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光侵入長を制御したフェムト秒レーザーアブレーションによる次世代金属表面加工の研究

研究課題

研究課題/領域番号 19J14818
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
審査区分 小区分26050:材料加工および組織制御関連
研究機関京都大学

研究代表者

古川 雄規  京都大学, 理学研究科, 特別研究員(DC2)

研究期間 (年度) 2019-04-25 – 2021-03-31
研究課題ステータス 完了 (2020年度)
配分額 *注記
1,700千円 (直接経費: 1,700千円)
2020年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
2019年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
キーワード金属表面加工 / フェムト秒レーザー / 光学特性 / 時空間分解測定 / 光侵入長 / 吸収係数 / ポンプ-プローブ測定 / レーザーパルス列照射 / チタン / 白金
研究開始時の研究の概要

フェムト秒レーザーパルスが金属に照射されるとアブレーション(融解などを伴う表面剥離、飛散現象)により表面にナノ構造が形成される。金属表面の光侵入長、反射率などがこのナノ構造の形状を特徴づける重要な光学物性であると考えられている。本研究では、ナノ構造形成メカニズムの理解とナノ構造形状の制御性向上を目的として、これらの光学物性の時間変化測定を行う。
さらに、レーザー照射条件と光学物性の時間変化を関連づけるデータベースを構築し、レーザー照射により金属表面の光学物性を能動的に制御した次世代金属表面加工の実現を目指す。

研究実績の概要

本研究では、フェムト秒レーザー列(第1レーザー、第2レーザー)照射による金属表面加工の物理過程を明らかにすることを目的として、第1レーザーが照射された金属標的表層における光学的な特性の時間発展を測定する新たな手法を提案し、主にチタン標的について測定を実施した。
採用第一年目は、第1レーザーが照射されたチタン標的表層の「光侵入長」を測定する手法を提案し、第1, 2レーザーの間隔が100psであるときに光侵入長がレーザー未照射チタンの光侵入長よりも減少することを明らかにした。
採用第二年目は、「光侵入長」という特性が「吸収係数」という特性の逆数であることに着目し、採用第一年目に提案した『光侵入長を求める手法』を改良することで、第1レーザー照射により変化したチタン表層の『過渡的な吸収係数の深さ分布を求める手法』を提案した。この新手法により、レーザー間隔0.3~1000psにかけての第1レーザー照射による吸収係数分布の変化を初めて明らかにした。レーザーが照射された金属標的表層の光学特性の深さ分布を測定する手法は今までになく、本研究により吸収係数の深さ分布測定法が提案されたことで、これまで数値計算などでしか考察できなかった物質の(表面だけでなく空間的な)時間発展の解明が進展すると期待される。
本研究の実験結果を複数の学会および学会プロシーディングにおいて発表した。本研究の重要性が認められた成果として、複数の学会(日本物理学会、応用物理学会)で優秀発表賞を受賞した。
さらに、第2レーザーの波長を二倍波に変えた実験を実施するための装置を購入し、実験光学系をデザインした。実験の実施、および成果発表は次年度(2021年度)に引き継ぐことになるが、二倍波レーザーを用いた実験により、金属表面加工の物理過程がより詳細に考察できると期待される。

現在までの達成度 (段落)

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(2件)
  • 2020 実績報告書
  • 2019 実績報告書
  • 研究成果

    (16件)

すべて 2021 2020 2019

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (13件) (うち国際学会 5件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] Temporal change in laser penetration length of titanium and platinum for double-pulse ablation measured by a novel ablation method2021

    • 著者名/発表者名
      Furukawa Yuki、Inoue Shunsuke、Hashida Masaki
    • 雑誌名

      Journal of Laser Applications

      巻: 33 号: 1 ページ: 012023-012023

    • DOI

      10.2351/7.0000325

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Dynamics of titanium ablation suppression induced by below-ablation-threshold femtosecond laser pulse irradiation2021

    • 著者名/発表者名
      Furukawa Yuki、Inoue Shunsuke、Hashida Masaki
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE

