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格子欠陥レベルで拡散経路を壅蔽する新奇酸化抑制機構の解明

研究課題

研究課題/領域番号 19K22035
研究種目

挑戦的研究(萌芽)

配分区分基金
審査区分 中区分26:材料工学およびその関連分野
研究機関北海道大学

研究代表者

柴山 環樹  北海道大学, 工学研究院, 教授 (10241564)

研究分担者 中川 祐貴  北海道大学, 工学研究院, 助教 (00787153)
研究期間 (年度) 2019-06-28 – 2022-03-31
研究課題ステータス 完了 (2021年度)
配分額 *注記
6,370千円 (直接経費: 4,900千円、間接経費: 1,470千円)
2021年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2020年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2019年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
キーワードHeイオン / 銅 / 照射効果 / 酸化 / 拡散 / イオン照射 / 水中結晶光合成 / 酸化銅 / 低温酸化 / ナノ結晶 / 残留弾性歪 / 格子欠陥
研究開始時の研究の概要

Heイオンを純銅に照射すると表面に酸化物結晶や酸化皮膜の形成が抑制する現象を見出した。もし、この現象が銅の格子間位置や粒界にHe原子が存在することによって酸素の拡散経路を塞ぎ酸化を抑制しているとすれば、プリント基板や端子として現在使用している銅の酸化抑制に画期的な腐食防食法となり電子部品の長寿命化や環境低負荷に貢献できると考えられる。そこで、本研究では、純銅にHeイオン照射後酸化させ、Heイオン照射量による銅表面や内部の微細組織や微細構造の変化について先端電子顕微鏡法によるナノ構造解析と複合量子ビーム超高圧電子顕微鏡を用いたその場観察を試み、Heイオン照射による酸化抑制機構について解明する。

研究成果の概要

Heイオンを純銅に照射すると表面に酸化物結晶や酸化皮膜の形成が抑制する現象を見出した。そこで、Heイオンを照射した純銅を大気中で低温酸化あるいは室温のNaOH水溶液中に浸漬し酸化させ、Heイオン照射量による銅表面や内部の微細組織や微細構造の変化について、収差補正走査透過型電子顕微鏡(Cs-STEM)などを使用して酸素の存在状態を原子レベルで観察・分析した。その結果、He格子間原子や照射欠陥が酸素の拡散バリア層となると共にHeイオン照射中に、表面に形成した炭素を主体とする皮膜により表面の酸化を抑制することが明らかになった。

研究成果の学術的意義や社会的意義

電気伝導に優れるが酸化しやすい純銅にHeイオンを照射し、格子間位置や粒界にHe原子が存在することによって酸素の拡散経路を塞ぎ酸化を抑制出来るか検討した。その結果、He格子間原子や照射欠陥が酸素の拡散バリア層となると共にHeイオン照射中に、表面に形成した炭素を主体とする皮膜により表面の酸化を抑制することが初めて明らかになった。薬剤を使用しないため電子部品の長寿命化や環境低負荷に貢献できると考えられる。

報告書

(4件)
  • 2021 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2020 実施状況報告書
  • 2019 実施状況報告書
  • 研究成果

    (5件)

すべて 2022 2021 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (3件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (1件) (うち国際学会 1件、 招待講演 1件)

  • [国際共同研究] Univ. of Science and Technology Beijing(中国)

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [雑誌論文] An investigation of surface contamination introduced during He+ implantation and subsequent effects on the thermal oxidation of Cu2022

    • 著者名/発表者名
      Yang Subing、Nakagawa Yuki、Shibayama Tamaki
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 579 ページ: 152163-152163

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2021.152163

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Tailored copper oxidation in alkaline aqueous solution after helium cation implantation2022

    • 著者名/発表者名
      Yang Subing、Nakagawa Yuki、Shibayama Tamaki
    • 雑誌名

      Applied Surface Science

      巻: 591 ページ: 153087-153087

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2022.153087

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Anisotropic defect distribution in He+-irradiated 4H-SiC: effect of stress on defect distribution2021

    • 著者名/発表者名
      Subing Yang, Yuki Nakagawa, Minako Kondo and Tamaki Shibayama
    • 雑誌名

      Acta Materialia

      巻: - ページ: 116845-116845

    • DOI

      10.1016/j.actamat.2021.116845

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書 2020 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Non-destructive evaluation of the strain distribution in ion irradiated wide-gap semiconductors for MOSFETs2022

    • 著者名/発表者名
      S. Yang, Y. Nakagawa and T. Shibayama
    • 学会等名
      13th Polish-Japanese Joint Seminar on Micro and Nano Analysis
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演

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公開日: 2019-07-04   更新日: 2023-12-25  

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