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蒸発促進メカニズム解明のための屈折率調整されたモスアイ構造表面の可視化計測

研究課題

研究課題/領域番号 19K04224
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分19020:熱工学関連
研究機関東京理科大学

研究代表者

佐竹 信一  東京理科大学, 先進工学部電子システム工学科, 教授 (90286667)

研究分担者 谷口 淳  東京理科大学, 先進工学部電子システム工学科, 教授 (40318225)
安藤 格士  東京理科大学, 先進工学部電子システム工学科, 准教授 (30385546)
研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
研究課題ステータス 完了 (2021年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2021年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2020年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2019年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
キーワード屈折率調整法 / ナノインプリント法 / 全反射蛍光顕微鏡 / UV硬化樹脂 / 分子動力学法 / ナノステップ構造 / モスアイ構造 / デジタルホログラフィックPTV / ブラウン動力学 / インデックスマッチング法 / ブラウン動力学法 / 全反射顕微鏡
研究開始時の研究の概要

本研究グループは,伝熱実験に必要な様々な種類のナノ表面を作製でき,評価結果を受けて,ブラウン動力学シミュレーションで最適と考えられる構造を作って,評価していく。また,最終的にはデバイスを作製するために,大面積化と量産手法の確立は必要となるため,本グループは,作製から実用化までを担うことができる。また,数値シミュレーションによって示唆される最適な微細構造によって生じる界面近傍のサブマイクロメートルの熱流動変化をTIRFM可視化実験で評価する。

研究成果の概要

UVナノインプリント法によって作製されたナノステップにおいて、水で屈折率調整法を用いてナノサイズのステップ構造上でナノ粒子の3次元運動を理解するために、全反射蛍光顕微鏡の3次元化可視化を実行した。ナノステップはUV硬化樹脂で作られ、その屈折率が水と同じである。実験による水におけるステップの近くで蛍光ナノ粒子の運動によって得られる拡散係数は、光学ひずみなしに捕えられることができた。ステップのエッジに沿った拡散係数は、ステップの上より大きい。同様の系で分子動力学シミュレーションも、ナノサイズのステップの近くで拡散係数を計算するために行った。計算結果は、実験的な観察と質的に類似している結果を得た。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究で用いる表面作製手法ではテーパー状の高アスペクト比の針状構造を容易に得ることができ,独創性が高く優位な技術であり,実在の蒸発を制御するために最適な伝熱デバイスの設計を見込むことができる。さらに計測手法も水中に限定しているため,生物医学系の計測が水を媒体する中で行われることに対して親和性が高い。UV硬化型樹脂を使用したナノインプリントリソグラフィ―を使うことで大面積・大量生産に向いていることから,シート状に印刷をするように作製が可能であり,低価格で大量生産できる可能性がある。

報告書

(4件)
  • 2021 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 研究成果

    (9件)

すべて 2022 2021 2020 2019

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (3件) (うち国際学会 3件)

  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation of the Resist Filling Process in UV-nanoimprint Lithography2021

    • 著者名/発表者名
      Uchida Hiroki、Imoto Ryosuke、Ando Tadashi、Okabe Takao、Taniguchi Jun
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 34 号: 2 ページ: 139-144

    • DOI

      10.2494/photopolymer.34.139

    • NAID

      130008119658

    • ISSN
      0914-9244, 1349-6336
    • 年月日
      2021-06-11
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Impact of Water Treatment Reactor using TiO<sub>2</sub>-coated Micropillar Made by UV-NIL2021

    • 著者名/発表者名
      Daigo Kazuki、Akama Ryota、Unno Noriyuki、Satake Shin-ichi、Taniguchi Jun
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 34 号: 2 ページ: 127-132

    • DOI

      10.2494/photopolymer.34.127

    • NAID

      130008119667

    • ISSN
      0914-9244, 1349-6336
    • 年月日
      2021-06-11
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 屈折率整合法を用いた微細構造体周りの流れ場の3次元可視化技術及び光触媒リアクターへの新展開2020

    • 著者名/発表者名
      海野徳幸、佐竹信一
    • 雑誌名

      伝熱

      巻: 59 ページ: 52-58

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [雑誌論文] Transfer durability of high aspect ratio moth-eye structure on glassy carbon mold using release agent2020

    • 著者名/発表者名
      Kawauchi Junya、Taniguchi Jun
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: SI ページ: SIIJ12-SIIJ12

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab7b17

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Anti-fouling and optical characterization of micro-lens array with antireflection structure by UV-NIL2020

    • 著者名/発表者名
      Nakamura Masato、Kurihara Kazuma、Hokari Ryohei、Hiwasa Shin、Taniguchi Jun
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: SI ページ: SIIJ06-SIIJ06

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab79ee

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Three-dimensional flow measurements around micro-pillars made by UV-NIL in water via micro-digital holographic particle tracking velocimetry (Micro-DHPTV)2020

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Matsuda, Hiroshi Kigami, Noriyuki Unno, Shin-ichi Satake, and Jun Taniguchi
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 33 ページ: 557-562

    • NAID

      130007867669

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 3D simulation and experiment of the fluid flow around structure with nano step made by UV-NIL2022

    • 著者名/発表者名
      Tadashi Ando, Yusei Honda, Tomoki Yanagawa, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi, and Shin-ichi Satake
    • 学会等名
      The 39th International Conference of Photopolymer Science and Technology
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Molecular Dynamics Study of Resist Filling Process in UV-nanoimprint Lithography2021

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Uchida, Ryosuke Imoto, Takao Okabe, Jun Taniguchi, Tadashi Ando
    • 学会等名
      The 38th International Conference of Photopolymer Science and Technology
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Three-dimensional flow measurements around micro-pillars in water by micro-digital holographic particle tracking velocimetry2019

    • 著者名/発表者名
      Yasuhiro Matsuda, Hiroshi Kigami, Noriyuki Unno, Jun Taniguchi and Shin-ichi Satake
    • 学会等名
      The 13th Japan-Finland Joint Symposium on Optics in Engineering (OIE 2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会

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公開日: 2019-04-18   更新日: 2023-01-30  

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