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強誘電体帯電表面・界面における擬似ドーパント効果の検討とその制御

研究課題

研究課題/領域番号 19K04495
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分21050:電気電子材料工学関連
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

中嶋 誠二  兵庫県立大学, 工学研究科, 准教授 (80552702)

研究分担者 藤澤 浩訓  兵庫県立大学, 工学研究科, 教授 (30285340)
研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
研究課題ステータス 完了 (2021年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2021年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2020年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2019年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
キーワード強誘電体 / 半導体物性 / 擬似ドーパント / 帯電ドメイン壁 / バンド構造 / 擬似ドーパント効果 / エネルギーバンド変調 / グラフェン / BiFeO3 / ビスマスフェライト / 薄膜 / 転写 / バンド変調 / 金属/強誘電体界面 / 帯電ドメインウォール
研究開始時の研究の概要

半導体のキャリア制御は不純物のドープによって実現される。しかし、強誘電体の自発分極を用いることで、この不純物ドープと同等な効果が期待できる。また、この自発分極の向きは電場印加により反転することから、電気的に半導体等のキャリア制御が可能である。この効果は擬似ドーパント効果とよばれている。本研究ではこの擬似ドーパント効果による電子構造の変化を直接観察し、その制御を実現する。

研究成果の概要

本研究では強誘電体を半導体として用いる際に不可欠な自発分極反転によるバンド変調と、強誘電性半導体特性への影響を調べた。まずAu/MnドープBiFeO3(BFMO)構造においてMnがバンド構造に与える影響を明らかにした。また強誘電性半導体特性としてバルク光起電力効果を詳しく調べ、バンド構造変調が開放端電圧に大きく影響することを示した。これにより-193℃において852Vという巨大な電圧発生に成功した。またグラフェン/BFMO構造において自発分極反転によるバンド変調を光電子顕微鏡により明らかにした。加えて、強誘電体/強誘電体界面である帯電DWの任意位置への導入に成功し、その導電性変調を確認した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

近年、半導体デバイスの高集積化が限界に達しつつある。加えて機械学習の発展により脳型コンピューティングのニーズが高まっている。本研究の成果はこれまで絶縁体として扱われてきた強誘電体を半導体として用いることで、今までにない新機能をもつデバイスの創出に寄与するものである。特に強誘電体のバルク光起電力効果は光メモリ、高効率太陽電池の創出が期待でき、自発分極による自身の導電性変調はインメモリコンピューティングを実現する導電性スイッチングメモリへの応用に期待できる。

報告書

(4件)
  • 2021 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 研究成果

    (40件)

すべて 2022 2021 2020 2019

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 5件、 オープンアクセス 3件) 学会発表 (34件) (うち国際学会 6件、 招待講演 5件)

  • [雑誌論文] Impact of film thickness on the external quantum efficiency of bulk photovoltaic effects in Mn-doped BiFeO<sub>3</sub> thin films2021

    • 著者名/発表者名
      Nakashima Seiji、Kato Ren、Fujisawa Hironori
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60 号: SF ページ: SFFB02-SFFB02

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac0ffb

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nonvolatile operation of vertical ferroelectric gate-all-around nanowire transistors2021

    • 著者名/発表者名
      Fujisawa Hironori、Ikeda Kazuma、Nakashima Seiji
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60 号: SF ページ: SFFB10-SFFB10

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac127c

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evidence of Fermi level tuning in multiferroic BiFeO3 thin films by Mn doping for high photovoltage generation2021

    • 著者名/発表者名
      S. Nakashima and H. Fujisawa
    • 雑誌名

      SPring-8 /SACLA Research Frontiers 2020

      巻: - ページ: 62-63

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • オープンアクセス
  • [雑誌論文] Enhancement of photovoltage by electronic structure evolution in multiferroic Mn-doped BiFeO3 thin films2020

    • 著者名/発表者名
      Nakashima Seiji、Higuchi Tohru、Yasui Akira、Kinoshita Toyohiko、Shimizu Masaru、Fujisawa Hironori
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 10 号: 1

    • DOI

      10.1038/s41598-020-71928-5

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Atomic structure stabilization in BiFeO3 thin film by Mn doping2020

    • 著者名/発表者名
      S. Nakashima, Y. Fuchiwaki, N. Happo, K. Kimura, Y. Yamamoto, R. Matsumoto, K. Hayashi, and H. Fujisawa
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 59 号: 1 ページ: 010602-010602

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab579d

    • NAID

      210000157579

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Introduction of charged domain walls into BiFeO3 thin films using a pit-patterned SrTiO3 (001) substrate2019

    • 著者名/発表者名
      S. Nakashima, S. Kimura, Y. Kurokawa, H. Fujisawa, and M. Shimizu
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 58 号: SL ページ: SLLB02-SLLB02

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab3897

    • NAID

      210000156892

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 反応性スパッタリングによる(Hf,Zr)O2薄膜の室温成膜2022

