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神経細胞記録・刺激・治療用生体内埋込みマイクロプローブ・チューブアレイチップ

研究課題

研究課題/領域番号 20226010
研究種目

基盤研究(S)

配分区分補助金
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関豊橋技術科学大学

研究代表者

石田 誠  豊橋技術科学大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30126924)

研究分担者 澤田 和明  豊橋技術科学大学, 大学院・工学研究科, 教授 (40235461)
川島 貴弘  豊橋技術科学大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (50378270)
河野 剛士  豊橋技術科学大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (70452216)
高尾 英邦  香川大学, 微細構造デバイス統合研究センター, 准教授 (40314091)
研究期間 (年度) 2008 – 2012
研究課題ステータス 完了 (2012年度)
配分額 *注記
210,470千円 (直接経費: 161,900千円、間接経費: 48,570千円)
2012年度: 7,020千円 (直接経費: 5,400千円、間接経費: 1,620千円)
2011年度: 7,020千円 (直接経費: 5,400千円、間接経費: 1,620千円)
2010年度: 23,140千円 (直接経費: 17,800千円、間接経費: 5,340千円)
2009年度: 135,460千円 (直接経費: 104,200千円、間接経費: 31,260千円)
2008年度: 37,830千円 (直接経費: 29,100千円、間接経費: 8,730千円)
キーワード選択VLS成長 / シリコンプローブアレイ / マイクロチューブアレイ / 集積回路技術 / 細胞記録/刺激/薬剤投与 / 埋込み型マイクロデバイス / 脳神経科学 / ブレイン-マシ / 細胞記録,刺激,薬剤投与 / ブレイン-マシン・インタフェース / 細胞記録,刺激,薬剤投与 / ブレイン-マシン・インタフェース / 細胞記録 / 刺激 / 薬剤投与 / 埋込み型マイクロデバイ
研究概要

本研究課題では、"選択Vapor-liquid-solid(VLS)結晶成長法"というユニークな手法を用いて神経細胞記録・刺激・治療用生体内埋込みマイクロプローブ・チューブアレイチップを実現を目指した。本研究期間では、代表的な実績として特に1) 記録・刺激用の低侵襲マイクロプローブと薬剤投与用チューブ混在アレイ、2) 3次元空間用として高さの異なるプローブ構造、3) デバイス高機能化を可能とするCMOSエレクトロニクス集積化プロセスを実現した。これらの研究成果は本研究課題に関する重要な知見であると共に、提案するデバイスの脳・神経科学と先端医療分野での今後の貢献を示唆するものであった。

評価記号
検証結果 (区分)

A

報告書

(7件)
  • 2013 研究進捗評価(検証) ( PDF )
  • 2012 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2011 実績報告書
  • 2010 実績報告書   自己評価報告書 ( PDF )
  • 2008 実績報告書
  • 研究成果

    (126件)

すべて 2013 2012 2011 2010 2009 2008 その他

すべて 雑誌論文 (27件) (うち査読あり 27件) 学会発表 (89件) (うち招待講演 4件) 図書 (2件) 備考 (5件) 産業財産権 (3件)

  • [雑誌論文] Vibration Analysis and Transmission Characteristics Of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Using Epitaxial Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films on γ-Al2O3/Si Substrate2012

    • 著者名/発表者名
      D. Akai, K. Ozaki, Y. Numata, K. Suzuki,N. Nagaya and M. Ishida
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: Vol.51 号: 11S ページ: 11PA04-11PA04

    • DOI

      10.1143/jjap.51.11pa04

    • NAID

      210000141612

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] An overhanging carbon nanotube/parylene core-shell nanoprobe electrode2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kawano, C. Y. ChoandL. Lin
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A

      巻: No.187 ページ: 79-83

    • DOI

      10.1016/j.sna.2012.08.025

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanoscale Tipped Microwire Arrays Enhance Electrical Trap and Depth Injection of Nanoparticles2012

    • 著者名/発表者名
      A. Goryu, R. Numano,A. Ikedo, M. Ishidaand T. Kawano
    • 雑誌名

      Nanotechnology

      巻: Vol.23, No.41 号: 41 ページ: 415301-7

    • DOI

      10.1088/0957-4484/23/41/415301

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] CMOS RF Transmitter Using Pulse width Modulation for Wireless Smart Sensors2012

    • 著者名/発表者名
      W. H. Lee,H. Takao, K.Sawadaand M. Ishida
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Comp., Pack. & Manufac. Tech.

      巻: Vol.2, No. 9 号: 9 ページ: 1501-1509

    • DOI

      10.1109/tcpmt.2012.2207956

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] RF Transmitter Using Dual Pulse Position Modulation Method for Low Power Smart Micro Sensing Chip2012

    • 著者名/発表者名
      B. J. Gu,W. H. Lee, K. Sawadaand M. Ishida
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Electrical & Electronic Eng.

      巻: Vol.7, Issue 3 号: 3 ページ: 337-341

    • DOI

      10.1002/tee.21737

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書 2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Silicon based On-chip Antenna using an LC resonator for Near-field RF Systems2012

    • 著者名/発表者名
      K. Okabe, W. H. Lee, Y. Harada and M. Ishida
    • 雑誌名

      Solid-State Electron.

