• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

セキュアIoTデバイスに向けたMEMS自壊設計技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 19K05232
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分28050:ナノマイクロシステム関連
研究機関立命館大学 (2020-2021)
東京工業大学 (2019)

研究代表者

山根 大輔  立命館大学, 理工学部, 准教授 (70634096)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2022-03-31
研究課題ステータス 完了 (2021年度)
配分額 *注記
4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2021年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円)
2020年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2019年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
キーワードMEMS / 合金 / 可動配線 / 電解めっき / IoT / 自壊 / セキュア / 金合金 / MEMS / 疲労破壊 / 機械特性 / セキュアIoTデバイス / セキュリティ / ハードウェア
研究開始時の研究の概要

本研究では,微小可動配線の振動疲労破壊モデルを構築し,マイクロ機械構造と電気回路の設計技術を用いて,小型IoT(Internet of Things)デバイスの自壊時限(使用寿命)をハードウェア構造のみ(破壊命令不要)で決定可能とします。例えば,環境埋込型IoTセンサの大量利用が予想される将来社会において,小型IoTデバイスのメンテナンスフリーかつ回収不要な自律的セキュリティ対策が必要です。しかしながら,現在では,ソフトウェアのセキュリティ強化手法が主に検討されています。そのため,ハードウェアの自律的なセキュリティ対策を実現する本研究手法は国内外で実施例がなく,世界に先駆けた研究です。

研究成果の概要

・電解めっきを用いたMEMS(微小電気機械システム)技術により、所望のNi系合金マイクロ配線を試作した。また、自壊素子に向けた合金マイクロ配線の可動構造化のため、犠牲層除去のためのドライエッチングの条件を見い出した。
・MEMS自壊素子の等価回路モデル構築のため、SPICE系回路シミュレータ内に可動電極の等価回路モデルを作成した。
・本研究で得た知見をもとに、めっき金属製マイクロ可動構造を用いた新たなデバイスとして、荷電処理不要の静電型MEMS環境振動発電素子とその等価回路モデルを開発した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

学術的意義:本課題では、MEMS自壊素子について世界に先駆けて研究を着手した。研究期間内には、デバイス試作・設計環境構築、および、MEMS自壊素子に関する特許申請も行い、今後の研究展開の基盤技術を構築した。また、水平展開として、これまで未到であったMEMS環境振動発電素子と電子回路をワンチップ化の見通しを得た。
社会的意義:電解めっきを用いたMEMSデバイスと電子回路の集積化について、センサやアクチュエータに加えて発電素子も集積できる新たな応用技術の可能性を示すことができた。これは、小型センサの数が莫大に増加している昨今、小型無線IoTセンサの電源供給問題の解決に向けた技術進歩である。

報告書

(4件)
  • 2021 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 研究成果

    (67件)

すべて 2022 2021 2020 2019 その他

すべて 雑誌論文 (18件) (うち国際共著 1件、 査読あり 16件、 オープンアクセス 6件) 学会発表 (44件) (うち国際学会 25件、 招待講演 2件) 備考 (3件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] IoT電源への期待 環境振動発電素子の小型化・高出力化とEMC2022

    • 著者名/発表者名
      山根大輔,田中有弥
    • 雑誌名

      科学情報出版 月刊EMC

      巻: -

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [雑誌論文] 荷電処理不要の静電型MEMS振動発電素子2022

    • 著者名/発表者名
      山根大輔,田中有弥
    • 雑誌名

      日本工業出版 クリーンエネルギー

      巻: 31 ページ: 35-40

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [雑誌論文] Effect of current density on micro-mechanical property of electrodeposited gold film evaluated by micro-compression2022

    • 著者名/発表者名
      Omura Taro、Chen Chun-Yi、Chang Tso-Fu Mark、Yamane Daisuke、Ito Hiroyuki、Machida Katsuyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
    • 雑誌名

      Surface and Coatings Technology

      巻: 436 ページ: 128315-128315

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2022.128315

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Bandwidth Broadening of MEMS Vibration Energy Harvesters by Voltage-Boost Rectifier Circuit2022

    • 著者名/発表者名
      Yukiya Tohyama, Hiroaki Honma, Hiroshi Toshiyoshi, and Daisuke Yamane
    • 雑誌名

      Sensors and Materials

      巻: -

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] 低閾値整流昇圧回路を用いた非定常振動下における振動発電2021