      巻: 11673 ページ: 22-22

    • DOI

      10.1117/12.2577962

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [雑誌論文] Optical properties of titanium induced by below-ablation-threshold irradiation2020

    • 著者名/発表者名
      Furukawa Yuki、Hashida Masaki、Kojima Sadaoki、Inoue Shunsuke、Sakabe Shuji
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 515 ページ: 146047-146047

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2020.146047

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] ダブルパルスレーザーアブレーションによるチタン表層の吸収係数分布測定法の提案2021

    • 著者名/発表者名
      古川 雄規、井上 峻介、橋田 昌樹
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会 第41回年次大会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Dynamics of titanium ablation suppression induced by below-ablation-threshold femtosecond laser pulse irradiation2021

    • 著者名/発表者名
      Yuki Furukawa, Shunsuke Inoue, Masaki Hashida
    • 学会等名
      Photonics WEST Lase 2021
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 加工閾値以下のフェムト秒レーザーが照射されたチタン表層の吸収係数分布変化の測定2021

    • 著者名/発表者名
      古川 雄規、井上 峻介、橋田 昌樹
    • 学会等名
      日本物理学会 第76回年次大会(春季)
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザー照射チタン表層の吸収係数深さ分布のアブレーションによる測定2021

    • 著者名/発表者名
      古川 雄規、井上 峻介、橋田 昌樹
    • 学会等名
      第68回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] アブレーション閾値以下のフェムト秒レーザー照射によるチタン表面光侵入長の減少2020

    • 著者名/発表者名
      古川 雄規、井上 峻介、橋田 昌樹
    • 学会等名
      第81回応用物理学会 秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Temporal change in laser penetration length of titanium and platinum for double-pulse ablation measured by a novel ablation method2020

    • 著者名/発表者名
      Yuki Furukawa, Shunsuke Inoue, Masaki Hashida
    • 学会等名
      ICALEO2020: the International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] アブレーション閾値フルーエンス以下のフェムト秒レーザー照射チタン表面の光学特性2020

    • 著者名/発表者名
      古川雄規、橋田昌樹、井上峻介、阪部周二
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会 第40回年次大会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザー閾値以下予備照射を用いたチタン表面加工に関する新奇光学ダイナミクス2020

    • 著者名/発表者名
      古川雄規、橋田昌樹、井上峻介、阪部周二
    • 学会等名
      第17回赤外放射関連応用学会年会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] フェムト秒レーザー閾値以下予備照射によるチタン表面光学特性の時間変化2020

    • 著者名/発表者名
      古川雄規、橋田昌樹、井上峻介、阪部周二
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [学会発表] Temporal Change of the Optical Properties of Titanium Surface Irradiated by Femtosecond-Laser Pulses2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Furukawa、Sadaoki Kojima、Shunsuke Inoue、Masaki Hashida、Shuji Sakabe
    • 学会等名
      The 8th Advanced Lasers and Photon Sources in OPTICS & PHOTONICS International Congress 2020
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Optical properties for femtosecond laser ablation of pre-irradiated titanium2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Furukawa、Sadaoki Kojima、Shunsuke Inoue、Masaki Hashida、Shuji Sakabe
    • 学会等名
      INTERNATIONAL SYMPOSIUM “FUNDAMENTALS OF LASER ASSISTED MICRO- AND NANOTECHNOLOGIES”
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Change of Optical Properties Causing Suppression of Ablation for Titanium by Pre-irradiation of Femtosecond Laser2019

    • 著者名/発表者名
      Yuki Furukawa、Sadaoki Kojima、Shunsuke Inoue、Masaki Hashida、Shuji Sakabe
    • 学会等名
      15th International Conference on laser Ablation
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] アブレーション閾値フルーエンス以下に調整された第一パルスを用いたフェムト秒レーザーダブルパルス照 射によるチタンアブレーションの抑制2019

    • 著者名/発表者名
      古川雄規、井上峻介、橋田昌樹、阪部周二
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書

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公開日: 2019-05-29   更新日: 2024-03-26  

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