      巻: Vol.67 号: 1 ページ: 100-104

    • DOI

      10.1016/j.sse.2011.08.002

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Wireless Smart Sensor with Small Size Spiral Atnenna on Si-substrate2011

    • 著者名/発表者名
      B. J. Gu, W. H. Lee, K. Sawadaand M. Ishida
    • 雑誌名

      Microelectron. J.

      巻: Vol. 42 号: 9 ページ: 1066-1073

    • DOI

      10.1016/j.mejo.2011.06.009

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Heterogeneously Integrated Vapor-liquid-solid Grown Silicon probes/(111) and Silicon MOSFETs/(100)2011

    • 著者名/発表者名
      A. Okugawa, K. Mayumi, A. Ikedo, M. Ishidaand T. Kawano
    • 雑誌名

      IEEE Electron DeviceLett.

      巻: Vol. 32, No.5 号: 5 ページ: 683-685

    • DOI

      10.1109/led.2011.2120590

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書 2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Out-of-plane High-density Piezoresistive Silicon Microwire/p-n Diode Array for Force and Temperature Sensitive Artificial Whisker Sensors2011

    • 著者名/発表者名
      A. Ikedo, M. Ishidaand T. Kawano
    • 雑誌名

      J. Micromech. & Microeng.

      巻: Vol. 21, No. 3 号: 3 ページ: 35007-35007

    • DOI

      10.1088/0960-1317/21/3/035007

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書 2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Enlarged Gold-tipped Silicon Microprobe Arrays and Signal Compensation for Multi-site Electroretinogram Recordings in the Isolated Carp Retina2011

    • 著者名/発表者名
      T. Harimoto, K. Takei, T. Kawano, A. Ishihara, T. Kawashima, H. Kaneko, M. Ishidaand S. Usui
    • 雑誌名

      Biosensors & Bioelectron.

      巻: Vol.26,No.5 号: 5 ページ: 2368-2375

    • DOI

      10.1016/j.bios.2010.10.014

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書 2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Out-of-plane High-density Piezoresistive Silicon Microwire/p-n Diode Array for Force and Temperature Sensitive Artificial Whisker Sensors2011

    • 著者名/発表者名
      Akihito Ikedo, Makoto Ishida, Takeshi Kawano
    • 雑誌名

      Journal of Micromechanics and Microengineering Vol.21, No.3

      ページ: 35007-35007

    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Enlarged Gold-tipped Silicon Microprobe Arrays and Signal Compensation for Multi-site Electroretinogram Recordings in the Isolated Carp Retina2011

    • 著者名/発表者名
      Tetsuhiro Harimoto, Kuniharu Takei, Takeshi Kawano, Akito Ishihara, Takahiro Kawashima, Hidekazu Kaneko, Makoto Ishida, Shiro Usui
    • 雑誌名

      Biosensors and Bioelectronics Vol.26, No.5

      ページ: 2368-2375

    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanoscale Sharpening Tips of Vapor-liquid-solid Grown Silicon Microwire Arrays2010

    • 著者名/発表者名
      A. Goryu, A. Ikedo, M. Ishidaand T. Kawano
    • 雑誌名

      Nanotechnology

      巻: Vol.21, No.12 号: 12 ページ: 125302-125302

    • DOI

      10.1088/0957-4484/21/12/125302

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electrical Interfacing between Neurons and Electronics via Vertically-integrated Sub-4 Micron-diameter Silicon Probe Arrays Fabricated by Vapor-liquid-solid Growth2010

    • 著者名/発表者名
      T. Kawano, T. Harimoto, A. Ishihara, K. Takei, T. Kawashima, S. Usuiand M. Ishida
    • 雑誌名

      Biosensors & Bioelectron.

      巻: Vol.25, No.7 号: 7 ページ: 1809-1815

    • DOI

      10.1016/j.bios.2009.12.037

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Microtube-based Electrode Arrays for Low Invasive Extracellular Recording with a High Signal-to-noise Ratio2010

    • 著者名/発表者名
      K. Takei, T. Kawano, T. Kawashima, K.Sawada, H. Kanekoand M. Ishida
    • 雑誌名

      Biomedical Microdevices

      巻: Vol. 12, No. 1 号: 1 ページ: 41-48

    • DOI

      10.1007/s10544-009-9356-y

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanoscale Sharpening Tips of Vapor-liquid-solid Grown Silicon Microwire Arrays2010

    • 著者名/発表者名
      Akihiro Goryu, Akihito Ikedo, Makoto Ishida, Takeshi Kawano
    • 雑誌名

      Nanotechnology Vol.21, No.12

      ページ: 125302-125302

    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electrical Interfacing between Neurons andElectronics via Vertically-integrated Sub-4 Micron-diameter Silicon Probe ArraysFabricated by Vapor-liquid-solid Growth2010

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Kawano, Tetsuhiro Harimoto, Akito Ishihara, Kuniharu Takei, Takahiro Kawashima, Shiro Usui, Makoto Ishida
    • 雑誌名

      Biosensors and Bioelectronics Vol.25, No.7

      ページ: 1809-1815

    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Microtube-based Electrode Arrays for LowInvasive Extracellular Recording with a High Signal-to-noise Ratio, Biomedical2010

    • 著者名/発表者名
      Kuniharu Takei, Takeshi Kawano, Takahiro Kawashima, Kazuaki Sawada, Hidekazu Kaneko, Makoto Ishida
    • 雑誌名

