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弾性振動可視化装置の自動化とその応用

研究課題

研究課題/領域番号 19K04527
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
研究機関千葉大学

研究代表者

大森 達也  千葉大学, 大学院工学研究院, 准教授 (60302527)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
研究課題ステータス 完了 (2021年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2021年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2020年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2019年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
キーワード弾性波 / 弾性波動可視化装置 / 高周波デバイス / 非線形応答 / 弾性表面波 / 可視化 / 自動測定 / 動画化
研究開始時の研究の概要

「誰でも」「簡単に」使える事を意図した高機能な高周波弾性振動可視化装置を開発し,今日の無線通信のさらなる高品質化に欠くことのできない,高周波弾性波動素子の高性能化に向けた研究・開発に寄与する強力なツールを提供することを目標とする。具体的には,本研究者が開発してきた超高速弾性振動可視化装置の制御を大幅に見直すとともに,周波数掃引などに伴う各種設定,データ取得・処理を自動で行うことが可能なハードウェア開発,またこれを有効に活かすことの可能な統合ソフトウェアを作成する予定である

研究成果の概要

SAW共振子に代表される高周波弾性波動素子内部を伝搬する弾性波動の様子を可視化できる弾性振動可視化装置の高性能化・多機能化に関する研究を行った。まず,可視化装置に自動焦点合わせ機構を付加することに成功した。これにより周波数スキャンなど長時間に亘る自動測定を安定して可能とした。次に,検波系を見直した。素子駆動,周波数変換用局部信号発生,参照信号発生用の各発振機を,基準信号を共通化した別個のものとすることで,極限まで信号漏洩の影響を除去した高ダイナミックレンジ・ベクトル検波の実現に成功した。最後に,非線形性評価用試料として分数調波を発生できるSAW共振子試料の作製に成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

高周波弾性波動素子は,今日の高度化する無線通信システムを支える高周波アナログ回路の性能を左右するキーデバイスの一つである。本研究成果は,このような弾性波動素子の研究・開発において,他の方法で得難い知見を,容易な操作で収集できる方法を提供できるものである。また,本研究で検討された,高ダイナミックレンジかつ柔軟性の高いベクトル検波方式は,本可視化システム以外にも広範に応用できるものである。今後,各種高周波素子の分数調波調波発生などを含む非線形性測定などで有効に利用されることが期待される。

報告書

(4件)
  • 2021 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 研究成果

    (17件)

すべて 2022 2021 2020 2019

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 6件) 学会発表 (11件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Development of a high-speed, phase-sensitive laser probe system for RF surface/bulk acoustic wave devices with an autofocus function for long-time continuous operation2022

    • 著者名/発表者名
      Kawai Kazuki、Takahashi Hikaru、Omori Tatsuya、Hashimoto Ken-ya
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SG ページ: SG1012-SG1012

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac481f

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A detection electronics enabling ultimate suppression of leakage signals in high-speed and phase-sensitive laser probe for radio frequency surface and bulk acoustic wave devices2021

    • 著者名/発表者名
      Toru Yaginuma, Tatsuya Omori, Ken-ya Hashimoto
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of a high-speed, phase-sensitive laser probe system for RF surface acoustic wave/bulk acoustic wave devices with an absolute vibration amplitude measurement function2021

    • 著者名/発表者名
      Hikaru Takahashi, Tatsuya Omori, Ken-ya Hashimoto
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 60

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Perturbation Analysis of Nonlinearity in Radio-Frequency Bulk Acoustic Wave Resonators Using the Mass-Spring Model2020

    • 著者名/発表者名
      Hashimoto Ken-ya、Li Xinyi、Bao Jingfu、Qiu Luyan、Omori Tatsuya
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control

      巻: 67 号: 7 ページ: 1479-1484

    • DOI

      10.1109/tuffc.2020.2969165

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Full 3D FEM Analysis of Scattering at a Border Between IDT and Reflector in SAW Resonators2019

    • 著者名/発表者名
      Iyama Akihiro、Li Xinyi、Bao Jingfu、Matsuoka Naoto、Omori Tatsuya、Hashimoto Ken-ya
    • 雑誌名

      Proc. 2019 IEEE Ultrasonics symposium

      巻: - ページ: 1235-1238

    • DOI

      10.1109/ultsym.2019.8925826

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Analysis of SAW Scattering With Discontinuous Periodic Gratings Using Travelling Wave Excitation and Hierarchical Cascading Technique2019

    • 著者名/発表者名
      Huang Yulin、Bao Jingfu、Li Xinyi、Zhang Benfeng、Qiu Luyan、Omori Tatsuya、Hashimoto Ken-Ya
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control

      巻: 66 号: 7 ページ: 1255-1263

    • DOI

      10.1109/tuffc.2019.2911133

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 弾性振動可視化システムに対するオートフォーカス機能の実装とその周波数掃引測定への応用2022

    • 著者名/発表者名
      川井一輝,大森達也,橋本研也
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Nonlinear Generation of Subharmonic Signals by Small Particles on RF SAW Resonators2021

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Yamamori, Tatsuya Omori, Ken-Ya Hashimoto
    • 学会等名
      IEEE International Ultrasonics Symposium 2021
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 高周波弾性波素子用レーザプローブ の長時間連続運転を目的とした自動焦点機能の実装2021

    • 著者名/発表者名
      川井一輝,髙橋輝,大森達也,橋本研也
    • 学会等名
      第42回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 弾性波素子における分数調波非線形応答に関する一考察2021

    • 著者名/発表者名
      大森達也
    • 学会等名
      弾性波素子技術コンソーシアム第4回研究会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] SAW共振子における分数調波非線形信号の観測2021

    • 著者名/発表者名
      山守一輝,大森達也,橋本研也
    • 学会等名
      弾性波素子技術コンソーシアム第3回研究会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 弾性振動測定用 Michelson 干渉計の安定化に関する一検討2021

    • 著者名/発表者名
      川井一輝, 大森達也, 橋本研也
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 究極的な漏れ信号抑圧が可能な RF SAW/BAW レーザプローブ用受信回路2020

    • 著者名/発表者名
      栁沼 達, 大森 達也, 橋本 研也
    • 学会等名
      第41回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] RF SAW/BAW デバイス用高速・位相感応型レーザプローブに対する絶対振幅測定機能の実装2020

    • 著者名/発表者名
      髙橋 輝, 大森 達也, 橋本 研也
    • 学会等名
      第41回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 新規弾性振動可視化システムによる絶対振幅測定2020

    • 著者名/発表者名
      小野直大, 井山明洋, 高橋輝, 高橋輝, 大森達也, 橋本研也
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2020
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 絶対振幅測定機能を有する弾性振動可視化システムの構築2020

    • 著者名/発表者名
      高橋輝, 小野直大, 大森達也, 橋本研也
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2020
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 階層的縦続法を用いた有限要素法解析に基づく TC-SAW デバイスの過剰損失機構に関する検討2019

    • 著者名/発表者名
      松岡直人, Li Xinyi, 大森達也, 橋本研也
    • 学会等名
      超音波シンポジウム USE2019
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書

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公開日: 2019-04-18   更新日: 2023-01-30  

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