| 研究課題/領域番号 |
19K21913
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| 研究種目 |
挑戦的研究(萌芽)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 審査区分 |
中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
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| 研究機関 | 東京大学 |
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研究代表者 |
高橋 哲 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (30283724)
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| 研究分担者 |
道畑 正岐 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (70588855)
西川 正俊 法政大学, 生命科学部, 准教授 (30444516)
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| 研究期間 (年度) |
2019-06-28 – 2022-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2021年度)
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| 配分額 *注記 |
6,370千円 (直接経費: 4,900千円、間接経費: 1,470千円)
2020年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2019年度: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
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| キーワード | ナノ・マイクロ加工 / レーザートラップ / 空間局在光場制御 / 放射圧並列制御 / 空間局在光場 / 並列制御 / 光トラップ / 放射圧制御 / 光触媒ナノ粒子 / マイクロレジン / ナノ除去加工 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
光エネルギーが本質的に有している，優れた空間エネルギー分布のリモート制御性，並列制御性，高速制御性に，光触媒ナノ粒子を先端チップとする新しい概念のフォトン励起型マイクロ加工工具を融合させ，「究極の微小加工エネルギー媒体」といえる電子を，三次元空間内の所望位置に，直接作用させることが可能な空間光場制御・フォトン励起型マイクロ加工法の有効性について理論・実験の両面から検討する。
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| 研究成果の概要 |
レジスト微細形状やソフトマテリアルに対して10nmスケールの微小加工分解能での除去修正加工が実現できれば，マイクロマシニング分野に大きな波及効果が期待できる．本研究ではそのような新しい加工法の実現を目指して，空間光場制御・フォトン励起型マイクロ加工ツールの作成方法を検討した．新しくマイクロレジンを光放射圧で制御することで，マイクロ加工ツールのコアユニットが作成可能であることがわかった．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究の実現により，例えば，微細レジスト構造の修正加工が可能となる．これにより，エラーがあった形状を捨てることなく，活用できたり，あるいは通常のプロセスでは加工できないような，複雑三次元形状の創成が可能となり，マイクロ生産工学として意義深い
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