      Microdevices Vol.12, No.1

      ページ: 1387-2176

    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Microtube-based Electrode Arrays for Low Invasive Extracellular Recording with a High Signal-to-noise Ratio2010

    • 著者名/発表者名
      K.Takei, T.Kawano, T.Kawashima, K.Sawada, H.Kaneko, M.Ishida
    • 雑誌名

      Biomedical Microdevices

      巻: Vol.12 ページ: 41-48

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electrical Interfacing between Neurons and Electronics via Vertically-integrated Sub-4 Micron-diameter Silicon Probe Arrays Fabricated by Vapor-liquid-solid Growth2010

    • 著者名/発表者名
      T.Kawano, T.Harimoto, A.Ishihara, K.Takei, T.Kawashima, S.Usui, M.Ishida
    • 雑誌名

      Biosensors and Bioelectronics

      巻: Vol.25 ページ: 1809-1815

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Nanoscale Sharpening Tips of Vapor-liquid-solid Grown Silicon Microwire Arrays2010

    • 著者名/発表者名
      A.Goryu, A.Ikedo, M.Ishida, T.Kawano
    • 雑誌名

      Nanotechnology

      巻: Vol.21 ページ: 125302-125302

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Vertically aligned silicon microwire arrays of various lengths by repeated selective vapor-liquid-solid growth of n-type silicon/n-type silicon2009

    • 著者名/発表者名
      A. Ikedo, T. Kawashima, T. Kawanoand M. Ishida
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.

      巻: Vol.95, No.3 号: 3

    • DOI

      10.1063/1.3178556

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Out-of-plane Microtube Arrays for Drug Delivery-Liquid Flow Properties and an Application to the Nerve Block Test2009

    • 著者名/発表者名
      K. Takei, T. Kawashima, T. Kawano, H. Kaneko, K. Sawadaand M.Ishida
    • 雑誌名

      Biomedical Microdevices

      巻: Vol.11, No.3 号: 3 ページ: 539-545

    • DOI

      10.1007/s10544-008-9259-3

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Vertically Aligned Silicon MicrowireArrays of Various Lengths by Repeated Selective Vapor-Liquid-Solid Growth ofn-type Silicon/n-type Silicon, Applied2009

    • 著者名/発表者名
      Akihito Ikedo, Takahiro Kawashima, Takeshi Kawano, Makoto Ishida
    • 雑誌名

      Physics Letters Vol.95

      ページ: 33502-33502

    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Out-of-plane Microtube Arrays for Drug Delivery-Liquid Flow Properties and an Application to the Nerve Block Test -2009

    • 著者名/発表者名
      Kuniharu Takei, Takahiro Kawashima, Takeshi Kawano, Hidekazu Kaneko, Kazuaki Sawada, Makoto Ishida
    • 雑誌名

      Biomedical Microdevices Vol.11, No.3

      ページ: 539-545

    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Out-of-plane Microtube Arrays for Drug Delivery - Liquid Flow Properties and an Application to the Nerve Block Test -2008

    • 著者名/発表者名
      K. Takei, T. Kawashima, T. Kawano, H. Kaneko, K. Sawada, M. Ishida
    • 雑誌名

      Biomedical Microdevices (Published online : 04 December08)

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Heterogeneously IntegratedVapor-liquid-solid Grown Siliconprobes/(111) and Silicon MOSFETs/(100)

    • 著者名/発表者名
      Akihiro Okugawa, Kotaro Mayumi, Akihito Ikedo, Makoto Ishida, Takeshi Kawano
    • 雑誌名

      IEEE Electron Device Letters (accepted)

    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] ナノスケールニューロプローブアレイデバイス2013

    • 著者名/発表者名
      河野 剛士
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] ナノプローブ神経電極アレイの電気的特性2013

    • 著者名/発表者名
      久保田吉博,牛流章弘,石田誠,河野剛士
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 高アスペクト比Vapor-liquid-Solid Siマイクロプローブ神経電極の刺入評価2013

    • 著者名/発表者名
      八木智史,今塩屋竜也,大井英生,石田誠,河野剛士
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 0.06mm214nV/√Hz Chopper Instrumentation Amplifier 9:45 AMwith Automatic Differential-Pair Matching2013

    • 著者名/発表者名
      I. Akita, M. Ishida
    • 学会等名
      IEEE International Solid-State Conference(ISSCC2013)
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Metal/Silicon Dioxide Microtube Improves Optical and Electrical Properties of Neuroprobe2013

    • 著者名/発表者名
      T. Nakamura, M. Sakata, A. Goryu, M. Ishida and T. Kawano
    • 学会等名
      IEEE Micro Electro Mechanical Systems (IEEE-MEMS)
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Verification of Bending Strength of Vapor-liquid-solid Grown High-aspect-ratio Silicon-Neuroprobes2013

    • 著者名/発表者名
      T. Imashioya, H. Oi, S. Yagi, M. Ishida and T. Kawano
    • 学会等名
      IEEE Micro Electro Mechanical Systems (IEEE-MEMS)
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Self-curling and -sticking Flexible Substrate for ECoG Electrode Array2013

    • 著者名/発表者名
      S. Yamagiwa, M. Ishida and T. Kawano
    • 学会等名
      IEEE Micro Electro Mechanical Systems (IEEE-MEMS)
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] シリコンウィスカ剣山型神経電極アレイの開発2013

