| 研究課題/領域番号 |
20246015
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
高井 義造 大阪大学, 工学研究科, 教授 (30236179)
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| 研究分担者 |
木村 吉秀 大阪大学, 工学研究科, 准教授 (70221215)
永富 隆清 大阪大学, 工学研究科, 助教 (90314369)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
21,970千円 (直接経費: 16,900千円、間接経費: 5,070千円)
2010年度: 5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円)
2009年度: 9,880千円 (直接経費: 7,600千円、間接経費: 2,280千円)
2008年度: 6,110千円 (直接経費: 4,700千円、間接経費: 1,410千円)
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| キーワード | 高分解能電子顕微鏡 / 動的ホローコーン照明 / 球面収差補正 / 色収差補正 / 色消し結像条件 / 波動場再構成 / 位相・振幅分離再生 / 球面収差 / 色収差 / コマ収差 / 3次元フーリエフィルタリング法 / 無収差結像 |
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| 研究概要 |
本研究では、電子顕微鏡の2種類の照明系偏向コイルをコンピュータ制御することで高精度な動的ホローコーン照明システムを開発し、色消し結像条件を利用した球面収差と色収差の同時補正を実現して、軸上照明法における情報限界を超えた空間分解能で位相像・振幅像の分離再生を行うことに成功した。さらに、3次元フーリエフィルタリング法を傾斜照明下に適用し、球面収差、色収差、コマ収差、3回非点収差の同時補正を行うことで、1. 4倍の分解能向上を達成した。
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