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単結晶酸化バナジウム超薄膜における超高速プロトニクスデバイスの創製

研究課題

研究課題/領域番号 19K22129
研究種目

挑戦的研究(萌芽)

配分区分基金
審査区分 中区分29:応用物理物性およびその関連分野
研究機関大阪大学

研究代表者

田中 秀和  大阪大学, 産業科学研究所, 教授 (80294130)

研究分担者 佐藤 和則  大阪大学, 工学研究科, 准教授 (60379097)
研究期間 (年度) 2019-06-28 – 2021-03-31
研究課題ステータス 完了 (2020年度)
配分額 *注記
6,500千円 (直接経費: 5,000千円、間接経費: 1,500千円)
2020年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2019年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
キーワードプロトン / エピタキシャル薄膜 / ナノパターニング / 相変化 / 第一原理計算 / 単結晶薄膜 / 酸化バナジウム / 金属-絶縁体相転移
研究開始時の研究の概要

電子相転移物質である酸化バナジウム(VO2)高品質エピタキシャル超薄膜において、プロトンドーピングにより数10マイクロメートル以上の長距離にわたって急激な抵抗上昇を伴う絶縁体化現象を見出した。この超薄膜と独自の酸化物ナノ構造化技術を用い、省電力で非常に巨大な電気物性および光学特性を制御しうる【酸化物プロトニクス】デバイスを創製する。

研究成果の概要

究極的に小さいイオンであるプロトンに着目し、その強力な還元能と高速拡散に基づく新原理により、巨大動的物性制御の実現を目指し、パルスレーザ蒸着法により格子整合の良いTiO2(001)基板上において、VO2エピタキシャル単結晶超薄膜を作製し、通常バルク・薄膜とは異なる、数十マイクロメートルの広い領域において、4桁におよぶ抵抗の上昇を見出した。類似の水素誘起高抵抗化現象を示すSmNiO3薄膜において、Pt、Au/Tiの非対称二端子電極パターンを作製し、Pt触媒プロトンドーピング後に、大気中において電圧印加を行うことにより、薄膜試料中のプロトンを電気的に拡散させ、メモリ効果を観測した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

水素イオンを効率的に利用し、機能材料中の電子、スピン、軌道、結晶構造を効果的に制御することにより、機能性酸化物の多様な相が制御でき、量子材料の新規創発機能デザインが可能となる。更に、その動的制御法の確立により、通常のエレクトロニクスでは困難な巨大応答エレクトニクス、エネルギーデバイス適用が可能となる。通常の電子制御では不可能な巨大抵抗変調を示す新規エレクトロニクスなどの従来不可能であった広大な波及効果が期待される。その将来応用は、メモリ、センサ、機械学習デバイスなど、その波及効果は非常に大きい。

報告書

(3件)
  • 2020 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2019 実施状況報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて 2021 2020 2019 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (2件) (うち国際共著 1件、 査読あり 2件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (13件) (うち国際学会 3件、 招待講演 6件) 備考 (2件)

  • [国際共同研究] Purdue University(米国)

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [雑誌論文] Catalytic Hydrogen Doping of NdNiO3 Thin Films under Electric Fields2020

    • 著者名/発表者名
      Sidik Umar、Hattori Azusa N.、Rakshit Rupali、Ramanathan Shriram、Tanaka Hidekazu
    • 雑誌名

      ACS Applied Materials & Interfaces

      巻: 12 号: 49 ページ: 54955-54962

    • DOI

      10.1021/acsami.0c15724

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Growth of vanadium dioxide thin films on hexagonal boron nitride flakes as transferrable substrates2019

    • 著者名/発表者名
      Shingo Genchi, Mahito Yamamoto, Koji Shigematsu, Shodai Aritomi, Ryo Nouchi, Teruo Kanki, Kenji Watanabe, Takashi Taniguchi, Yasukazu Murakami, Hidekazu Tanaka
    • 雑誌名

      Scientific Reports

      巻: 9 号: 1 ページ: 2857-2857

    • DOI

      10.1038/s41598-019-39091-8

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Control of electrical properties on transition metal oxide thin films via protonic-electronic coupling2021

    • 著者名/発表者名
      Hidekazu Tanaka
    • 学会等名
      6th Conference of Bangladesh Crystallographic Association(
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Novel Metal Oxide Semiconductor Devices Controlled by Physical and Chemical Routes2021

    • 著者名/発表者名
      Hidekazu Tanaka
    • 学会等名
      2021 ASEAN Joint Workshop
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 機能性薄膜合成と量子ビーム応用2021

    • 著者名/発表者名
      田中秀和
    • 学会等名
      2021年第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 機能性酸化物エレクトロニクス ~はじめの一歩~2021

    • 著者名/発表者名
      松野丈夫 、菅大介 、組頭広志 、田中秀和 、秋永広幸
    • 学会等名
      2021年第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Kinetics of Electric Field-Driven Proton Diffusion and Corresponding Metal-Insulator Phase Transition on NdNiO3 Thin Film2020

    • 著者名/発表者名
      Umar Sidik, Azusa N. Hattori, and Hidekazu Tanaka
    • 学会等名
      2020 MRS Virtual Spring/Fall Meeting & Exhibit
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] SmNiO3プロトンレジスターの電圧履歴依存メモリ効果の評価2020

    • 著者名/発表者名
      野中 信、服部 梓、田中 秀和
    • 学会等名
      2020年 第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] NdNiO3ナノ細線の水素ドープによる抵抗変調特性のサイズ依存性2020

    • 著者名/発表者名
      難波 央、服部 梓、田中 秀和
    • 学会等名
      2020年 第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 六方晶窒化ホウ素挿入層によるイオン液体ゲーティング時における化学反応の抑制効果2020

    • 著者名/発表者名
      滝川 潤、山本 真人、谷口 尚、渡邊 賢司、神吉 輝夫、田中 秀和
    • 学会等名
      2020年 第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Basic and Application of Electronic Phase Change Oxide the films2020

    • 著者名/発表者名
      Hidekazu Tanaka
    • 学会等名
      International Conference on Physics-2020
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 相転移現象と酸化物ナノエレクトロニクス2019

    • 著者名/発表者名
      田中 秀和
    • 学会等名
      強的秩序とその操作に関わる研究グループ 第9回 研究会 ー夏の学校ー
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Control of electrical properties on transition metal oxide thin films via protonic-electronic coupling2019

    • 著者名/発表者名
      TANAKA, Hidekazu,N. HATTORI, Azusa, YAMANAKA, Takashi, KAWAMOTO, Daiki, HAYASHI, Keiichiro
    • 学会等名
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societles
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 原子層物質上へのVO2薄膜成長と新奇トランジスタ応用2019

    • 著者名/発表者名
      山本 真人
    • 学会等名
      スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 非対称2端子電極を有するReNiO3プロトン駆動抵抗変調デバイスの作製とそのスイッチング特性2019

    • 著者名/発表者名
      野中 信、Umar Sidik、服部 梓、田中 秀和
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書
  • [備考] 田中研究室HP

    • URL

      https://www.sanken.osaka-u.ac.jp/labs/bis/

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [備考] 田中研ホームページ

    • URL

      https://www.sanken.osaka-u.ac.jp/labs/bis/

    • 関連する報告書
      2019 実施状況報告書

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公開日: 2019-07-04   更新日: 2022-01-27  

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