    • 著者名/発表者名
      Tohyama Yukiya、Honma Hiroaki、Sekiya Hidehiko、Toshiyoshi Hiroshi、Yamane Daisuke
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 141 号: 7 ページ: 228-232

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.141.228

    • NAID

      130008060170

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 年月日
      2021-07-01
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] MEMS post-processed self-assembled electret for vibratory energy harvesters2021

    • 著者名/発表者名
      Yamane Daisuke、Kayaguchi Hideyuki、Kawashima Kosuke、Ishii Hisao、Tanaka Yuya
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 119 号: 25 ページ: 254102-254102

    • DOI

      10.1063/5.0072596

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effective Young’s Modulus of Complex Three Dimensional Multilayered Ti/Au Micro-Cantilevers Fabricated by Electrodeposition and the Temperature Dependency2021

    • 著者名/発表者名
      Watanabe Hitomi、Chang Tso-Fu Mark、Schneider Michael、Schmid Ulrich、Chen Chun-Yi、Iida Shinichi、Yamane Daisuke、Ito Hiroyuki、Machida Katsuyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
    • 雑誌名

      Electrochem

      巻: 2 号: 2 ページ: 216-223

    • DOI

      10.3390/electrochem2020015

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Electrodeposition of Ni-Co Alloys and Their Mechanical Properties by Micro-Vickers Hardness Test2020

    • 著者名/発表者名
      Jiang Yiming、Chen Chun-Yi、Chang Tso-Fu Mark、Luo Xun、Yamane Daisuke、Sone Masato
    • 雑誌名

      Electrochem

      巻: 2 号: 1 ページ: 1-9

    • DOI

      10.3390/electrochem2010001

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Co-Electrodeposition of Au?TiO2 Nanocomposite and the Micro-Mechanical Properties2020

    • 著者名/発表者名
      Chien Yu-An、Chang Tso-Fu Mark、Chen Chun-Yi、Yamane Daisuke、Ito Hiroyuki、Machida Katsuyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
    • 雑誌名

      Electrochem

      巻: 1 号: 4 ページ: 388-393

    • DOI

      10.3390/electrochem1040025

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Sample geometry effect on mechanical property of gold micro-cantilevers by micro-bending test2020

    • 著者名/発表者名
      Suzuki Kosuke、Chang Tso-Fu Mark、Hashigata Ken、Asano Keisuke、Chen Chun-Yi、Nagoshi Takashi、Yamane Daisuke、Ito Hiroyuki、Machida Katsuyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
    • 雑誌名

      MRS Communications

      巻: 10 号: 3 ページ: 434-438

    • DOI

      10.1557/mrc.2020.38

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] (Invited) CMOS-MEMS Based Microgravity Sensor and Its Application2020

    • 著者名/発表者名
      Masu Kazuya、Machida Katsuyuki、Yamane Daisuke、Ito Hiroyuki、Ishihara Noboru、Chang Tso-Fu Mark、Sone Masato、Shigeyama Ryo、Ogata Taiki、Miyake Yoshihiro
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 97 号: 5 ページ: 91-108

    • DOI

      10.1149/09705.0091ecst

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Alloy Electroplating and Young’s Modulus Characterization of AuCu Alloy Microcantilevers2020

    • 著者名/発表者名
      Nitta Kyotaro、Chang Tso-Fu Mark、Tang Haochun、Chen Chun-Yi、Iida Shinichi、Yamane Daisuke、Machida Katsuyuki、Ito Hiroyuki、Masu Kazuya、Sone Masato
    • 雑誌名

      Journal of The Electrochemical Society

      巻: 167 号: 8 ページ: 082503-082503

    • DOI

      10.1149/1945-7111/ab8805

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A MEMS Accelerometer for Sub-mG Sensing2019

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu
    • 雑誌名

      Sensors and Materials

      巻: 31 号: 9 ページ: 2883

    • DOI

      10.18494/SAM.2019.2122

    • ISSN
      0914-4935, 2435-0869
    • 年月日
      2019-09-20
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Nanoscale Hierarchical Structure of Twins in Nanograins Embedded with Twins and the Strengthening Effect2019

    • 著者名/発表者名
      Haochun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Yaw-Wang Chai, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 雑誌名

      Metals

      巻: 9 号: 9 ページ: 987-987

    • DOI

      10.3390/met9090987

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] High Strength Electrodeposited Au-Cu Alloys Evaluated by Bending Test toward Movable Micro-Components2019

