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相変化材料とVO2の複合化による応力印加VO2結晶転移温度制御

研究課題

研究課題/領域番号 19K05024
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分26020:無機材料および物性関連
研究機関国立研究開発法人産業技術総合研究所

研究代表者

桑原 正史  国立研究開発法人産業技術総合研究所, センシングシステム研究センター, 上級主任研究員 (60356954)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2023-03-31
研究課題ステータス 完了 (2022年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2021年度: 130千円 (直接経費: 100千円、間接経費: 30千円)
2020年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2019年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
キーワード二酸化バナジウム / 相変化材料 / 結晶転移温度 / 相転移 / 二酸化バナジウム(VO2) / Ge2Sb2Te5 / 体積収縮 / 応力印加 / 結晶転移温度制御 / VO2 / GST225 / GeSbTe / 応力 / カルコゲナイド / 酸化バナジウム / 相転移制御
研究開始時の研究の概要

VO2の実用化のため、現在の結晶転移温度(60℃)を生活温度以下にし、赤外遮断ガラス、電気メモリーなどといった応用に結びつける。結晶転移温度には、カルコゲナイドと呼ばれる相変化材料を用いて、その応力を利用してVO2の結晶転移温度を制御するものである。また、応用だけでなく検証転移の確認、そのメカニズムに対して研究を進める。具体的にはラマン散乱法やX線回折法によりVO2の点維持の結晶構造を観察し、応力の定量化や応力と転移の関係を明確にする。また、電気的にカルコゲナイドの相変化を制御することにより、VO2の結晶転移温度制御をはかる。

研究成果の概要

本研究では、VO2の結晶転移温度を相変化材料の相転移で制御することを図った。VO2は応力印加によって、その結晶転移温度が変化することが知られている。一方、相変化材料は相転移(アモルファスから結晶へ)する際、その体積が7%程度収縮することがわかっている。相変化材料の体積収縮により、VO2に応力を印加し、制御しようとする試みである。VO2と代表的な相変化材料であるGe2Sb2Te5(GST)を用いて、GSTの2つの状態アモルファスと結晶)で、光反射強度や電気抵抗の温度依存性を測定した結果、GSTの収縮に対して、VO2の結晶転移温度が低下することがわかった。

研究成果の学術的意義や社会的意義

VO2の結晶転移温度(Vt)は、67℃であり、この変化は揮発性である。VO2を調光窓に応用した場合、67℃という温度では、人の生活温度に比べ高すぎる。また揮発性は、電気メモリーに応用した場合、デバイスを67℃以上に保持しないと、データが消去されてしまう。こういった短所を改良するため、添加物などでVt制御を試みる研究がされてきた。我々は、添加物などでなく、相変化材料の相変化に伴う体積収縮によってVO2に応力印加し、Vt制御が可能なのではと考え研究を進めた。VO2と相変化材料の複合化は、世界で初めての試みであり、実現すれば、赤外線を30-40℃で自動に遮断する窓材などに応用が可能となる。

報告書

(5件)
  • 2022 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2021 実施状況報告書
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2023 2022 2021 2020 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (2件) (うち国際共著 2件、 査読あり 2件) 学会発表 (7件)

  • [国際共同研究] ICN2(その他の国・地域 スペイン)

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [雑誌論文] Approaching ultrathin VO2 films on sapphire (001) substrates by biased reactive sputtering: Characteristic morphology and its effect on the infrared-light switching2021

    • 著者名/発表者名
      Okimura Kunio、Sakai Joe、Kuwahara Masashi、Zaghrioui Mustapha、Uehara Yoichi
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology A

      巻: 39 号: 4 ページ: 043401-043401

    • DOI

      10.1116/6.0001023

    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Stress-Induced In Situ Modification of Transition Temperature in VO2 Films Capped by Chalcogenide2020

    • 著者名/発表者名
      J.Sakai, M. Kuwahara, K. Okimura, and Y. Uehara
    • 雑誌名

      Materials

      巻: 13 号: 23 ページ: 5541-5541

    • DOI

      10.3390/ma13235541

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [学会発表] GST/VO2積層構造においてGSTの結晶化がVO2の転移特性に及ぼす影響(II)-TiO2 (001)基板とAl2O3 (001)基板の比較-2023

    • 著者名/発表者名
      大貫卓斗、沖村邦夫、村岡祐治、坂井穣、桑原正史、
    • 学会等名
      2023年 第70回応用物理学会 春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Local phase transition electrically or mechanically induced by a stylus2022

    • 著者名/発表者名
      J.Sakai, M.Kuwahara, T. Ohnuki,K.Okimura,S.Morita,and S.Katano
    • 学会等名
      令和3年度東北大電気通信研究所共同プロジェクト研究発表会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] GeSbTe膜の結晶化によるVO2薄膜のIMT温度制御(シフト)に関する研究2022

    • 著者名/発表者名
      大貫卓斗、坂井穣、桑原正史、沖村邦夫
    • 学会等名
      2022年(令和4年)秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Local phase transition electrically or mechanically induced by a stylus2021

    • 著者名/発表者名
      坂井 穣、桑原正史、大貫卓斗、沖村邦雄、森田爽、片野論
    • 学会等名
      令和3年度東北大電気通信研究所共同プロジェクト研究発表会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 放電を用いたGe2Sb2Te5薄膜の相変化現象2021

    • 著者名/発表者名
      森田 爽、坂井 穣、桑原 正史、片野論
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] Phase transition-induced structural change of Ge2Sb2Te5 surface2021

    • 著者名/発表者名
      森田 爽、坂井 穣、桑原 正史、片野論
    • 学会等名
      29th International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM29)
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
  • [学会発表] 歪みによるV02薄膜の相転移温度の不揮発的変調2020

    • 著者名/発表者名
      坂井譲、桑原正史、高田元輝、沖村邦雄、上原洋一
    • 学会等名
      2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書

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公開日: 2019-04-18   更新日: 2024-01-30  

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