    • 著者名/発表者名
      河野剛士(オーガナイズドセッションスピーカー)
    • 学会等名
      本機械学会 第25回バイオエンジニアリング講演会
    • 発表場所
      茨城
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Bio-Medical Applications of smart sensing devices2012

    • 著者名/発表者名
      M. Ishida
    • 学会等名
      2012 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2012)
    • 発表場所
      Kyoto
    • 年月日
      2012-09-27
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] SmartMicro Sensing Chips for Life Innovation2012

    • 著者名/発表者名
      M. Ishida
    • 学会等名
      2012 MRS Spring meeting & Exhibit
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 年月日
      2012-04-12
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Three Dimensional Micro/nanowire Arrays for Sensing Applications2012

    • 著者名/発表者名
      T. Kawano
    • 学会等名
      Japan Institute of Electronics Packaging (JIEP)
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2012-03-07
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Three Dimensional Micro/nanowire Arrays for Sensing Applications2012

    • 著者名/発表者名
      T.Kawano
    • 学会等名
      Japan Institute of Electronics Packaging (JIEP)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan(招待講演)
    • 年月日
      2012-03-07
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Vapor-Liquid-Solid Grown Silicon-wires compatible (100)-Silicon CMOS Process2012

    • 著者名/発表者名
      K. Asai, A. Okugawa, M. Ishida and T. Kawano
    • 学会等名
      Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference (AP-IRC) 2012
    • 発表場所
      Aichi
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Multi-ERG Recording from Carp Retina by Penetrating Electrode Array with Various Length Microprobes2012

    • 著者名/発表者名
      T. Harimoto, A. Ikedo, T. Kawano, A. Ishihara, A. Fujishiro, S. Yamagiwa, A. Goryu, M. Ishida and S. Usui
    • 学会等名
      Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference (AP-IRC) 2012
    • 発表場所
      Aichi
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Integration of vapor-liquid-solid silicon probe compatible (100)-Si CMOS electronics2012

    • 著者名/発表者名
      K. Asai, A. Okugawa, M. Ishida, T. Kawano
    • 学会等名
      The 29th SENSOR SYMPOSIUM on Sensors, Micromachines and Application Systems
    • 発表場所
      Fukuoka
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Implementation of Wireless Sensor System using Smart Sensor Chip2012

    • 著者名/発表者名
      B. J. Gu, K. Sawada, M. Ishida
    • 学会等名
      The 29th SENSOR SYMPOSIUM on Sensors, Micromachines and Application Systems
    • 発表場所
      Fukuoka
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Vertical Piezoresisitive Silicon Microwires as Force Sensitive Bioprobe Arrays2012

    • 著者名/発表者名
      S. Morita, A. Fujishiro, A. Ikedo, M. Ishida and T. Kawano
    • 学会等名
      The 29th SENSOR SYMPOSIUM on Sensors, Micromachines and Application Systems
    • 発表場所
      Fukuoka
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Bio-Medical Applications of smart sensing devices2012

    • 著者名/発表者名
      M. Ishida
    • 学会等名
      SSDM2012
    • 発表場所
      Kyoto
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Integration of Vapor-liquid-solid Grown Silicon Microprobes/(111)-Si and (100)-Si CMOS using Silicon on Insulator Substrates2012

    • 著者名/発表者名
      K. Asai, A. Okugawa, M. Ishida, T. Kawano
    • 学会等名
      Tokai-Section Joint Conference on Electrical and Related Engineering
    • 発表場所
      Aichi
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] OOK電力増幅器に向けたLDOレギュレータ2012

    • 著者名/発表者名
      浅井翔地,秋田一平,石田誠
    • 学会等名
      2012年電子情報通信学会ソサイエティ大会
    • 発表場所
      富山
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] ワイヤレスセンサシステムに向けた小型基準発振器の開発2012

    • 著者名/発表者名
      山根駿也,秋田一平,石田誠
    • 学会等名
      2012年電子情報通信学会ソサイエティ大会
    • 発表場所
      富山
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] 焦電型赤外線イメージセンサ応用へ向けた薄膜赤外線吸収膜の作製2012

    • 著者名/発表者名
      大石浩史,大江一樹,赤井大輔,石田誠
    • 学会等名
      2012年秋季 第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Failsafe Wafer-Level Packaging of a Piezoelectric MEMS Actuator2012

    • 著者名/発表者名
      M. A. Matin, K. Ozaki, D. Akai, K. Sawada, and M. Ishida
    • 学会等名
      The 62nd Electronic Components and Technology Conference(ECTC2012)
    • 発表場所
      California, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Nanotip Array for Gene Transfer into Individualcells2012

    • 著者名/発表者名
      A. Goryu, R. Numano, M. Ishida and T. Kawano
    • 学会等名
      The 51st Annual Conference of Japanese Society for Medical and Biological Engineering (The 51st JSMBE)
    • 発表場所
      Fukuoka
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Samrt Micro Sensing Chips for Life Innovation2012

    • 著者名/発表者名
      M. Ishida
    • 学会等名
      2012 MRS Spring meeting & Exhiti
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Nanoprobe Array for Gene Transfer into Individual Cells2012

    • 著者名/発表者名
      A. Goryu, R. Numano, M. Ishida, T. Kawano
    • 学会等名
      2012 MRS Spring Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Recording of ECoG and Intracortical Neural Activity2012