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Asano, Tso-Fu Mark Chang, Haochun Tang, Takashi Nagoshi, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 雑誌名

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      巻: 8 号: 8 ページ: 412-415

    • DOI

      10.1149/2.0151908jss

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Cu-Alloying Effect on Structure Stability of Electrodeposited Gold-Based Micro-Cantilever Evaluated by Long-Term Vibration Test2019

    • 著者名/発表者名
      Kyotaro Nitta, Tso-Fu Mark Chang, Koichiro Tachibana, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Shinichi Iida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 215 ページ: 111001-111001

    • DOI

      10.1016/j.mee.2019.111001

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Five-fold sensitivity enhancement in a capacitive tactile sensor by reducing material and structural rigidity2019

    • 著者名/発表者名
      Yu-Hong Gao, Yu-Hao Jen, Rongshun Chen, Daisuke Yamane, Cheng-Yao Lo
    • 雑誌名

      Sensors & Actuators: A. Physical

      巻: 293 ページ: 167-177

    • DOI

      10.1016/j.sna.2019.04.043

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Strengthening of Micro-Cantilever by Au/Ti Bi-Layered Structure Evaluated by Micro-Bending Test toward MEMS Devices2019

    • 著者名/発表者名
      Ken Hashigata, Haochun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 213 ページ: 13-17

    • DOI

      10.1016/j.mee.2019.04.008

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 自己組織化エレクトレットを用いたMEMS振動発電素子の検討2022

    • 著者名/発表者名
      杉本 澪貴, 川島 康介, 栢口 英之, 石井 久夫, 田中 有弥, 山根 大輔
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 電気二重層エレクトレットを用いた非接触型面外振動発電の検討2022

    • 著者名/発表者名
      野田 圭吾, 田村 健太郎, 三輪 一元, 小野 新平, 山根 大輔
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] MEMSデバイスへの応用に向けた金ニッケル合金の微小機械的特性の評価2022

    • 著者名/発表者名
      秋山 拓海,簡 佑安,陳 君怡,Tso Fu Mark Chang,山根 大輔,伊藤 浩之,町田 克之,三宅 美博,曽根 正人
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 金めっき材料における機械的特性の電流密度依存性2022

    • 著者名/発表者名
      大村 太郎,Chun-Yi Chen,Tso Fu Mark Chang,山根 大輔,伊藤 浩之,町田 克之,三宅 美博,曽根 正人
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 電気回路シミュレータを用いたSAE-MEMSエナジーハーベスタ解析環境の検討2022

    • 著者名/発表者名
      永縄 卓大,川島 康介,栢口 英之,石井 久夫,田中 有弥,山根 大輔
    • 学会等名
      応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第12回集積化MEMS技術研究ワークショップ
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Demonstration of Non-Contact Type Vibrational Energy Harvester with Electric Double Layer Electrets2021

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Tamura, Keigo Nota, Kazumoto Miwa, Shimpei Ono, and Daisuke Yamane
    • 学会等名
      The 20th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Micro-Mechanical Characterization of Electrodeposited Ni-Co Alloys toward Design of MEMS Components2021

    • 著者名/発表者名
      Yiming Jiang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Xun Luo, Daisuke Yamane, Masanori Mizoguchi, Osamu Kudo, Ryu Maeda, and Masato Sone
    • 学会等名
      Micro and Nano Engineering Conference 2021 (MNE2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Micro-Mechanical Property Evaluation of Gold-Nickel Alloys toward Design of MEMS Components2021

    • 著者名/発表者名
      Takumi Akiyama, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone
    • 学会等名
      Micro and Nano Engineering Conference 2021 (MNE2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effect of Current Density on Mechanical Properties of Electrodeposited Gold Evaluated by Micro-Compression Test2021

    • 著者名/発表者名
      Taro Omura, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone
    • 学会等名
      Micro and Nano Engineering Conference 2021 (MNE2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Mechanical Property of Gold Micro-Cantilevers for Application in Microelectronics and the Sample Geometry Effect2021

    • 著者名/発表者名
      Kazuya Fujita, Kosuke Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, and Masato Sone
    • 学会等名
      Micro and Nano Engineering Conference 2021 (MNE2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 金単結晶微小カンチレバーの機械的特性とサンプル形状効果2021

    • 著者名/発表者名
      藤田 一矢, 鈴木 康介, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 面内振動型Au-MEMS素子のばね構造の検討2021

