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TEMオペランド観察と第一原理解析にもとづく時間緩和型酸化物メモリスタの機構解明

研究課題

研究課題/領域番号 19K04468
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分21050:電気電子材料工学関連
研究機関大阪大学

研究代表者

藤平 哲也  大阪大学, 基礎工学研究科, 准教授 (00463878)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
研究課題ステータス 完了 (2021年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2021年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2020年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2019年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
キーワード酸化物メモリスタ / 透過型電子顕微鏡その場観察 / 酸化チタン / 第一原理計算 / 抵抗変化現象 / 人工シナプス / 酸化物半導体 / 透過型電子顕微鏡 / 電子顕微鏡その場観察 / ルチル型TiO2 / 点欠陥 / 酸化物 / TEMその場観察
研究開始時の研究の概要

時間に依存した新奇なメモリスタ特性(電圧印加により誘起される不揮発的な電気抵抗変化)を示す金属酸化物(SrTiO3,TiO2)ベースの抵抗変化材料に関して、電気特性評価、高分解能その場透過型電子顕微鏡観察、第一原理理論計算を連携した解析を行う。実験および理論的解析により得られた緩和型メモリスタ特性の微視的メカニズム(原子欠陥の移動・集散に伴う局所状態変化)の知見から、多様で動的なシナプス様特性を示すメモリスタの制御と設計につながる指針を獲得する。

研究成果の概要

時間依存型の抵抗変化特性を示す酸化物系メモリスタについて,透過電子顕微鏡その場観察と理論計算を連携した解析を行った.バイアス電圧印加のもとでの電気特性評価と同期した高分解能電子顕微鏡観察により,抵抗変化の起源となる微細構造の変化をナノメートルスケールで動的に観測することに成功した.微細構造変化をもたらす酸素欠陥(空孔)の挙動にもとづき抵抗変化メカニズムを議論するとともに,多端子型メモリスタ素子を用いた時間依存型シナプス特性や連合学習の実装を行った.

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究の電子顕微鏡観察にもとづく解析の結果から,抵抗変化(メモリスタ)素子の特性発現の鍵となる動的な微細構造変化の詳細が明らかになった.これらの知見は,未だ不明な点が多いメモリスタ素子の動作機構の理解を深めるとともに,メモリスタの挙動をより微細な時空間スケールで制御するための指針になると考えられる.これにより,抵抗変化現象にもとづく高効率・高機能な新規不揮発メモリおよび人工シナプス素子の開発に役立つと期待される.

報告書

(4件)
  • 2021 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 研究成果

    (32件)

すべて 2022 2021 2020 2019 その他

すべて 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (25件) (うち国際学会 9件、 招待講演 3件) 備考 (3件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Versatile Functionality of Four-Terminal TiO2-x Memristive Devices as Artificial Synapses for Neuromorphic Computing2022

    • 著者名/発表者名
      Ryotaro Miyake, Zenya Nagata, Kenta Adachi, Yusuke Hayashi, Tetsuya Tohei, Akira Sakai
    • 雑誌名

      ACS Applied Electronic Materials

      巻: - 号: 5 ページ: 2326-2336

    • DOI

      10.1021/acsaelm.2c00161

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Fabrication of GaOx based crossbar array memristive devices and their resistive switching properties2020

    • 著者名/発表者名
      M. Joko, Y. Hayashi, T. Tohei, A. Sakai
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 59 号: SM ページ: SMMC03-SMMC03

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab8be6

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Gate Tuning of Synaptic Functions Based on Oxygen Vacancy Distribution Control in Four-Terminal TiO2-x Memristive Devices2019

    • 著者名/発表者名
      Z. Nagata, T. Shimizu, T. Isaka, T. Tohei*, N. Ikarashi, A. Sakai*
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 9 号: 1

    • DOI

      10.1038/s41598-019-46192-x

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] 平面型TiO2-xメモリスタ素子における抵抗変化領域のその場TEM観察2022

    • 著者名/発表者名
      谷口奈穂、藤平哲也、林侑介、酒井朗
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] GaOxメモリスタの抵抗スイッチング特性評価2022

    • 著者名/発表者名
      佐藤健人、林侑介、藤平哲也、酒井朗
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] アモルファスGaOxを用いたクロスバーアレイメモリスタの抵抗変化特性2022

    • 著者名/発表者名
      正岡直樹, 林侑介, 藤平哲也, 酒井朗
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 平面型微細TiO2-xメモリスタ素子における抵抗変化領域のその場TEM観察2021

    • 著者名/発表者名
      谷口奈穂、藤平哲也、林侑介、酒井朗
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第77回学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Heterosynaptic Property Demonstrated with Planar Four-Terminal Amorphous GaOx Memristive Devices2021

    • 著者名/発表者名
      T. Ikeuchi, Y. Hayashi, T. Tohei, A. Sakai
    • 学会等名
      2021 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Crystalline microstructure and electric property of rutile TiO2 single crystal memristor2021

    • 著者名/発表者名
      T. Tohei, N. Taniguchi, T. Isaka, R. Miyake, M. Joko, Y. Hayashi, N. Ikarashi, A. Sakai
    • 学会等名
      International Conference on Materials and Systems for Sustainability 2021 (ICMaSS2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Pavlovian conditioning implemented in four-terminal TiO2-x memristive devices2021