    • 著者名/発表者名
      T. Imashioya, A. Fujishiro, H. Sawahata, H. Toda, A. Ikedo, M. Ishida, I. Hasegawa and T. Kawano
    • 学会等名
      2012 MRS Spring Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] High Density Piezoelectric Micro-machined Ultrasonic Transducers Array Using Epitaxial PZT Thin Film on γ-Al2O3/Si Substrate2012

    • 著者名/発表者名
      K. Ozaki, K. Suzuki, Y. Numata, N. Okada, D. Akai, M. Ishida
    • 学会等名
      2012 MRS Spring meeting & Exhiti
    • 発表場所
      San Francisco, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Multifunctional Metal/silicon Dioxide Microtube Neuroprobes2012

    • 著者名/発表者名
      T.Nakamura, M.Sakata, A.Goryu, M.Ishida, T.Kawano
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics(The 59th Spring Meeting)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of Force sensitive Penetrating Electrical Neuroprobe Arrays2012

    • 著者名/発表者名
      S.Morita, A.Fujishiro, A.Ikedo, M.Ishida, T.Kawano
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics(The 59th Spring Meeting)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Layerby-layer Nanoassembly of Iridium Oxide/Platinum-black for Low Impedance, High Charge Injecting Microelectrode Applications2012

    • 著者名/発表者名
      S.Yamagiwa, A.Fujishiro, A.Ikedo, M.Ishida, T.Kawano
    • 学会等名
      IEEE Micro Electro Mechanical Systems (IEEE-MEMS)
    • 発表場所
      Paris, France
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication of Force Sensitive Penetrating Electrical Neuroprobe Arrays2012

    • 著者名/発表者名
      S.Morita, A.Fujishiro, A.Ikedo, M.Ishida, T.Kawano
    • 学会等名
      IEEE Micro Electro Mechanical Systems (IEEE-MEMS)
    • 発表場所
      Paris, France
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] インテリジェントバイオチップ-LSI/MEMS融合のスマートマイクロセンサ-2011

    • 著者名/発表者名
      石田誠
    • 学会等名
      Electronic Journal第960回Technical Seminar
    • 発表場所
      総評会館,東京(招待講演)
    • 年月日
      2011-12-02
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Neural Interface Microprobe/Tube Array Devices2011

    • 著者名/発表者名
      T.Kawano
    • 学会等名
      Ritsumeikan University
    • 発表場所
      Kyoto, Japan(招待講演)
    • 年月日
      2011-10-26
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] 集積化デバイスの切り拓くライフイノベーション2011

    • 著者名/発表者名
      石田誠, 澤田和明, 河野剛士, 赤井大輔
    • 学会等名
      応用物理学会特別シンポジウム異種機能集積化と応用物理~最先端多様分野の融合によって拓かれる未来社会~
    • 発表場所
      神奈川工科大学、神奈川(招待講演)
    • 年月日
      2011-03-26
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Vertically Integrated Silicon Wires for Neural Interface and Artificial Whisker Electronics2011

    • 著者名/発表者名
      T. Kawano
    • 学会等名
      KAIST Seminar
    • 発表場所
      Daejeon, Republic of Korea
    • 年月日
      2011-02-25
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Vertically Integrated Silicon Wires for Neural Interface and Artificial Whisker Electronics2011

    • 著者名/発表者名
      T.Kawano
    • 学会等名
      KAIST Seminar
    • 発表場所
      Daejeon, Republic of Korea(招待講演)
    • 年月日
      2011-02-25
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 集積化MEMS技術によるスマートマイクロチップ2011

    • 著者名/発表者名
      石田誠
    • 学会等名
      第16回MEMS講習会「MEMSプロセス技術の最新動向とアプリケーション」
    • 発表場所
      名古屋大学東山キャンパス(招待講演)
    • 年月日
      2011-02-22
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Neural Interface Microprobe/Tube Array Devices2011

    • 著者名/発表者名
      T. Kawano
    • 学会等名
      Ritsumeikan University
    • 発表場所
      Kyoto
    • 年月日
      2011-01-26
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Simultaneous Recording of Surface and Intra-Retinal Electroretinograms using a Penetrating- and Planar-Electrode Array2011

    • 著者名/発表者名
      T.Harimoto, A.Ikedo, T.Kawano, A.Ishihara, A.Fujishiro, S.Yamagiwa, A.Goryu, S.Usui, M.Ishida
    • 学会等名
      The Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference (APIRC) 2011
    • 発表場所
      Toyohashi, Japan
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] A Vertical Micro-scale Light Guiding Silicon Dioxide Tube Array for Optical Neurostimulator2011

    • 著者名/発表者名
      M.Sakata, A.Goryu, A.Ikedo, T.Harimoto, M.Ishida, T.Kawano
    • 学会等名
      The 28th SENSOR SYMPOSIUM on Sensors, Micromachines and Application Systems
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Electrical Caching and Transfer of Nanoparticles via Nanotip Silicon Probe Arrays2011

    • 著者名/発表者名
      A.Goryu, M.Ishida, T.Kawano
    • 学会等名
      The 28th SENSOR SYMPOSIUM on Sensors, Micromachines and Application Systems
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Penetrating Micro-scale Diameter Probe Arrays for in-vivo Neuron Spike Recordings2011

    • 著者名/発表者名
      T.Kawano, A.Fujishiro, H.Kaneko, T.Kawashima, M.Ishida
    • 学会等名
      The 34th Annual Meeting of the Japan Neuroscience Society-Neuroscience of the Mind-
    • 発表場所
      Yokohama, Japan
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Electrical Catching and Transfer of Nanoparticles via Nanotip Silicon Probe Arrays2011

