集束イオンビーム3次元ナノ構造形成によるバイオナノツールの作製と評価

• 研究課題/領域番号: 20310068
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: ナノ材料・ナノバイオサイエンス
• 研究機関: 兵庫県立大学
• 研究代表者: 松井 真二 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (00312306)
• 研究分担者: 神田 一浩 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 教授 (20201452) ; 八田 公平 兵庫県立大学, 大学院・生命理学研究科, 教授 (40183909)
• 研究期間 (年度): 2008 – 2010
• 研究課題ステータス: 完了 (2010年度)
• 配分額: 17,420千円 (直接経費: 13,400千円、間接経費: 4,020千円); 2010年度: 5,590千円 (直接経費: 4,300千円、間接経費: 1,290千円); 2009年度: 5,590千円 (直接経費: 4,300千円、間接経費: 1,290千円); 2008年度: 6,240千円 (直接経費: 4,800千円、間接経費: 1,440千円)
• キーワード: 集束イオンビーム / FIB / CVD / バイオツール / ダイヤモンドライクカーボン / 立体ナノ構造

研究概要

バイオナノツールをガラスキャピラリー先端部に集束イオンビーム(FIB)CVDにより作製し、バイオ実験に使用し、その有効性を実証した

研究成果

• [雑誌論文] Nnoimprint rplication of nonplanar nanopstructure fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition (2011)
  • 著者名/発表者名: Y.Kang, S.Omoto, Y.Nakay, M.Okada, K.Kanda, Y.Haruyama, S.Matsui
  • 雑誌名: J.Vac.Sci.Technol. 巻: B20
  • 査読あり
• [雑誌論文] Mrcahnical Characteristics of Nanospring fabricated by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor deposition Using Ferrocene Source Gas (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. Nakai, Y. Kang, M. Okada, Y. haruyama, K. kanda, T. Ichihashi, S. Matsui
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. Vol.49
  • 査読あり
• [雑誌論文] Room-Temperature Nanoimprinting Using Liquid-Phase Hydrogen Silsesquioxane (2010)
  • 著者名/発表者名: Y. Kang, M. Okada, C. Minari. K. Kanda, Y. Haruyama, S. Matsui
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. Vol.49
  • 査読あり
• [雑誌論文] Room-Temperature Nanoimprinting Using Liquid-Phase Hydrogen Silses quioxane (2010)
  • 著者名/発表者名: Y.Kang, M.Okada, C.Minari.K.kanda, Y.Haruyama, S.Matsui.
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. 巻: 49
  • 査読あり
• [雑誌論文] Education Position contral of Incorporated Gallium in Diamond-Like Carbon Deposition by Focused-Ion-Beam Chermical Vapor Deposition (2008)
  • 著者名/発表者名: Y. Kometani, S. Ishihara, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito, S. Matsui
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. Vol.47 ページ: 5032-5035
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effects of Annealing on Material Characteristics of Diamond-Like Carbon Film Formed by Focused-Ion-Beam Chemcal Vapor Depopsition (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Kand J. Igaku, A. saikubo, R. Kometani, T.Suzuki, K. Nishihara, H. Satoh, S. Matsui
  • 雑誌名: Jpn.J.Appl.Phys. Vol.47 ページ: 7464-7466
  • 査読あり
• [雑誌論文] Eduction Position control of Incorporated Gallium in Diamond-Lile Carbon Deposited by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition (2008)
  • 著者名/発表者名: R. kometani, S. Ishihara, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito, S. Matsui
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 47 ページ: 5032-5035
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effects of Annealing on Material Characteristics of Diamond- Like Carbon Film Formed by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor deposition (2008)
  • 著者名/発表者名: K. Kand, J. Igaki, A. Saikubo, R. Kometani, T. Suzuki, K. Niihara, H. Saitoh, S. Matsui
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 47 ページ: 7464-7466
  • NAID: 40016295000
  • 査読あり