    • 著者名/発表者名
      R. Miyake, K. Adachi, Y. Hayashi, T. Tohei, A. Sakai
    • 学会等名
      4th International Conference on Memristive Materials, Devices & Systems (MEMRISYS 2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Habituation and sensitization properties mimicked in four-terminal TiO2-x memristive devices2021

    • 著者名/発表者名
      K. Adachi, Y. Hayashi, T. Tohei, A. Sakai
    • 学会等名
      4th International Conference on Memristive Materials, Devices & Systems (MEMRISYS 2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Temperature-Dependent Resistive Switching Properties of GaOx Memristors up to 600 K2021

    • 著者名/発表者名
      K. Sato, Y. Hayashi, T. Tohei, A. Sakai
    • 学会等名
      2021 International Workshop on Dielectric Thin Films for future electron devices (IWDTF2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 第一原理計算手法に基づく外部電場下におけるルチル型TiO2中の酸素空孔挙動の解析2021

    • 著者名/発表者名
      二宮 雅輝、藤平 哲也、林 侑介、酒井 朗
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 酸化物四端子型メモリスタの結晶微細構造と電気特性2021

    • 著者名/発表者名
      藤平哲也,三宅亮太郎,谷口奈穂,上甲守治,林侑介,酒井朗
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ルチル型TiO2-x平面型メモリスタ素子における抵抗変化領域のその場TEM観察2021

    • 著者名/発表者名
      谷口奈穂,藤平哲也,上甲守治,林侑介,酒井朗
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部2020年度第1回+第2回合同講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 4端子平面型TiO2-xメモリスタ素子におけるゲート制御に基づくシナプス特性の変調2021

    • 著者名/発表者名
      安達健太,林侑介,藤平哲也,酒井朗
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 4端子平面型アモルファスGaOxメモリスタ素子の開発と抵抗変化特性評価2021

    • 著者名/発表者名
      池内太志,林侑介,藤平哲也,酒井朗
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] アモルファス酸化ガリウムを用いたメモリスタの抵抗変化特性およびシナプス特性2020

    • 著者名/発表者名
      上甲守治, 池内太志, 林侑介, 藤平哲也, 酒井朗
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 4端子平面型TiO2-x メモリスタ素子における酸素空孔分布2次元制御に基づくSTP・LTP特性の実装2020

    • 著者名/発表者名
      安達健太, 酒井朗, 藤平哲也, 林侑介, 三宅亮太郎
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 複合顕微鏡アプローチによる機能性結晶のマルチスケール構造・物性解析2020

    • 著者名/発表者名
      藤平哲也
    • 学会等名
      令和2年日本材料学会半導体エレクトロニクス部門委員会第1回特別研究会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 第一原理計算による外部電場下におけるルチル型TiO2中の酸素空孔挙動解析2020

    • 著者名/発表者名
      井阪健,藤平哲也,林侑介, 酒井朗
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 4端子平面型TiO2-xメモリスタ素子におけるドナーイオン分布2次元制御に基づくパブロフ型条件付けの実装2020

    • 著者名/発表者名
      三宅亮太郎,林侑介, 藤平哲也,酒井朗
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Electric and Microstructural Analysis of Rutile TiO2 Single Crystal Memristors2019

    • 著者名/発表者名
      T. Tohei
    • 学会等名
      Joint 5th International Symposium on Frontiers in Materials Science & 3rd International Symposium on Nano-materials, Technology and Applications (FMS-NANOMATA 2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Fabrication of GaOx Based Crossbar Array Memristive Devices and Their Resistive Switching Properties2019

    • 著者名/発表者名
      M. Joko, Y. Hayashi, T. Tohei, A. Sakai
    • 学会等名
      2019 International Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices: Science and Technology (IWDTF2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Atomic and electronic structure analysis of resistive switching regions in rutile TiO2-x based four-terminal memristive devices2019

    • 著者名/発表者名
      T. Isaka, T. Tohei, T. Shimizu, S. Takeuchi, N. Ikarashi, A. Sakai
    • 学会等名
      International Conference on Materials and Systems for Sustainability 2019 (ICMaSS2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Oxygen vacancy distribution control for resistive switching of epitaxial TiO2-x thin films in four-terminal memristive devices2019

    • 著者名/発表者名
      R. Miyake, Z. Nagata, T. Tohei, and A. Sakai
    • 学会等名
      2019 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] GaOxを用いたクロスバーアレイメモリスタの開発と抵抗変化特性2019

    • 著者名/発表者名
      上甲守治,林侑介, 藤平哲也, 酒井朗
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 4端子TiO2-x薄膜メモリスタ素子によるシナプス特性の実装2019

    • 著者名/発表者名
      三宅亮太郎,林侑介, 藤平哲也,酒井朗
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [備考] ResearchGate Tetsuya Tohei personal page

    • URL

      https://www.researchgate.net/profile/Tetsuya-Tohei

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [備考] https://www.researchgate.net/profile/Tetsuya-Tohei

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [備考] Researchgate Tohei's personal page

    • URL

      https://www.researchgate.net/profile/Tetsuya_Tohei

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [産業財産権] メモリスタおよびそれを備えたアレイシステム2019

    • 発明者名
      林侑介,藤平哲也,酒井朗
    • 権利者名
      林侑介,藤平哲也,酒井朗
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2019
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2019-04-18   更新日: 2023-01-30  

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