    • 著者名/発表者名
      A.Goryu, A.Ikedo, M.Ishida, T.Kawano
    • 学会等名
      16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'11)
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] Battery-free wireless touch driven transmitter with on-chip antennas for wireless sensor systems2011

    • 著者名/発表者名
      M.Niino, T.A.Nguyen, W.H.Lee, K.Sawada, M.Ishida
    • 学会等名
      16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'11)
    • 発表場所
      Beijing, China
    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [学会発表] A Vertical micro-scale light guiding silicon dioxide tube array for optical neurostimulator2011

    • 著者名/発表者名
      M.Sakata, A.Goryu, A.Ikedo, T.Harimoto, M.Ishida, T.Kawano
    • 学会等名
      IEEE Micro Electro Mechanical Systems (IEEE-MEMS)
    • 発表場所
      Cancun, Mexico
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] A penetrating micro-scale diameter probe array for in vivo neuron spike recordings2011

    • 著者名/発表者名
      A.Fujishiro, H.Kaneko, T.Kawashima, M.Ishida, T.Kawano
    • 学会等名
      IEEE Micro Electro Mechanical Systems (IEEE-MEMS)
    • 発表場所
      Cancun, Mexico
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Temperature sensitive microwire array for artificial whisker electronics2011

    • 著者名/発表者名
      A.Ikedo, M.Ishida, T.Kawano
    • 学会等名
      IEEE Micro Electro Mechanical Systems (IEEE-MEMS)
    • 発表場所
      Cancun, Mexico
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] ナノスケール先鋭化Siワイヤーアレイによるナノ粒子吸脱着デバイス2011

    • 著者名/発表者名
      牛流章弘, 池戸昭仁, 石田誠, 河野剛士
    • 学会等名
      2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学,神奈川
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] VLS-Siプローブを用いた皮質脳波、皮質内活動同時計測神経電極デバイス2011

    • 著者名/発表者名
      今塩屋竜也, 藤城彬史, 澤畑博人, 戸田春男, 池戸昭仁, 石田誠, 長谷川功, 河野剛士
    • 学会等名
      2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学,神奈川
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 神経活動計測用高アスペクト比Siプローブの形成及び評価2011

    • 著者名/発表者名
      藤城彬史, 池戸昭仁, 石田誠, 河野剛士
    • 学会等名
      2011年春季第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学,神奈川
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 医療・生体応用スマートマイクロセンシングチップ2010

    • 著者名/発表者名
      石田誠
    • 学会等名
      応用電子物性分科会研究例会バイオセンサ・医療デバイス-モノつくりからのアプローチ-
    • 発表場所
      首都大学東京秋葉原サテライトキャンパス(招待講演)
    • 年月日
      2010-12-13
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 医療・生体応用マイクロチップセンサー2010

    • 著者名/発表者名
      石田誠
    • 学会等名
      シンポジウム「メデイカルエレクトロニクスに於ける材料、プロセスとその応用」
    • 発表場所
      東京工業大学、デジタル多目的ホール(招待講演)
    • 年月日
      2010-09-21
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Smart Microchips for Intelligent Sensing2010

    • 著者名/発表者名
      M. Ishida, T. Kawanoand K. Sawada
    • 学会等名
      2010 Seventh International Conference on IEEE Networked Sensing Systems(INSS)
    • 発表場所
      Kassel, Germany
    • 年月日
      2010-06-16
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Integrated Silicon Microprobe/Tube Arrays for Neural Interface2010

    • 著者名/発表者名
      T. Kawano
    • 学会等名
      2nd UK-Japan Workshop on the Brain-Machine Interface
    • 発表場所
      Newcastle, UK
    • 年月日
      2010-02-25
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Integrated Neuroprobe/Tube Arrays: Microdevices for Neural Interface2010

    • 著者名/発表者名
      T. Kawano
    • 学会等名
      International workshop on Advances in Neuroengineering(Osaka University Global COE Program)
    • 発表場所
      Osaka
    • 年月日
      2010-02-01
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Smart Microchips for Intelligent Sensing2010

    • 著者名/発表者名
      M.Ishida, T.Kawano, K.Sawada
    • 学会等名
      2010 Seventh International Conference on IEEE Networked Sensing Systems (INSS)
    • 発表場所
      Kassel, Germany(招待講演)
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] ナノスケール先鋭化マイクロプローブ神経電極の集積化技術2010

    • 著者名/発表者名
      牛流章弘、池戸昭仁、石田誠、河野剛士
    • 学会等名
      応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催第2回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      くにびきメッセ、島根
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] シリコンウィスカ神経電極アレイ/Si(111)とMOSFET/Si(100)の集積化技術2010

    • 著者名/発表者名
      奥川晃宏、真弓広太郎、池戸昭仁、石田誠、河野剛士
    • 学会等名
      応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催第2回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      くにびきメッセ、島根
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] pn接合を有する垂直配向Siマイクロワイヤを用いた突出型フォースセンサアレイ2010

    • 著者名/発表者名
      池戸昭仁、河野剛士、石田誠
    • 学会等名
      応用物理学会集積化MEMS技術研究会主催第2回集積化MEMSシンポジウム
    • 発表場所
      くにびきメッセ、島根
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] シリコンマイクロプローブ神経電極アレイを用いた網膜光応答の多チャンネル同時記録と信号補正2010

