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小型イオンマイクロビーム装置における超高電場加速レンズに関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 19K12635
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分80040:量子ビーム科学関連
研究機関国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構

研究代表者

大久保 猛  国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 高崎量子応用研究所 量子機能創製研究センター, 主幹研究員 (40446456)

研究期間 (年度) 2019-04-01 – 2024-03-31
研究課題ステータス 完了 (2023年度)
配分額 *注記
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2021年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2020年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2019年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
キーワードナノビーム / マイクロビーム / イオン配列 / 微細加工 / 小型装置
研究開始時の研究の概要

小型イオンマイクロビーム装置は、たくさんのイオンの粒を髪の毛の太さの100分の1以下という極細のビームとして発射することができる。このビームは材料を削ったり固めたりすることができるので、例えばパソコンやスマホの通信を向上させるために重要なとても小さくて細かい部品を作ることができる。まだ試作品なので、この研究でさらに開発を進め、近い将来の実用化を目指したい。

研究成果の概要

イオンマイクロビームは、量子コンピュータに必要な量子ビットを超精密に配列したり、光通信での新たな光学素子を微細加工で製作したりできる技術である。研究の全体構想は、ビームの加速・集束を静電場で同時に行う加速レンズを利用した超高精度イオン配列・微細加工装置を開発して、どこまでビーム径を縮小できるのかを追究することである。
本研究では、QST高崎研量子機能創製研究センターのレーザー冷却イオンプロジェクトで目指しているレーザー冷却単一イオン源に適応できるレンズ系開発を進め、縮小率0.006の2段加速レンズを用いて4.5nmの精度で照射できるレンズ系を設計することに成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究によって、QST高崎研独自の技術である加速レンズとイオン源を組み合わせた超高精度イオン配列・微細加工装置の空間分解能が数ナノメートル程度になる見通しが得られた。今後、更なる開発によってこの装置を実現することにより、現在は限られた研究機関等でしか行われていない量子ビット配列等の研究が全国の大学の実験室や工場等に広がっていくことが予想され、我が国の量子コンピュータや光通信の分野における競争力増大に資すると考えられる。

報告書

(6件)
  • 2023 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2022 実施状況報告書
  • 2021 実施状況報告書
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて 2023 2021 2020

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (2件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Design of an apertureless two-stage acceleration lens for a single-ion implantation system2023

    • 著者名/発表者名
      Ishii Y.、Ohkubo T.、Miyawaki N.、Yuri Y.、Onoda S.、Narumi K.、Saitoh Y.
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

      巻: 541 ページ: 200-204

    • DOI

      10.1016/j.nimb.2023.05.021

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Preliminary study: Measurement of ion beam energy spreads produced by a Penning ionization gauge-type ion source using electromagnets for a mega-electron volt compact ion microbeam system2020

    • 著者名/発表者名
      Ishii Y.、Ohkubo T.、Kashiwagi H.、Miyake Y.
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 91 号: 4 ページ: 043304-043304

    • DOI

      10.1063/1.5132301

    • 関連する報告書
      2020 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Analysis of Ion Beam Generated by a Duoplasmatron-type Ion Source for a Compact 100 keV Ion Microbeam System2021

    • 著者名/発表者名
      Yasuyuki Ishii and Takeru Ohkubo
    • 学会等名
      IBA/PIXE & SIMS
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 小型イオンマイクロビーム装置用のデュオプラズマトロン型イオン源のイオン種分析2021

    • 著者名/発表者名
      石井 保行、大久保 猛
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実施状況報告書

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公開日: 2019-04-18   更新日: 2025-01-30  

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