    • 著者名/発表者名
      端山 航平, 川島 康介, 澤田 宗興, 田村 健太郎, 山根 大輔
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] 集積化MEMS振動発電素子に関する研究2021

    • 著者名/発表者名
      山根 大輔
    • 学会等名
      電気学会 センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 医用MEMSデバイス応用に向けた 微小貴金属めっき材料の機械的特性評価2021

    • 著者名/発表者名
      曽根 正人, Tso-Fu Mark Chang, 名越貴志, 町田 克之, 山根 大輔, 伊藤浩之, 益 一哉
    • 学会等名
      日本金属学会 2021年春季講演大会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] A 100-nG/√Hz-Level Single Au Proof-Mass 3-axis MEMS Accelerometer with Pillar-Shaped Electrodes2020

    • 著者名/発表者名
      Takashi Ichikawa, Ken Atsumi, Tatsuya Koga, Daisuke Yamane, Shin-ichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
    • 学会等名
      Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS(DTIP2020)
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electrodeposition of Au-Cu Alloys and the Micro-Mechanical Properties2020

    • 著者名/発表者名
      Tso-Fu Mark Chang, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      237th ECS Meeting with the 18th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS 2020)
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 外付エレクトレット型MEMSエナジーハーベスタの小型化の検討2020

    • 著者名/発表者名
      川島 康介, 澤田 宗興, 田村 健太郎, 端山 航平, 山根 大輔
    • 学会等名
      令和2年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [学会発表] Effects of Sample Geometry and Grain Size on Mechanical Property of Electrodeposited Gold Evaluated By Micro-Bending Test2020

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Suzuki, Yu-An Chien, Ken Hashigata, Keisuke Asano, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu and Masato Sone
    • 学会等名
      PRiME 2020 (ECS, ECSJ, & KECS Joint Meeting)
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] A Gold Proof-Mass Differential MEMS Accelerometer for Micro-G Level Sensing2020

    • 著者名/発表者名
      Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, and Kazuya Masu
    • 学会等名
      The 7th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems (INERTIAL 2020)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electrodeposited High Strength Au-TiO2 Nano Composite Film for MEMS Devices2020

    • 著者名/発表者名
      Yu-an Chien, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Au-Pd合金膜の電気メッキとその機械的特性2020

    • 著者名/発表者名
      入谷 友樹, 新田京太朗, Yu-An Chien, Tso-Fu Mark Chang, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討2020

    • 著者名/発表者名
      渥美 賢, 古賀 達也, 市川 崇志, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] ピラー型電極による単一Au錘3軸MEMS加速度センサの感度均一化の検討2020

    • 著者名/発表者名
      市川 崇志, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Micro-Mechanical Properties of Electrodeposited Au-TiO2 Composite Film2019

    • 著者名/発表者名
      Yu-An Chien, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      MRS Fall Meeting 2019
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electrodepostion of Au-Cu Alloy Micro-Cantilevers and the Young’s modulus by Resonance Frequency Method2019

    • 著者名/発表者名
      Kyotaro Nitta, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      MRS Fall Meeting 2019
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electroplating of Au-Pd Alloy Films and the Mechanical Properties2019

    • 著者名/発表者名
      Tomoki Iriya, Kyotaro Nitta, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      International Thin Films Conference (TACT 2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High-Sensitivity Capacitive Tactile Sensor with Vertically Stacked Hollow Structures2019

    • 著者名/発表者名
      Cheng-Yao Lo, Daisuke Yamane
    • 学会等名
      The 4th International Symposium on Biomedical Engineering
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Extensive Sensitivity Enhancement in Stacked Capacitive Tactile Sensors2019

    • 著者名/発表者名
      Yu-Hao Jen, Chia-Tso Mo, Kean Aw, Daisuke Yamane, Cheng-Yao Lo
    • 学会等名
      IEEE Sensors 2019
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of Au-Cu Alloy/Ti Layered Micro-Cantilevers and the Long-Term Structure Stability2019

    • 著者名/発表者名
      Kyotaro Nitta, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      IEEE Sensors 2019
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Shock Characteristics of MEMS Inertial Sensors Developed by Ti/Au Multi-Layer Metal Technology2019

    • 著者名/発表者名
      Takashi Ichikawa, Tatsuya Koga, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      32nd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High-Sensitivity Inertial Sensor Module to Measure Hidden Micro Muscular Sounds2019