• [雑誌論文] Nanoimprint aplication of nonplanar nanostructure fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition
  • 著者名/発表者名: Y. Kang, S. Omoto, Y. Nakai, M. Okada. K. Kanda, Y. Haruyama, S. Matsui
  • 雑誌名: J.Vac.Sci.Technol. Vol.B20
  • 査読あり
• [学会発表] FIB-CVDで成膜したFe-Ga含有DLC膜のアニールによるFeおよびGaの挙動観察 (2011)
  • 著者名/発表者名: 中井康喜、姜有志、岡田真、神田一浩、春山雄一、市橋徹也、松井真二
  • 学会等名: 第58回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学
  • 年月日: 2011-03-26
• [学会発表] Annealing effect of Fe-Ga doped DLC film formed by Focused-ion-beam chemical vapor deposition using ferrocene source gas (2010)
  • 著者名/発表者名: Y.Nakai, Y. Kang, M.Okada, Y.Haruyama, K.Kanda, S.Matsui
  • 学会等名: 23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference
  • 発表場所: リーガロイヤルホテル小倉
  • 年月日: 2010-11-12
• [学会発表] FIB-CVD法で成膜されたFe0Ga含有薄膜のアニール効果 (2010)
  • 著者名/発表者名: 中井康喜、姜有志、岡田真、神田一浩、春山雄一、松井真二
  • 学会等名: 第71回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 長崎大学
  • 年月日: 2010-09-14
• [学会発表] 集束イオンビーム励起化学気相成長法で作成した鉄含有ナノスプリングへのアニール効果 (2010)
  • 著者名/発表者名: 中井康喜、姜有志、岡田真、神田一浩、春山雄一、市橋徹也、松井真二
  • 学会等名: 第57回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 東海大学
  • 年月日: 2010-03-19
• [学会発表] Mechanical Characteristics of Nanosprings Fabricated by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition Using Ferrocene Source Gas (2009)
  • 著者名/発表者名: Y.Nakai, Y. Kang, M.Okada, Y.Haruyama, K.Kanda, S.Matsui
  • 学会等名: 22^<nd> International Microprocesses and Nanotechnology Conference
  • 発表場所: シェラトン札幌
  • 年月日: 2009-11-18
• [学会発表] Mechanical Characteristics of Nanosprings Fabricated by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition using Ferrocene Source Gas (2009)
  • 著者名/発表者名: Y.Nakai, Y.Kang, M.Okada, Y.Haruyama, K.Kanda, S.Matsui
  • 学会等名: The 22nd Internationl Microprocesses and Nanotechnology Conference 2009
  • 発表場所: Sapporo, Japan
  • 年月日: 2009-11-18
• [学会発表] Structural Changes in the DLC Films Fabricated using Ga Focused Ion Beam Assisted Deposition by Heat Treatment (2009)
  • 著者名/発表者名: K.Kanda, M.Okada, Y.Kang, M.Niibe, T.Suzuki S.Matsui
  • 学会等名: The 22nd Internationl Microprocesses and Nanotechnology Conference 2009
  • 発表場所: Sapporo, Japan
  • 年月日: 2009-11-18
• [学会発表] 集束イオンビーム励起化学気相成長法によるナノスプリングの作製と力学的特性評価 (2009)
  • 著者名/発表者名: 中井康喜, 姜有志, 岡田真, 神田一浩, 春山雄一, 松井真二
  • 学会等名: 応用物理学会学術講演会2009秋
  • 発表場所: 富山県富山市
  • 年月日: 2009-09-10
• [学会発表] Ga FIB-CVD DLC膜からのアニールによるGaの脱離過程 (2009)
  • 著者名/発表者名: 神田一浩, 岡田真, 姜有志, 新部正人, 鈴木常生, 松井真二
  • 学会等名: 応用物理学会学術講演会2009秋
  • 発表場所: 富山県富山市
  • 年月日: 2009-09-10
• [学会発表] FIB-CVD法で成膜したDLC薄膜に対するアニール効果 (2009)
  • 著者名/発表者名: 神田一浩、岡田真、姜有志、松井真二
  • 学会等名: 第56回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 2009-04-01
• [学会発表] FIB-CVD法で製膜したDLC薄膜に対するアニール効果 (2009)
  • 著者名/発表者名: 神田一浩, 岡田真, 姜有志, 松井真二
  • 学会等名: 第56回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 筑波大学
  • 年月日: 2009-04-01
• [図書] 細胞分離・操作技術の最前線(分担出版)第4章 集束イオンビームを用いたバイオナノツールの作製と応用 (2008)
  • 著者名/発表者名: 松井真二、米谷玲皇
  • 出版者: シーエムシ出版
• [図書] ナノイメージング(分担執筆)、第4章 第3章 集束イオンビームCVDによる立体ナノ構造形成の動的観測 (2008)
  • 著者名/発表者名: 松井真二、米谷玲皇
  • 出版者: (株)エヌ・テイ・エス
• [図書] 細胞分離・操作技術の最前線(分担執筆) 第4章 集束イオンビームを用いたバイオナノツールの作製と応用(31-41頁) (2008)
  • 著者名/発表者名: 松井真二, 米谷玲皇
  • 総ページ数: 11
  • 出版者: シーエムーシー出版
• [図書] ナノイメージング(分担執筆) 第4編第3章 集束イオンビームCVDによる立体ナノ構造形成の動的観察(341-348頁) (2008)
  • 著者名/発表者名: 松井真二, 米谷玲皇
  • 総ページ数: 8
  • 出版者: (株)エヌ. ティー. エス.
• [備考] ホームページ
  • URL: http://www.lasti.u-hyogo.ac.jp/nanostructure/index.html