| 研究課題/領域番号 |
20340160
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
プラズマ科学
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| 研究機関 | 金沢大学 |
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研究代表者 |
上杉 喜彦 金沢大学, 電子情報学系, 教授 (90213339)
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| 研究分担者 |
田中 康規 金沢大学, 電子情報学系, 教授 (90303263)
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| 研究期間 (年度) |
2008 – 2010
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| 研究課題ステータス |
完了 (2010年度)
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| 配分額 *注記 |
19,500千円 (直接経費: 15,000千円、間接経費: 4,500千円)
2010年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2009年度: 5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円)
2008年度: 9,620千円 (直接経費: 7,400千円、間接経費: 2,220千円)
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| キーワード | 高周波誘導プラズマ / 熱プラズマ / 帰還制御 / プラズマ-材料相互作用 / MOSFETインバータ / DSP帰還制御 / 任意波形変調プラズマ / PWM/PLL帰還制御インバータ / 表面改質 / 機能性ナノ粒子生成 / MOSFET-PWMインバータ / ナノ粒子生成 / プラズマ対向壁 / グラファイト損耗 / PWM / PLL帰還制御インバータ |
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| 研究概要 |
DSP帰還制御のための制御信号として、プラズマ粒子(アルゴン等)の励起温度を選択し、2波長分光器による実時間温度計測法とDSP帰還制御ループによりプラズマ温度に関する任意波形制御システムおよび2台の任意波形出力機能付きMOSFETインバータを用いた時空間変調誘導プラズマシステムを構築し、その初期性能を確認した。本研究で構築したインテリジェント高周波誘導プラズマ装置を用いて、金属及び高分子蒸気によるプラズマ熱流低減効果に関する実験に適用した.
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