawa, R. Katayama
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Light-Emitting Devices and Their Industrial Applications
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] グレーティング結合器集積GaN横型擬似位相整合第二高調波発生デバイス2020

    • 著者名/発表者名
      横山尚生、森岡佳紀、森川隆哉、藤原康文、上向井正裕、谷川智之、片山竜二
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 周期的スロット構造を用いたInGaN波長可変単一モードレーザ2020

    • 著者名/発表者名
      樋口晃大、上向井正裕、谷川智之、片山竜二
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] ワイドギャップ半導体の分極制御と量子光学応用:遠UVC全固体光源2020

    • 著者名/発表者名
      片山竜二、上向井正裕、谷川智之
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Design of GaN Waveguide Microcavity Device for Broadband Photon Pair Generation2020

    • 著者名/発表者名
      T. Nagata, S. Umeda, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
    • 学会等名
      第39回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Design of Waveguide Directional Coupler for Electric-Field Driven GaN Mach-Zehnder Interferometer2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Hisada, A. Tomibayashi, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
    • 学会等名
      第39回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Design of Ttransverse Quasi-Phase-Matched Double-Layer AlN Waveguide for 230-nm DUV Second Harmonic Generation2020

    • 著者名/発表者名
      H. Honda, N. Yokoyama, A. Yamauchi, T. Komatsu, K. Shojiki, H. Miyake, M. Uemukai, T. Tanikawa and R. Katayama
    • 学会等名
      第39回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] First Demonstration of Tunable Single-Mode InGaN Laser with Periodically Slotted Structure2020

    • 著者名/発表者名
      A. Higuchi, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
    • 学会等名
      第39回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Design and Fabrication of AlN Waveguide Microcavity SHG Device2020

    • 著者名/発表者名
      S. Umeda, T. Nagata, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
    • 学会等名
      第39回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Transverse Quasi-Phase-Matched Second Harmonic Generation using Polarity-Inverted GaN Channel Waveguide with Input Grating Coupler2020

    • 著者名/発表者名
      T. Murata, N. Yokoyama, T. Komatsu, Y. Morioka, M. Uemukai, T. Tanikawa, and R. Katayama
    • 学会等名
      第39回電子材料シンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] ワイドギャップ窒化物半導体波長変換デバイスによる紫外光発生2020

    • 著者名/発表者名
      片山竜二、上向井正裕、谷川智之
    • 学会等名
      応用物理学会 応用電子物性分科会 研究例会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Second harmonic generation devices with transverse quasi-phase-matched polarity-inverted stacked AlN waveguide2020

    • 著者名/発表者名
      A. Yamauchi,T. Komatsu,K. Ikeda,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake,T. Hikosaka,S. Nunoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama
    • 学会等名
      SPIE Photonics West 2020
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] AlN 導波路型微小二重共振器第二高調波発生デバイスの設計2020

    • 著者名/発表者名
      梅田 颯志,永田 拓実,彦坂 年輝,布上 真也,上向井 正裕,谷川 智之,片山 竜二
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 横型擬似位相整合GaN 導波路型波長変換デバイスの開発2020

    • 著者名/発表者名
      小松 天太,彦坂 年輝,布上 真也,上向井 正裕,谷川 智之,片山 竜二
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 表面活性化接合により作製した GaN分極反転積層構造の接合強度評価2019

    • 著者名/発表者名
      田辺 凌、横山 尚生、上向井 正裕、谷川 智之、片山 竜二
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] AlN導波路第二高調波発生デバイスのための集光グレーティング結合器2019

    • 著者名/発表者名
      森岡 佳紀、上向井 正裕、上杉 謙次郎、正直 花奈子、三宅 秀人、森川 隆哉、藤原 康文、谷川 智之、片山 竜二
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] 2層極性反転積層 AlN導波路を用いた深紫外第二高調波発生デバイスの設計2019

    • 著者名/発表者名
      山内 あさひ、小松 天太、池田 和久、上杉 謙二郎、正直 花奈子、三宅 秀人、彦坂 年輝、布上 真也、森川 隆哉、藤原 康文、上向井 正裕、谷川 智之、片山 竜二
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] InGaN Laser Pumped Nitride Semiconductor Transverse Quasi-Phase-Matched Waveguide Second Harmonic Generation Devices2019