    • 著者名/発表者名
      尾内 惇平、畑 駿亮、大島 元太、藤沢 浩訓、中嶋 誠二
    • 学会等名
      2022年 第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 蛍光X線ホログラフィによるMnドープBiFeO3薄膜の電場印加下における構造解析2022

    • 著者名/発表者名
      加藤 廉、中嶋 誠二、藤沢 浩訓、木村 耕治、八方 直久、アン アルトニケビンロケロ、加藤 達也、山本 裕太、林 好一
    • 学会等名
      2022年 第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 強誘電体BiFeO3薄膜へのMnドープが局所構造および電子状態へ与える影響2021

    • 著者名/発表者名
      中嶋誠二
    • 学会等名
      原子分解能ホログラフィー・不規則系機能性材料合同研究会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] BiFeO3薄膜における膜厚方向のバルク光起電力効果2021

    • 著者名/発表者名
      中嶋誠二,加藤 廉,藤沢浩訓
    • 学会等名
      第38回強誘電体応用会議
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 縦型強誘電体ゲートナノワイヤトランジスタの不揮発性動作 ………………………………………………………………………2021

    • 著者名/発表者名
      藤沢浩訓,池田一真,中嶋誠二
    • 学会等名
      第38回強誘電体応用会議
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Bulk Photovoltaic Effects in BiFeO3 Planar Capacitors2021

    • 著者名/発表者名
      Seiji Nakashima, Ren Kato, Hironoro Fujisawa
    • 学会等名
      2021 Joint ISAF-ISIF-PFM Virtual Conference
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 強誘電体自発分極によるグラフェン/ BiFeO3界面のエネルギーバンド変調2021

    • 著者名/発表者名
      伊藤 達也、中嶋 誠二、藤沢 浩訓、大河内 拓雄
    • 学会等名
      2021年 第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] BFO薄膜の電気的特性に表面処理が及ぼす影響2021

    • 著者名/発表者名
      小山手 厚人、藤沢 浩訓、中嶋 誠二
    • 学会等名
      第31回日本MRS年次大会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] BiFeO?薄膜キャパシタのバルク光起電力効果に及ぼす2021

    • 著者名/発表者名
      加藤 廉、中嶋 誠二、藤沢 浩訓
    • 学会等名
      第31回日本MRS年次大会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] マルチフェロイックBiFeO3系薄膜の半導体物性2021

    • 著者名/発表者名
      中嶋 誠二
    • 学会等名
      日本鉄鋼協会関西支部材料物性談話会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] BiFeO3薄膜キャパシタにおけるバルク光起電力効果2021

    • 著者名/発表者名
      加藤 廉, 中嶋 誠二, 藤沢 浩訓
    • 学会等名
      2021年第68回応用物理学春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 透明酸化物電極上への(Hf,Zr)O2薄膜の作製2021

    • 著者名/発表者名
      尾内 惇平, 藤沢 浩訓, 中嶋 誠二
    • 学会等名
      2021年第68回応用物理学春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] ピットパターンを形成したSrTiO3基板上へのBiFeO3薄膜のMOCVD成長2020

    • 著者名/発表者名
      中嶋 誠二、木村 怜志、岩田 侑樹、 藤沢 浩訓
    • 学会等名
      2020年第81回応用物理学秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] MOCVD法によるSi基板上へのBiFeO3薄膜のMOCVD 成長2020

    • 著者名/発表者名
      小山手 厚人 藤沢 浩訓,中嶋 誠二
    • 学会等名
      2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 強誘電体薄膜におけるバルク光起電力効果2020

    • 著者名/発表者名
      中嶋 誠二,藤沢 浩訓
    • 学会等名
      令和2年電気関係学会関西連合大会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] MnドープBiFeO3薄膜のバルク光起電力効果による高電圧発生条件の検討2020

    • 著者名/発表者名
      林本 竜, 中嶋 誠二, 藤沢 浩訓
    • 学会等名
      MRMフォーラム2020
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] ピットパターン上に作製したBiFeO?薄膜の帯電ドメインウォールの形成,MRMフォーラム2020,2020,2020,0,02020

    • 著者名/発表者名
      木村 伶志, 中嶋 誠二, 藤沢 浩訓
    • 学会等名
      MRMフォーラム2020
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] MnドープBiFeO3薄膜におけるバルク光起電力効果の理論的検討2020

    • 著者名/発表者名
      中嶋 誠二、林本 竜、藤沢 浩訓
    • 学会等名
      2020年第67回応用物理学春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] MnドープBiFeO3薄膜における原子位置の安定性2020

    • 著者名/発表者名
      中嶋 誠二、渕脇 八雲、八方 直久、木村 耕治、林 好一、藤沢 浩訓
    • 学会等名
      2020年第67回応用物理学春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 走査型非線形誘電率顕微鏡による(Hf,Zr)O2薄膜の観察2020