    • 著者名/発表者名
      針本哲宏, 竹井邦晴, 河野剛士, 石原彰人, 金子秀和, 川島貴弘, 石田誠, 臼井支朗
    • 学会等名
      第25回生体・生理工学シンポジウム
    • 発表場所
      岡山大学
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Integrated Neuroprobe/Tube Arrays: Microdevices for Neural Interface2009

    • 著者名/発表者名
      T. Kawano
    • 学会等名
      International Symposium on Toyohashi Global COE Program
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2009-11-05
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication of multi-step vapor-liquid-solid grown silicon microprobe array by probe etching2009

    • 著者名/発表者名
      A. Ikedo, K. Sawada, T. Kawano, M. Ishida
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics (The 56th Spring Meeting)
    • 発表場所
      筑波大学、筑波
    • 年月日
      2009-03-30
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Reduced electrical impedance of VLS-grown silicon microprobe electrode2009

    • 著者名/発表者名
      A. Fujishiro, K. Takei, A. Ikedo, K. Sawada, T. Kawano, M. Ishida
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics (The 56th Spring Meeting)
    • 発表場所
      筑波大学、筑波
    • 年月日
      2009-03-30
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] VLS-grown micro-neuroprobe array/Si(111)integrated with MOSFET/Si(100) interface circuitry2009

    • 著者名/発表者名
      A. Okueawa, K. Takei, A. Ikedo, K. Sawada, T. Kawano, M. Ishida
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics(The 56th Spring Meeting)
    • 発表場所
      筑波大学、筑波
    • 年月日
      2009-03-30
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Neuroprobe chips-Toyohashi probe2009

    • 著者名/発表者名
      M. Ishida, K. Takei, A, Ikedo, T. Harimoto, T. Kawashima, T. Kawano
    • 学会等名
      Annual Conference of IEEJ
    • 発表場所
      北海道大学、北海道
    • 年月日
      2009-03-19
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Sub-5μm diameter silicon microprobe and silicon dioxide microtube arrays for low-invasive in-vivo animal experiments2009

    • 著者名/発表者名
      K. Takei, T. Kawano, T. Kawashima, K. Sawada, H. Kaneko, M. Ishida
    • 学会等名
      IEEE Micro Electro Mechanical Systems (IEEE-MEMS)
    • 発表場所
      Sorrento, Italy
    • 年月日
      2009-01-29
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Vertically aligned various lengths doped-silicon microwire arrays by repeated selective vapor-liquid-solid growth2009

    • 著者名/発表者名
      T. Kawano, A. Ikedo, T. Kawashima, K. Sawada, M. Ishida
    • 学会等名
      IEEE Micro Electro Mechanical Systems (IEEE-MEMS)
    • 発表場所
      Sorrento, Italy
    • 年月日
      2009-01-27
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Silicon micro/nano-probe neural interface devices by vapor-liquid-solid growth2009

    • 著者名/発表者名
      T. Kawano
    • 学会等名
      Lifechips 2009
    • 発表場所
      UC Irvine, CA, USA
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Out-of-plane microtube arrays for drug delivery2009

    • 著者名/発表者名
      K. Takei
    • 学会等名
      Lifechips 2009
    • 発表場所
      UC Irvine, CA, USA
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] TUT Global COE and Core University Program2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishida
    • 学会等名
      International Forum of Centers of Excellence(SRC/ERC)
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 年月日
      2008-12-12
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] 「Silicon Smart Microchips for Intelligent Sensing」"2008 Symposium on VLS Technoloey" (Hawaii, USA) Plenary Talkを中心として2008

    • 著者名/発表者名
      石田誠
    • 学会等名
      第5回豊橋技術科学大学産官学交流フォーラム(特別講演)
    • 発表場所
      豊橋技術科学大学、愛知
    • 年月日
      2008-11-07
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Sensor Applications of Micro-process and Nanotechnology2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishida
    • 学会等名
      21st International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2008)
    • 発表場所
      Fukuoka
    • 年月日
      2008-10-29
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Integration of source-follower amplifier array and vapor-liq/uid-solid grown silicon microprobe electrode array on silicon (111)substrate2008

    • 著者名/発表者名
      K. Mayumi, K. Takei, A. Ikedo, T. Kawano, H. Takao, K. Sawada, M. Ishida
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics (The 69th Autumn Meeting)
    • 発表場所
      中部大学、愛知
    • 年月日
      2008-09-04
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication and characterization of multi-step vapor-liquid-solid grown silicon microprobe array2008

    • 著者名/発表者名
      A. Ikedo, T. Kawano, K. Sawada, M. Ishida
    • 学会等名
      The Japan Society of Applied Physics (The 69th Autumn Meeting)
    • 発表場所
      中部大学、愛知
    • 年月日
      2008-09-04
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Silicon whisker" Neuroprobe-Toyohashi probe-2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishida, K. Takei, A. Ikedo, T. Harimoto, T. Kawashima, T. Kawano
    • 学会等名
      第1回有機ナノ材料・計測技術ミニシンポジウム&第19回NAIST Advanced Polymer Colloquium
    • 発表場所
      奈良先端科学技術大学院大学、奈良
    • 年月日
      2008-07-31
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] スマートマイクロセンシングチップ開発2008

