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トライボケミカル反応を利用した高機能六方晶窒化ホウ素薄膜製造技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 19K04162
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

村上 敬  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (40344098)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
研究課題ステータス 完了 (2021年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2021年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2020年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2019年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
キーワードトライボロジー / ホウ化物 / 高温 / 放電プラズマ焼結 / 窒化ホウ素
研究開始時の研究の概要

近年火力発電用タービンのシール材、自動車のターボチャージャーの軸受等の用途で、高
温で低摩擦・低摩耗を示す摺動材料が求められている。本研究では、高温でホウ化物と窒化物を摺動させた時、摺動面に低摩擦の六方晶窒化ホウ素(h-BN)薄膜が形成される機構を利用して、室温~1000℃で摩擦係数0.05以下かつ比摩耗量10-7mm3/Nm以下を示す摺動材料を開発する。またこのh-BN薄膜形成機構を利用して、高純度のh-BN薄膜を得るための摺動条件を明らかにし、得られる高純度h-BN薄膜の発光特性、欠陥、不純物の評価を行い、最終的に深紫外線発光素子材料として利用できる薄膜製造条件を明らかにする。

研究成果の概要

近年高温用金型や火力発電の分野で、高温で低摩擦・低摩耗を示す材料が求められている。最近研究代表者は高硬度で低摩耗のMoBを大気中800℃~1000℃でSi3N4と摺動した時、低摩擦を示すことを明らかにしている。この低摩擦は摺動面上に低摩擦のh-BN、MoO3薄膜が形成されたためであると考えている。本研究では室温~1000℃でh-BNを利用した低摩擦低摩耗の硬質材料を開発しながら、高純度のh-BN被膜形成技術の開発を行い、ReB2が室温と800℃~1000℃で低摩擦を示すこと、SiB6やB4CとSi3N4の組み合わせを1500℃で保持すると高純度のh-BN被膜を形成できることを明らかにした。

研究成果の学術的意義や社会的意義

従来より高温用金型や火力発電、自動車、航空機などの業界で大気中室温~1000℃で連続して低摩擦・低摩耗を示す材料が求められてきているが、現在のところそのような材料は開発されていない。また六方晶窒化ホウ素は半導体であるため、深紫外線発光素子材料等への応用も期待されているが、現在の製造方法である気相合成法は毒劇物を使用するため環境負荷が大きい欠点がある。本研究で得られた低摩擦・低摩耗材料や六方晶窒化ホウ素の作製方法がさらに発展し、工業的に利用されるようになれば、そのインパクトは非常に大きいのではと考えている。

報告書

(4件)
  • 2021 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて 2021 2020 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件) 学会発表 (5件) (うち国際学会 2件、 招待講演 3件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] High-Temperature Tribological Properties of ReB2-based ceramic/Si3N4 Sliding Pairs2021

    • 著者名/発表者名
      Takashi Murakami, Tsuguyori Ohana
    • 雑誌名

      Materials Science Forum

      巻: 1016 ページ: 978-983

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/msf.1016.978

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書 2019 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Tribological Behaviors of B<sub>6</sub>O/Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub> and B<sub>6</sub>O/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Sliding Pairs in Water2020

    • 著者名/発表者名
      Takashi Murakami, Atsushi Korenaga, Tsuguyori Ohana
    • 雑誌名

      MATERIALS TRANSACTIONS

      巻: 61 号: 3 ページ: 475-481

    • DOI

      10.2320/matertrans.MT-M2019253

    • NAID

      130007801640

    • ISSN
      1345-9678, 1347-5320
    • 年月日
      2020-03-01
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 産総研の概要及び研究紹介2021

    • 著者名/発表者名
      村上敬
    • 学会等名
      宇都宮高校首都圏研修
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Friction and Wear Properties of Borides at High Temperatures2021

    • 著者名/発表者名
      村上敬
    • 学会等名
      THERMEC' 2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Friction and Wear Properties of Borides at High Temperatures2021

    • 著者名/発表者名
      Takashi Murakami, Tsuguyori Ohana
    • 学会等名
      THERMEC 2021
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書 2019 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] ReB2基セラミックスの高温トライボロジー特性2020

    • 著者名/発表者名
      村上 敬
    • 学会等名
      トライボロジー会議2020秋別府
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] ReB2基セラミックス/Si3N4摺動面の高温摩擦・摩耗特性2020

    • 著者名/発表者名
      村上 敬、大花 継頼
    • 学会等名
      日本金属学会2020年春期大会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [備考] 特殊環境(高温、水中等)用摺動材料の開発

    • URL

      https://staff.aist.go.jp/murakami.t/

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書

URL: 

公開日: 2019-04-18   更新日: 2023-01-30  

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