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次世代遠中間赤外線検出器の開発

研究課題

研究課題/領域番号 20244016
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 天文学
研究機関独立行政法人宇宙航空研究開発機構

研究代表者

和田 武彦  宇宙航空研究開発機構, 宇宙科学研究所, 助教 (50312202)

研究分担者 金田 英宏  名古屋大学, 理学研究科, 准教授 (30301724)
連携研究者 廣瀬 和之  宇宙航空研究開発機構, 宇宙科学研究本部, 准教授 (00280553)
研究協力者 渡辺 健太郎  東京大学, 先端科学技術研究センター, 特任助教
研究期間 (年度) 2008 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
25,350千円 (直接経費: 19,500千円、間接経費: 5,850千円)
2010年度: 7,150千円 (直接経費: 5,500千円、間接経費: 1,650千円)
2009年度: 8,060千円 (直接経費: 6,200千円、間接経費: 1,860千円)
2008年度: 10,140千円 (直接経費: 7,800千円、間接経費: 2,340千円)
キーワード赤外線天文学 / 分子線エピタキシー / 表面活性化常温接合 / 赤外線検出器 / 表面活性常温接合 / 光赤外線天文学 / 光学赤外線天文学 / MBE / 結晶成長
研究概要

高感度遠中間赤外線検出器であるゲルマニウムBIB検出器を分子線エピタキシャル結晶成長(MBE)と表面活性化常温接合(SAB)法を用いて開発した。MBE法により暗電流低減に必要な高純度(5x10^14/cc)と透明電極に必要な急峻な界面を達成した。また、SAB法によりBIB構造を形成し、BIB検出器に特有のI-V特性、カットオフ波長の増大、そして暗電流の低減を確認した。(Wada et al. 2010, doi:10.1109/ICIMW. 2010.5612570 ; Watanabe et al. 2011,JJAP, 50, 015701 ; Kaneda et al.2011,JJAP accepted)

報告書

(4件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書
  • 2008 実績報告書
  • 研究成果

    (31件)

すべて 2011 2010 2009

すべて 雑誌論文 (7件) (うち査読あり 5件) 学会発表 (24件)

  • [雑誌論文] Microscopic and electrical properties of Ge/Ge interfaces bonded by surface-activated wafer bonding technology2011

    • 著者名/発表者名
      Kentaroh Watanabe, Kensuke Wada, Hidehiro Kaneda, Kensuke Ide, Masahiro Kato, Takehiko Wada
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 50巻

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electrical and Photoconductive Properties at 2 K of Germanium p+ -i Junction Device Fabricated by Surface-Activated Wafer Bonding2011

    • 著者名/発表者名
      Hidehiro Kaneda, Takehiko Wada, Shinki Oyabu, Ryoko Kano, Yuichi Kiriyama, Yasuki Hattori, Toyoaki Suzuki Kensuke Ide, Masahiro Kato, Kentaroh Watanabe
    • 雑誌名

      JJAP (掲載決定)

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Microscopy and Electrical Properties of Ge/Ge Interfaces Bonded by Surface-Activated Wafer Bonding Technology2011

    • 著者名/発表者名
      Kentaroh Watanabe, et al.
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 50

    • NAID

      210000069837

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electrical and Photoconductivp Properties at 2 K of Germanium p+ -i Junction Device Fabricated by Surface-Activated Wafer Bonding2011

    • 著者名/発表者名
      Hidehiro Kaneda, et al.
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: (掲載確定)

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [雑誌論文] Development of Germanium BIB detector with surface activated bonding and Molecular-Beam Epitaxial crystal growth2010

    • 著者名/発表者名
      T.Wada, H.Kaneda, R.Kano, K.Wada, T.Suzuki, K.Watanabe, Y.Kiriyama
    • 雑誌名

      IRMMW2010

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [雑誌論文] Development of Germanium BIB detector with surface activated bonding and Molecular-Beam Epitaxial crystal growth2010

    • 著者名/発表者名
      Wada, T., et al.
    • 雑誌名

      The 35th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, IRMMW 2010

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of cryogenic readout electronics using fully-depleted-silicon-on-insulator CMOS process for future space borne far-infrared image sensors2009

    • 著者名/発表者名
      Nagata, H., Wada, T., Ikeda, H., Arai, Y., Ohno, M.
    • 雑誌名

      AIPC 1185巻

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 常温ウェハ接合によるGep+-i接合素子の遠赤外線感度特性の評価2011

    • 著者名/発表者名
      桐山雄一, 他
    • 学会等名
      日本天文学会2011年春季年会予稿集
    • 発表場所
      筑波大学(東日本大震災のため会場での発表は行わず)
    • 年月日
      2011-03-17
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 次世代遠赤外線ゲルマニウム検出器の開発VI~分子線エピタキシー法による透明電極の形成~2011

    • 著者名/発表者名
      鈴木仁研, 他
    • 学会等名
      日本天文学会2011年春季年会予稿集
    • 発表場所
      筑波大学(東日本大震災のため会場での発表は行わず)
    • 年月日
      2011-03-17
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 常温ウェハ接合によるGep+-i接合素子の運赤外線感度特性の評価2011

    • 著者名/発表者名
      桐山雄一, 他
    • 学会等名
      日本天文学会2011年春季年会予稿集
    • 発表場所
      筑波大学(東日本大震災のため会場での発表は行わず)
    • 年月日
      2011-03-17
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 次世代遠赤外線ゲルマニウム検出器の開発VI~発子線エピタキシー法による透明電極の形成~2011

    • 著者名/発表者名
      鈴木仁研, 他
    • 学会等名
      日本天文学会2011年春季年会予稿集
    • 発表場所
      筑波大学(東日本大震災のため会場での発表は行わず)
    • 年月日
      2011-03-17
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Development of Germanium BIB Detector with Surface Activated Wafer Bonding2011

    • 著者名/発表者名
      R. Kano, et al.
    • 学会等名
      名古屋大学第2回グローバルCOE 国際会議
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] MBE技術を用いた中間-遠赤外線検出器における透明電極形成の検証2011

    • 著者名/発表者名
      長勢晃一, 他
    • 学会等名
      第11回宇宙科学シンポジウム
    • 発表場所
      JAXA宇宙科学研究所相模原キャンパス(相模原市)
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 次世代の遠赤外線イメージセンサーへの応用を目指した極低温電子回路の開発(II)2011

    • 著者名/発表者名
      永田洋久, 他
    • 学会等名
      第11回宇宙科学シンポジウム
    • 発表場所
      JAXA宇宙科学研究所相模原キャンパス(相模原市)
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 常温ウェハ接合技術を用いた新しいGe:Ga遠赤外線検出素子の評価2011

    • 著者名/発表者名
      桐山雄一, 他
    • 学会等名
      第11回宇宙科学シンポジウム
    • 発表場所
      JAXA宇宙科学研究所相模原キャンパス(相模原市)
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Development of Germanium BIB Detector with Surface Activated Wafer Bonding2011

    • 著者名/発表者名
      R.Kano, et al.
    • 学会等名
      名古屋大学第2回グローバルCOE国際会議
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 次世代遠赤外線ゲルマニウム検出器の開発V2010

    • 著者名/発表者名
      和田健介, 和田武彦, 他
    • 学会等名
      日本天文学会2010年春季年会
    • 発表場所
      広島大学
    • 年月日
      2010-03-27
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2009 実績報告書
  • [学会発表] 常温ウェハ接合による遠赤外線Ge:Ga接合素子の光感度特性の評価2010

    • 著者名/発表者名
      狩野良子, 和田武彦, 他
    • 学会等名
      日本天文学会2010年春季年会
    • 発表場所
      広島大学
    • 年月日
      2010-03-27
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2009 実績報告書
  • [学会発表] 高感度遠赤外線カメラへの応用を目指した極低温CMOS回路の開発(奨励賞受賞)2010

    • 著者名/発表者名
      永田洋久, 他
    • 学会等名
      第20回日本赤外線学会研究発表会
    • 発表場所
      立命館大学びわこくさつキャンパス
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Cryogenic readout electronics for space borne far-infrared image sensors (invited paper), International Conference on Space2010

    • 著者名/発表者名
      Nataga, H., et al.
    • 学会等名
      Aeronautical and Navigational Electronics 2010
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Development of cryogenic readout electronics for space infrared astronomical observations (invited paper)2010

    • 著者名/発表者名
      和田武彦
    • 学会等名
      The 10th Taiwan-Japan Microelectronics International Symposium
    • 発表場所
      Hsinchu, Taiwan
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 常温ウェハ接合による遠赤外線Ge:Ga接合素子の光感度特性の評価2010

    • 著者名/発表者名
      狩野良子, 他
    • 学会等名
      名古屋大学ものづくり博'10
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Development of Germanium BIB detector with surface activated bonding and Molecular-Beam Epitaxial crystal growth2010

    • 著者名/発表者名
      和田武彦, et al.
    • 学会等名
      The 35th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, IRMMW 2010
    • 発表場所
      2010 Roma, Italy
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Development of Germanium BIB detector with surface activated bonding and Molecular-Beam Epitaxial crystal growth2010

    • 著者名/発表者名
      Wada, T., et al.
    • 学会等名
      The 35th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, IRMMW 2010
    • 発表場所
      Roma, Italy
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Cryogenic readout electronics for space borne far-infrared image sensors2010

    • 著者名/発表者名
      Nataga, H, et al.
    • 学会等名
      International Conference on Space, Aeronautical and Navigational Electronics 2010
    • 発表場所
      Jeju, Korea(invited paper)
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Development of cryogenic readout electronics for space infrared astronomical observations2010

    • 著者名/発表者名
      Takehiko Wada
    • 学会等名
      The 10th Taiwan-Japan Microelectronics International Symposium
    • 発表場所
      Hsinchu, Taiwan(invited paper)
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 高感度遠赤外線カメラへの応用を目指した極低温CMOS回路の開発2010

    • 著者名/発表者名
      永田洋久, 他
    • 学会等名
      第20回日本赤外線学会研究発表会
    • 発表場所
      立命館大学びわこくさつキャンパス(奨励賞受賞)
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] 遠赤外線Ge:Ga接合素子の電気特性の評価2009

    • 著者名/発表者名
      和田健介, 和田武彦, 他
    • 学会等名
      日本天文学会2009年秋季年会
    • 発表場所
      山口大学
    • 年月日
      2009-09-14
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2009 実績報告書
  • [学会発表] 遠赤外線Ge:Ga接合素子の光感度特性の評価2009

    • 著者名/発表者名
      狩野良子, 和田武彦, 他
    • 学会等名
      日本天文学会2009年秋季年会
    • 発表場所
      山口大学
    • 年月日
      2009-09-14
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2009 実績報告書
  • [学会発表] 次世代遠赤外線ゲルマニウム検出器の開発IV2009

    • 著者名/発表者名
      和田健介
    • 学会等名
      日本天文学会2009年春季年会
    • 発表場所
      大阪府立大学
    • 年月日
      2009-03-25
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] 次世代遠赤外線ゲルマニウム検出器の開発IV2009

    • 著者名/発表者名
      和田健介(東京工業大学)
    • 学会等名
      日本天文学会
    • 発表場所
      大阪府立大学
    • 年月日
      2009-03-25
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書

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公開日: 2008-04-01   更新日: 2016-04-21  

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