    • 著者名/発表者名
      石田誠
    • 学会等名
      立命館大学ナノマシンシステム技術研究会「2008年度 第1回例会]
    • 発表場所
      立命館大学、滋賀
    • 年月日
      2008-07-07
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] バイオ・医療応用へのスマートマイクロセンシングチップ2008

    • 著者名/発表者名
      石田誠
    • 学会等名
      第1回広島大学半導体・バイオ融合集積化技術シンポジウム (招待講演)
    • 発表場所
      キャンパスイノベーション七万ター東京国際会議室、東京
    • 年月日
      2008-06-27
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Siliconsmart microchips for intelligent sensing2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishida, T. Kawano, H. Takao and K. Sawada
    • 学会等名
      2008 Symposium on VLSI Technology
    • 発表場所
      Honolulu, HI, USA
    • 年月日
      2008-06-17
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Bio-medical Si microchips with sensors and IC2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishida
    • 学会等名
      The fourth international nanotechnology conference on communication and cooperation(INC4) International nanotechnology conference on communication and cooperation(INC4)
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2008-04-16
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [学会発表] Source-follower Amplifier Array with Vapor-Liquid-Solid Grown Silicon Microprobe Electrodes on Silicon (111) Substrate2008

    • 著者名/発表者名
      K. Mayumi, K. Takei, T. Kawashima, T. Kawano, H. Takao, K. Sawada, M. Ishida
    • 学会等名
      The 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technology (APCOT 2008)
    • 発表場所
      Tainan, Taiwan
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] TUT Global COE and Core University Program2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishida
    • 学会等名
      International Forum of Centers of Excellenee (SRC/ERC) (Invited)
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Sensor Applications of Micro-process and Nanotechnology2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishida
    • 学会等名
      21st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2008) (Invited)
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Silicon smart microchips for intelligent sensing2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishida, T. Kawano, H. Takao, K. Sawada
    • 学会等名
      2008 Symposium on VLSI Technology (Invited)
    • 発表場所
      Honolulu, HI, USA
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Bio-medical Si microchips with sensors and IC2008

    • 著者名/発表者名
      M. Ishida
    • 学会等名
      The fourth international nanotechnology conference on communication and cooperation (INC4)(Invited)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Multiple local electroretinograms from isolated carp retina using Si whisker microprobe electrode array2008

    • 著者名/発表者名
      T. Harimoto, A. Ishihara, T. Kawano, K. Takei, M. Ishida, S. Usui
    • 学会等名
      JNNS2008
    • 発表場所
      産業技術研究所、筑波
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] センサ/MEMS・IC融合によるスマートマイクロチップ2008

    • 著者名/発表者名
      石田誠
    • 学会等名
      フロンティアプロセス2008
    • 発表場所
      産業技術総合研究所、筑波
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] マイクロ/ナノプローブアレイデバイスのニューラルインタフェース応用

    • 著者名/発表者名
      河野剛士(パネリスト)
    • 学会等名
      MEとバイオサイバネティックス研究会/ニューロコンピューティング研究会(NC)
    • 発表場所
      愛知
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] ニューラルインタフェースデバイスの研究

    • 著者名/発表者名
      河野剛士
    • 学会等名
      第1回ICE Cube Center研究会(第67回精密工学研究所シンポジウム,Green ICE Initiative 3rd Technical Workshop for Open Innovation)
    • 発表場所
      神奈川
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 招待講演
  • [図書] 新インターユニバーシティ集積回路2011

    • 著者名/発表者名
      石田誠, 石井仁
    • 総ページ数
      184
    • 出版者
      株式会社オーム社
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書 2011 実績報告書 2010 実績報告書
  • [図書] バイオテクノロジーシリーズ「ヘルスケアとバイオ医療のための先端デバイス機器(Advanced BioMedical Devices and Equipmentsfor Health Care)」2009

    • 著者名/発表者名
      石田誠, 澤田和明
    • 総ページ数
      385
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://int.ee.tut.ac.jp/icg/

    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://int.ee.tut.ac.jp/icg/

    • 関連する報告書
      2011 実績報告書
  • [備考] 研究グループホームページ

    • URL

      http://www.int.ee.tut.ac.jp/icg/

    • 関連する報告書
      2010 自己評価報告書
  • [備考]

    • URL

      http://int.ee.tut.ac.jp/icg/

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.dev.eee.tut.ac.jp/ishidalab

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [産業財産権] 差動増幅器およびこれを使用する信号増幅装置2012

    • 発明者名
      秋田一平,石田誠
    • 権利者名
      秋田一平,石田誠
    • 産業財産権番号
      2012-267878
    • 出願年月日
      2012-12-07
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書
  • [産業財産権] 差動増幅器およびこれを使用する信号増幅装置2012

    • 発明者名
      秋田一平, 石田 誠
    • 権利者名
      秋田一平, 石田 誠
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2012-267878
    • 出願年月日
      2012-12-07
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [産業財産権] 中空マイクロチューブ構造およびその作製方法ならびに生体検査装置2010

    • 発明者名
      石田誠, 河野剛士, 川島貴弘, 竹井邦晴
    • 権利者名
      豊橋技術科学大学
    • 出願年月日
      2010-06-19
    • 関連する報告書
      2012 研究成果報告書

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公開日: 2008-04-01   更新日: 2019-07-29  

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