    • 著者名/発表者名
      M. Uemukai,S. Yamaguchi,A. Yamauchi,D. Tazuke,A. Higuchi,R. Tanabe,T. Tanikawa,T. Hikosaka,S. Nunoue,Y. Hayashi,H. Miyake,Y. Fujiwara and R. Katayama
    • 学会等名
      7th International Workshop on Epitaxial Growth and Fundamental Properties of Semiconductor Nanostructures
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Input Focusing Grating Coupler for AlN Deep UV Waveguide SHG Device2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Morioka,M. Uemukai,T. Tanikawa,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake2,T. Morikawa,Y. Fujiwara and R. Katayama
    • 学会等名
      7th International Workshop on Epitaxial Growth and Fundamental Properties of Semiconductor Nanostructures
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Benchmark of nonlinear optical crystals for single path waveguide optical parametric amplifier2019

    • 著者名/発表者名
      T. Komatsu,R. Noro,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama
    • 学会等名
      38th Electronic Materials Symposium
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Design and fabrication of InGaN single mode laser with periodically slotted structure2019

    • 著者名/発表者名
      D. Tazuke,A. Higuchi,T. Hikosaka,T. Oka,S. Nunoue,M. Uemukai,T .Tanikawa and R. Katayama
    • 学会等名
      38th Electronic Materials Symposium
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Optimization of annealing temperature to reduce contact resistance on p GaN toward fabrication of InGaN single mode laser2019

    • 著者名/発表者名
      A. Higuchi,D. Tazuke,T. Hikosaka, T. Oka,S. Nunoue,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama
    • 学会等名
      38th Electronic Materials Symposium
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of GaN doubly resonant waveguide microcavity SHG device2019

    • 著者名/発表者名
      T. Nagata,S. Umeda,T. Hikosaka,S. Nunoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama
    • 学会等名
      38th Electronic Materials Symposium
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Design of GaN doubly resonant waveguide microcavity SHG device2019

    • 著者名/発表者名
      S. Umeda,T. Nagata,T. Hikosaka,S. Nuoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama
    • 学会等名
      38th Electronic Materials Symposium
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Input grating coupler for AlN channel waveguide wavelength conversion device2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Morioka,M. Uemukai,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake,T. Morikawa,Y. Fujiwara,T. Tanikawa and R. Katayama
    • 学会等名
      38th Electronic Materials Symposium
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Design of deep ultraviolet second harmonic generation device with double layer polarity inverted AlN waveguide2019

    • 著者名/発表者名
      A. Yamauchi,T. Komatsu,K. Ikeda,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake,T. Hikosaka,S. Nunoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama
    • 学会等名
      38th Electronic Materials Symposium
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Bonding Strength of Polarity-Inverted GaN Structure Fabricated by Surface-Activated Bonding2019

    • 著者名/発表者名
      Ryo Tanabe,Naoki Yokoyama,Masahiro Uemukai,Tomoyuki Tanikawa and Ryuji Katayama
    • 学会等名
      9th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Design and Fabrication of GaN Doubly-Resonant Waveguide Microcavity SHG Device2019

    • 著者名/発表者名
      Takumi Nagata,Masahiro Uemukai,Toshiki Hikosaka,Shinya Nunoue,Takaya Morikawa,Yasufumi Fujiwara,Tomoyuki Tanikawa and Ryuji Katayama
    • 学会等名
      9th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Design of Deep Ultraviolet Second Harmonic Generation Device with Double-Layer PolarityInverted AlN Waveguide2019

    • 著者名/発表者名
      Asahi Yamauchi,Tenta Komatsu,Kazuhisa Ikeda,Kenjiro Uesugi,Kanako Syojiki,Hideto Miyake,Toshiki Hikosaka,Sinya Nunoue,Takaya Morikawa,Yasufumi Fujiwara,Masahiro Uemukai,Tomoyuki Tanikawa and Ryuji Katayama
    • 学会等名
      9th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [備考] 研究室ホームページ

    • URL

      http://www.qoe.eei.eng.osaka-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書 2021 実績報告書 2020 実績報告書 2019 実績報告書

URL: 

公開日: 2019-04-18   更新日: 2024-01-30  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi