| 研究課題/領域番号 |
20246006
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用物性・結晶工学
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| 研究機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 |
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研究代表者 |
浦岡 行治 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 教授 (20314536)
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| 研究分担者 |
木村 睦 (木村 睦針) 龍谷大学, 理工学部, 教授 (60368032)
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| 連携研究者 |
冬木 隆 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 教授 (10165459)
畑山 智亮 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 助教 (90304162)
矢野 裕司 奈良先端科学技術大学院大学, 物質創成科学研究科, 教授 (40335485)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
32,760千円 (直接経費: 25,200千円、間接経費: 7,560千円)
2010年度: 9,230千円 (直接経費: 7,100千円、間接経費: 2,130千円)
2009年度: 10,400千円 (直接経費: 8,000千円、間接経費: 2,400千円)
2008年度: 13,130千円 (直接経費: 10,100千円、間接経費: 3,030千円)
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| キーワード | レーザ結晶化 / 薄膜トランジスタ / 薄膜フォトダイオード / 三次元デバイス / ディスプレイ / 多結晶シリコン / 非二次元基板 / フォトダイオード / グリーンレーザ / 三次元素子 / 多結晶 / ファイバー / 積層シリコン薄膜 |
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| 研究概要 |
一次元基板や三次元基板など、非二次元シリコン基板を用いてレーザの結晶化を行い、薄膜トランジスタや薄膜フォトダイオードなどへのデバイス応用を検討した。一次元基板であるファイバー上へのレーザ照射によって、高性能なCOMS回路を作製し、フレキシブルディスプレイの実証を行った。積層したシリコン基板へのレーザ照射によって、高性能な3次元デバイスの性能を確認した。本手法は次世代情報端末の実現に有望である。
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