    • 著者名/発表者名
      藤沢 浩訓、中嶋 誠二、右田 真司
    • 学会等名
      2020年第67回応用物理学春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Bulk Photovoltaic Effect in BiFeO3 Thin Films for Optical Actuator Application2019

    • 著者名/発表者名
      S. Nakashima, R. Hayashimoto, T. Higuchi, H. Fujisawa
    • 学会等名
      Collaborative Conference on Materials Science and Technology (CCMST) 2019
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Atomic and Electronic Structures of Single Crystalline Mn-Doped BiFeO3 Thin Films2019

    • 著者名/発表者名
      S. Nakashima, Y. Fuchiwaki, T. Higuchi, Y. Yamamoto, R. Matsumoto, K. Kimura, N. Happo, K. Hayashi, M. Shimizu, and H. Fujisawa
    • 学会等名
      Joint symposium on ISAF-ICE-EMF-IWPM-PFM meeting 2019
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Epitaxial Growth of BiFeO3 Thin Films by MOCVD Using and Fe2O3 Seed Layer2019

    • 著者名/発表者名
      H. Fujisawa, N. Yoshimura, M. Shimizu, and S. Nakashima
    • 学会等名
      Joint symposium on ISAF-ICE-EMF-IWPM-PFM meeting 2019
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Influence of Mn doping into Single crystalline BiFeO3 Thin Films on Their Electronic and Local Atomic Structures2019

    • 著者名/発表者名
      S, Nakashima, Y. Fuchiwaki, T. Higuchi, Y. Yamamoto, R. Matsumoto, K. Kimura, N. Happo, K. Hayashi, M. Shimizu, and H. Fujisawa
    • 学会等名
      14th International Conference on the Structure of Non-Crystalline Materials
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Preparation and Characterization of Graphene/Bi(Fe,Mn)O3 Structure on SrRuO3-buffered SrTiO3 Substrate2019

    • 著者名/発表者名
      S. Nakashima, S. Yamagata, Y. Fuchiwaki, S. Suzuki, and H. Fujisawa
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2019 (MRM2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 蛍光X線ホログラフィを用いたBi(Fe,Mn)O3薄膜の構造ゆらぎ解析2019

    • 著者名/発表者名
      渕脇 八雲、中嶋 誠二、藤澤 浩訓、黒川 裕太、八方 直久、木村 耕治、山本 裕太、松本 亮平、林 好一
    • 学会等名
      2019年第66回応用物理学春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 工学研究科共同利用機器XPSの設備整備と利用者拡大~XPSによるグラフェン/強誘電体界面の電子構造の評価とその制御~2019

    • 著者名/発表者名
      渕脇 八雲、中嶋 誠二
    • 学会等名
      兵庫県立大学知の交流シンポジウム
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Pt及び透明酸化物電極上でのHfO2系薄膜の結晶化2019

    • 著者名/発表者名
      福島 宏昌、藤沢 浩訓、中嶋 誠二、小南 真
    • 学会等名
      2019年第66回応用物理学春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] SrTiO3基板上に形成したピットパターンによる BiFeO3薄膜のドメイン構造制御2019

    • 著者名/発表者名
      中嶋誠二,木村伶志,黒川悠太,清水 勝,藤沢浩訓
    • 学会等名
      第36回強誘電体応用会議
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Pt及びAl-doped ZnO(AZO)上でのHfO2系薄膜の結晶化2019

    • 著者名/発表者名
      福島宏昌,藤沢浩訓,中嶋誠二
    • 学会等名
      平成31年度(2019)応用物理学会関西支部第一回講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 原子間力顕微鏡によるZnOナノワイヤの電流電圧特性の測定2019

    • 著者名/発表者名
      兼松 宏行,藤沢 浩訓,清水 勝,中嶋 誠二
    • 学会等名
      平成31年度(2019)応用物理学会関西支部2019年第1回講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Fe2O3シード層を用いたBiFeO3薄膜のMOCVD成長2019

    • 著者名/発表者名
      今井友哉, 吉村 奈緒, 藤沢 浩訓, 中嶋 誠二
    • 学会等名
      平成31年度(2019)応用物理学会関西支部第1回講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 高温スパッタ法によるエピタキシャル c 軸配向ビスマス層状構造強誘電体薄膜の作製とその諸特性2019

    • 著者名/発表者名
      右田 翼,小舟正文, 伊藤涼雅, 大林大貴, 菊池丈幸, 藤沢浩訓, 中嶋誠二
    • 学会等名
      第36回強誘電体応用会議
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 放射光を用いたMnドープBiFeO3薄膜の電子構造および局所構造解析2019

    • 著者名/発表者名
      中嶋誠二、渕脇八雲、藤沢浩訓、樋口透 八方直久、山本裕太、松本亮平、木村耕治、林好一、保井晃、木下豊彦
    • 学会等名
      東北大学 金属材料研究所 共同利用・共同研究ワークショップ「強誘電体関連物質の機能発現に関する構造科学の新展開」
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 招待講演

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公開日: 2019-04-18   更新日: 2023-01-30  

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