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変形下での有機半導体デバイスの電気的性能劣化を引き起こす機械的要因の解明

研究課題

研究課題/領域番号 19K04093
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分18010:材料力学および機械材料関連
研究機関鹿児島大学

研究代表者

小金丸 正明  鹿児島大学, 理工学域工学系, 准教授 (20416506)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
研究課題ステータス 完了 (2021年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2021年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2020年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2019年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
キーワード有機薄膜トランジスタ / 機械的負荷 / 電気特性変動 / ゲート絶縁膜 / 機械的応力効果 / ゲートリーク電流 / 有機半導体の機械的応力効果 / 有機半導体 / 変形 / 応力 / 電気特性
研究開始時の研究の概要

有機半導体デバイスは、フレキシブルデバイスとして変形下での利用が想定されており、そのような環境下でのデバイスの機械的・電気的信頼性の担保が必須となる。本研究では、変形下(機械的負荷下)での有機半導体デバイスの電気的性能劣化を引き起こす機械的要因を、新たな実験・評価手法を用いることにより解明する。これにより、機械的負荷が引き起こす有機半導体デバイスの電気特性変動(劣化)および電気的破壊の問題に対し、設計・製造時に利用できる機械工学的な評価指針・指標を示す。

研究成果の概要

p型の有機薄膜トランジスタ(OTFT)を対象とし、機械的負荷に起因する電気特性変動および電気的破壊を実験的に評価した。
機械的負荷が比較的小さな領域での電気特性変動評価では、曲げ負荷・面内引張り負荷・面外圧縮負荷による相互コンダクタンスの変化率がいずれも機械的応力に対して減少し、定量的には面外圧縮負荷、曲げ負荷、面内引張り負荷の順で大きくなることを明らかにした。機械的負荷が大きな領域での電気的破壊の評価では、機械的負荷がOTFT用ゲート絶縁層の絶縁性能へ及ぼす影響を実験的に評価した。その結果、ゲート絶縁層の絶縁性能変化(リーク特性)に基板材料の応力-ひずみ特性と相関があることを示した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

有機半導体デバイスは、フレキシブルな基板上に作製することで、薄くて軽く、形状変化に優れた電子機器・デバイスを実現可能にする。換言すれば、フレキシブルデバイスとして変形下(機械的負荷下)での利用が想定されており、そのような環境下でのデバイスの機械的・電気的信頼性の担保が必須となる。
本研究では、有機薄膜トランジスタ(OTFT)を対象とし、機械的負荷に起因する電気特性変動および電気的破壊を実験的に評価した。本研究成果は、有機半導体デバイス・製品の信頼性を担保する上での基礎的知見となる。

報告書

(4件)
  • 2021 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて 2021 2020

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (3件)

  • [雑誌論文] 有機薄膜トランジスタ用ゲート絶縁層の機械的負荷下でのリーク電流評価とリークパスの推定2021

    • 著者名/発表者名
      日髙功二,小金丸正明,関根智仁,宍戸信之,神谷庄司,三成剛生,池田徹,時任静士
    • 雑誌名

      エレクトロニクス実装学会誌

      巻: 24 号: 6 ページ: 586-594

    • DOI

      10.5104/jiep.JIEP-D-21-00015

    • NAID

      130008082301

    • ISSN
      1343-9677, 1884-121X
    • 年月日
      2021-09-01
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 有機薄膜トランジスタ用Ag配線の1軸引張り負荷による抵抗値変動2021

    • 著者名/発表者名
      中島太聖,小金丸正明,関根智仁,宍戸信之,神谷庄司,三成剛生,池田徹,時任静士
    • 学会等名
      第31回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 有機薄膜トランジスタの曲げおよび面外圧縮負荷による電気特性変動2021

    • 著者名/発表者名
      中島太聖,中城朋也,小金丸正明,関根智仁,宍戸信之,神谷庄司,三成剛生,池田徹,時任静士
    • 学会等名
      27th Symposium on "Microjoining and Assembly Technology in Electronics" (Mate 2021)
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 薄膜有機トランジスタ用ゲート絶縁層の機械的負荷下での絶縁性能評価2020

    • 著者名/発表者名
      日髙功二,小金丸正明,関根智仁,宍戸信之,神谷庄司,三成剛生,池田徹,時任静士
    • 学会等名
      マイクロエレクトロニクスシンポジウム2020(MES2020)
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書

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公開日: 2019-04-18   更新日: 2023-01-30  

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