    • 著者名/発表者名
      Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Naoto Tanaka, Taiki Ogata, Hiroki Ora, Daisuke Yamane, Noboru Ishihara, Hiroyuki Ito, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Yoshihiro Miyake, Kazuya Masu
    • 学会等名
      IEEE Biomedical Circuits and Systems Conference 2019 (BioCAS2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sample Geometry Effect on Mechanical Property of Electrodeposited Gold Evaluated by Micro-Bending Test2019

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Suzuki, Ken Hashigata, Keisuke Asano, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      45th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication and Evaluation of Au-Cu Alloy 3D Structures toward MEMS Movable Components2019

    • 著者名/発表者名
      Kyotaro Nitta, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      45th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effects of Fixed End Structure on Temperature Dependence of Structure Stability of Ti/Au Micro-Cantilever toward MEMS Applications2019

    • 著者名/発表者名
      Hitomi Watanabe, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Shinichi Iida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      45th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electrodeposition of TiO2 Nanoparticle Reinforced High Strength Au Film for MEMS Applications2019

    • 著者名/発表者名
      Yu-An Chien, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      45th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Mechanical properties of gold micro-cantilevers with different thickness evaluated by micro-bending test2019

    • 著者名/発表者名
      Kosuke Suzuki, Ken Hashigata, Keisuke Asano, Chun-Yi Chen, Takanshi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      The 2nd International Conference on Material Strength and Applied Mechanics (MSAM 2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] High Structure Stability Ti/Au Multiple Layer Micro-Cantilever and the Temperature Dependence2019

    • 著者名/発表者名
      Hitomi Watanabe, Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Takanshi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone
    • 学会等名
      The 2nd International Conference on Material Strength and Applied Mechanics (MSAM 2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Mechanical properties of electrodeposited gold-copper alloy by micro-compression test2019

    • 著者名/発表者名
      Masato Sone, Hao-Chun Tang, Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Takanshi Nagoshi, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      The 2nd International Conference on Material Strength and Applied Mechanics (MSAM 2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Pillar-Shaped Electrodes for 3-axis Gold-Proof-Mass MEMS Capacitive Accelerometers2019

    • 著者名/発表者名
      Ken Atsumi, Shota Otobe, Tatsuya Koga, Takashi Ichikawa, Daisuke Yamane, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu
    • 学会等名
      Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS(DTIP2019)
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 微弱筋音計測に向けた高分解能MEMS慣性センサモジュールの検討2019

    • 著者名/発表者名
      古賀 達也, 市川 崇志, 田中 直登, 緒方 大樹, 大良 宏樹, 山根 大輔, 石原 昇, 伊藤 浩之, 曽根 正人, 町田 克之, 三宅 美博, 益 一哉
    • 学会等名
      第11回集積化MEMSシンポジウム
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 積層メタル技術で作製したMEMS加速度センサの衝撃特性評価2019

    • 著者名/発表者名
      市川 崇志, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 石原 昇, 伊藤 浩之, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第11回集積化MEMSシンポジウム
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 3Dピラー型Au錘MEMS加速度センサ2019

    • 著者名/発表者名
      市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] Au錘3軸MEMS加速度センサのためのSCD電極の検討 (2)2019

    • 著者名/発表者名
      市川 崇志, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 曽根 正人, 益 一哉
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [学会発表] 3軸Au錘MEMS加速度センサにおける検出電極構造の検討2019

    • 著者名/発表者名
      市川 崇志, 新島 宏文, 古賀 達也, 山根 大輔, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉
    • 学会等名
      令和元年電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [備考] 研究室HP

    • URL

      https://www.yamane.se.ritsumei.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [備考] 立命館大学 研究者学術情報DB

    • URL

      https://research-db.ritsumei.ac.jp/rithp/k03/resid/S001779

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [備考] Smart Micro Mechatro Systems Lab | 立命館大学 山根研究室

    • URL

      http://www.yamane.se.ritsumei.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [産業財産権] 微細素子の製造方法及び微細素子2020

    • 発明者名
      山根 大輔,田中 有弥
    • 権利者名
      山根 大輔,田中 有弥
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2020-132954
    • 出願年月日
      2020
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
  • [産業財産権] 自壊素子が組み込まれたデバイス及び自壊素子の設計方法2020

    • 発明者名
      山根 大輔
    • 権利者名
      山根 大輔
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2020-189992
    • 出願年月日
      2020
    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2019-04-18   更新日: 2023-01-30  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi